[實用新型]一種刮料支撐裝置

有效

• 申請號: 201920201605.5
• 申請日: 2019-02-15
• 公開（公告）號: CN209583007U
• 公開（公告）日: 2019-11-05
• 發明（設計）人: 李向東
• 申請（專利權）人: 山東才聚電子科技有限公司
• 主分類號: B65G47/91
• 分類號: B65G47/91
• 代理公司: 淄博佳和專利代理事務所(普通合伙) 37223
• 代理人: 李坤

1.一種刮料支撐裝置，其特征在于：包括托盤（33）以及動力裝置，托盤（33）水平設置，動力裝置與托盤（33）相連并帶動托盤（33）轉動，托盤（33）上側設置有用于檢測晶圓位置的傳感器，托盤（33）的上側設置有吸取槽，吸取槽連接有抽真空裝置。

2.根據權利要求1所述的刮料支撐裝置，其特征在于：所述的動力裝置為刮料旋轉電機（47），刮料旋轉電機（47）的輸出軸通過同步帶與托盤（33）相連。

3.根據權利要求1所述的刮料支撐裝置，其特征在于：還包括刮料托盤升降氣缸（48），刮料托盤升降氣缸（48）與托盤（33）轉動連接并推動托盤（33）升降。

4.根據權利要求3所述的刮料支撐裝置，其特征在于：所述的托盤（33）包括環形的固定部以及與固定部同軸設置的升降部（3301），升降部（3301）設置在固定部內，刮料托盤升降氣缸（48）的活塞桿與升降部（3301）相連并推動其升降。

5.根據權利要求1所述的刮料支撐裝置，其特征在于：所述的托盤（33）的下側同軸連接有托盤連接管（49），動力裝置與托盤連接管（49）相連并帶動其同步轉動，抽真空裝置通過托盤連接管（49）與吸取槽相連通。

6.根據權利要求5所述的刮料支撐裝置，其特征在于：所述的托盤連接管（49）外套設有與其相對轉動設置的對接套（50），對接套（50）與托盤連接管（49）間隔設置，對接套（50）的兩端均設置有密封圈，并在對接套（50）與托盤連接管（49）之間形成負壓腔，托盤連接管（49）上設置有與負壓腔相連通的通孔，對接套（50）上設置有與負壓腔相連通的對接孔。

7.根據權利要求5所述的刮料支撐裝置，其特征在于：所述的托盤連接管（49）外套設有傳動套（51），傳動套（51）與托盤連接管（49）相對轉動，且傳動套（51）與托盤連接管（49）可軸向滑動，動力裝置通過同步帶與傳動套（51）相連。