[實用新型]一種電子元器件專用檢漏設備

有效

• 申請號: 201920198521.0
• 申請日: 2019-02-15
• 公開（公告）號: CN209446231U
• 公開（公告）日: 2019-09-27
• 發明（設計）人: 張志
• 申請（專利權）人: 合肥爍航科技有限公司
• 主分類號: G01M3/20
• 分類號: G01M3/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種電子元器件專用檢漏設備，其特征在于：包括：顯示系統、控制系統、輕氟油加壓系統、重氟油檢測系統、氦檢漏罐、儲油罐A、儲油罐B、氦質譜檢漏系統、真空泵、抽空閥A、抽空閥B、注油閥A、注油閥B、氫檢漏閥、放油閥A、放油閥B、加壓閥、壓力變送器、溫度傳感器、加熱棒、抽油閥、抽油泵，所述顯示系統與控制系統通過線路進行連接，控制系統通過線路控制連接輕氟油加壓系統、重氟油檢測系統、氫質譜檢漏系統，所述輕氟油加壓系統上設有壓力變送器、加壓閥、注油閥A、抽空閥A、抽油閥，所述輕氟油加壓系統與儲油罐A通過管道進行連接，管道上設有注油閥A,所述輕氟油加壓系統上的抽空閥A通過管道連接真空泵，抽空閥A與真空泵中間的管道連接處設有另一個抽空閥B，抽空閥B通過管道連接重氟油檢測系統，所述重氟油檢測系統內部設有溫度傳感器和加熱棒，所述重氟油檢測系統上設有注油閥B。

2.根據權利要求1所述一種電子元器件專用檢漏設備，其特征在于：所述輕氟油加壓系統上通過管道連接抽油閥，抽油閥與抽油泵直接通過管道連接，抽油泵與放油閥A之間通過管道進行連接，放油閥A與儲油罐A通過管道連接,放油閥A另一端通過管道連接氟油，為儲油罐A輸送氟油，儲罐罐A通過整個管道的布置，實現自動回油。

3.根據權利要求1所述一種電子元器件專用檢漏設備，其特征在于：所述重氟油檢測系統通過管道連接抽油閥，抽油閥與抽油泵直接通過管道連接，抽油泵與放油閥B之間通過管道進行連接，放油閥B與儲油罐B通過管道連接，放油閥B另一端通過管道連接氟油，為儲油罐B輸送氟油，儲油罐B通過管道的布置，實現自動回油。

4.根據權利要求1所述一種電子元器件專用檢漏設備，其特征在于：所述氦質譜檢漏系統與氦檢漏罐中間通過管道連接，管道上設有氦檢漏閥。

5.根據權利要求1所述一種電子元器件專用檢漏設備，其特征在于：控制系統與顯示系統、輕氟油加壓系統、重氟油檢測系統以及氦質譜檢漏系統均為雙向連接。