[實用新型]一種自動化上下料系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201920192368.0 | 申請日: | 2019-02-12 |
| 公開(公告)號: | CN209374422U | 公開(公告)日: | 2019-09-10 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 劉群;龐愛鎖;林佳繼;林依婷 | 申請(專利權(quán))人: | 深圳市拉普拉斯能源技術(shù)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677 |
| 代理公司: | 深圳市中科創(chuàng)為專利代理有限公司 44384 | 代理人: | 彭西洋;謝亮 |
| 地址: | 518000 廣東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 緩存 機(jī)械手 周轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu) 花籃 下料 上料 本實用新型 上下料機(jī)構(gòu) 上下料系統(tǒng) 中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu) 上下料 取片 自動化 整數(shù)倍關(guān)系 自動化效率 翻轉(zhuǎn) 插片 產(chǎn)能 移載 逐片 | ||
1.一種自動化上下料系統(tǒng),其特征在于,包括上下料機(jī)構(gòu)、上料緩存花籃、下料緩存花籃、周轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、舟中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、至少一第一機(jī)械手、至少一第二機(jī)械手、第三機(jī)械手、若干個舟;所述上料緩存花籃、下料緩存花籃布置于上下料機(jī)構(gòu)與周轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)之間;所述第一機(jī)械手用于將上下料機(jī)構(gòu)上的物料移載至上料緩存花籃,及從下料緩存花籃移載至上下料機(jī)構(gòu);所述若干個舟置于周轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)上,第二機(jī)械手用于將上料中轉(zhuǎn)花藍(lán)的物料插片至周轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的若干個舟中,及將周轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)中的物料下料至下料緩存花籃中;所述周轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)用于將若干個舟從上料緩存花籃一端傳送至舟中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),及從舟中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)一端傳送至下料緩存花籃;所述第三機(jī)械手用于將周轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)上的舟翻轉(zhuǎn)后放至舟中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)上,及將舟中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)上的舟翻轉(zhuǎn)后放至周轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)上;所述第二機(jī)械手的取片容量與舟的卡槽數(shù)量成整數(shù)倍關(guān)系,且第二機(jī)械手的取片容量小于舟的卡槽數(shù)量。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動化上下料系統(tǒng),其特征在于,所述上下料機(jī)構(gòu)包括若干上下料花籃、第一傳送帶機(jī)構(gòu)、外部上料工位、上片工位、下片工位;外部物料經(jīng)外部上料工位上料,第一傳送帶機(jī)構(gòu)用于將上下料花籃從外部上料工位經(jīng)上片工位傳送至下片工位。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動化上下料系統(tǒng),其特征在于,所述周轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括插片及分片工位、中轉(zhuǎn)工位、周轉(zhuǎn)工位、翻轉(zhuǎn)工位;所述插片及分片工位、中轉(zhuǎn)工位、周轉(zhuǎn)工位、翻轉(zhuǎn)工位的長度方向上均設(shè)有第二傳送帶機(jī)構(gòu);所述插片及分片工位、中轉(zhuǎn)工位上設(shè)有垂直于第二傳送帶機(jī)構(gòu)的第三傳送帶機(jī)構(gòu),第三傳送帶機(jī)構(gòu)用于將物料在插片及分片工位、中轉(zhuǎn)工位之間傳送;所述周轉(zhuǎn)工位與翻轉(zhuǎn)工位上設(shè)有垂直于第二傳送帶機(jī)構(gòu)的第四傳送帶機(jī)構(gòu),第四傳送帶機(jī)構(gòu)用于將物料在周轉(zhuǎn)工位與翻轉(zhuǎn)工位之間傳送。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的自動化上下料系統(tǒng),其特征在于,所述周轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)還包括定位齒模組;所述定位齒模組設(shè)于插片及分片工位上,其包括定位驅(qū)動氣缸、定位板;所述定位板的頂部設(shè)有若干定位齒,每一齒槽的其中一側(cè)面設(shè)有真空吸附孔;所述定位驅(qū)動氣缸用于驅(qū)動定位板升降以進(jìn)出舟內(nèi)部。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的自動化上下料系統(tǒng),其特征在于,所述周轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)還包括若干周轉(zhuǎn)支架,每一周轉(zhuǎn)支架上放置有若干舟。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的自動化上下料系統(tǒng),其特征在于,所述插片及分片工位、中轉(zhuǎn)工位平行且相鄰布置,周轉(zhuǎn)工位與翻轉(zhuǎn)工位平行且相鄰布置;所述插片及分片工位的一端與翻轉(zhuǎn)工位一端靠近布置,中轉(zhuǎn)工位的一端與周轉(zhuǎn)工位一端靠近布置。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動化上下料系統(tǒng),其特征在于,所述舟中轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括舟傳送工位、舟存放工位、舟緩存工位;所述舟傳送工位、舟存放工位平行布置,且舟傳送工位一端與外部舟進(jìn)出通道靠近布置;所述舟傳送工位上設(shè)有第五傳送帶機(jī)構(gòu),第五傳送帶機(jī)構(gòu)用于將舟在外部舟進(jìn)出通道與舟傳送工位之間傳送;所述舟傳送工位、舟存放工位上設(shè)有垂直于第五傳送帶機(jī)構(gòu)的第六傳送帶機(jī)構(gòu),第六傳送帶機(jī)構(gòu)用于將物料在舟傳送工位、舟存放工位之間傳送;所述舟緩存工位設(shè)于舟傳送工位的另一端,用于緩存舟。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的自動化上下料系統(tǒng),其特征在于,所述自動化上下料系統(tǒng)還包括若干第一撥片機(jī)構(gòu)、若干第二撥片機(jī)構(gòu);所述若干第一撥片機(jī)構(gòu)分別設(shè)于上料緩存花籃、下料緩存花籃的一側(cè),用于撥齊上料緩存花籃及下料緩存花籃中的物料;所述第二撥片機(jī)構(gòu)設(shè)于插片及分片工位的一側(cè),用于撥齊舟中的物料。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的自動化上下料系統(tǒng),其特征在于,所述第一撥片機(jī)構(gòu)、第二撥片機(jī)構(gòu)均包括撥片驅(qū)動電機(jī)、撥片桿;所述撥片桿沿插片及分片工位的長度方向布置,撥片驅(qū)動電機(jī)用于驅(qū)動撥片桿靠近或遠(yuǎn)離物料。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動化上下料系統(tǒng),其特征在于,所述第一機(jī)械手、第二機(jī)械手均包括機(jī)械臂驅(qū)動機(jī)構(gòu)、機(jī)械臂、若干扁平吸盤;所述機(jī)械臂驅(qū)動機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動機(jī)械臂帶動扁平吸盤運(yùn)動;所述第二機(jī)械手還包括第一翻轉(zhuǎn)驅(qū)動氣缸,第一翻轉(zhuǎn)驅(qū)動氣缸用于驅(qū)動其機(jī)械臂帶動扁平吸盤翻轉(zhuǎn);所述第二機(jī)械手中的扁平吸盤數(shù)量與舟的卡槽數(shù)量一致或為舟的卡槽數(shù)量的一半;所述第三機(jī)械手包括第二翻轉(zhuǎn)驅(qū)動氣缸、夾爪氣缸、夾爪;所述夾爪氣缸用于驅(qū)動夾爪卡合,第二翻轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動夾爪翻轉(zhuǎn)。
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H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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