[實用新型]微量氣體轉移裝置有效
| 申請號: | 201920189034.8 | 申請日: | 2019-02-11 |
| 公開(公告)號: | CN209663056U | 公開(公告)日: | 2019-11-22 |
| 發明(設計)人: | 宋福勝;李愛偉;田丹;劉凱雄 | 申請(專利權)人: | 山西省計量科學研究院 |
| 主分類號: | B01F3/02 | 分類號: | B01F3/02;B01F15/04 |
| 代理公司: | 14100 太原科衛專利事務所(普通合伙) | 代理人: | 朱源;曹一杰<國際申請>=<國際公布>= |
| 地址: | 030032 *** | 國省代碼: | 山西;14 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 支路 微量氣體 制備 混合氣體 本實用新型 轉移裝置 組分混合 平衡氣 閥門 控制氣體壓力 多級稀釋 生產效率 制備過程 氣體瓶 稀釋 稱量 氣瓶 環節 | ||
1.一種微量氣體轉移裝置,包括一個管道;其特征在于,還包括連接在管道一端的組分混合氣瓶以及連接在管道另一端的至少一個平衡氣瓶;沿管道由組分混合氣體瓶向平衡氣瓶方向出發,依次安裝有閥門P8、連接有第一支路、第二支路、第三支路、第四支路、第五支路以及安裝有閥門P5;第一支路上并聯有Y1、Y2、Y3、Y4四個閥門,Y1、Y2、Y3、Y4四個閥門的另一端分別連接有一個壓力表;第二支路和第三支路之間連接有至少一個微量氣體轉移管;微量氣體轉移管的兩端均設有一個閥門;第四支路貫穿管道,位于管道一側的部分串接有閥門P7,位于管道另一側的部分串接有閥門P6和真空泵;第五支路上串接有閥門P4和組分原料氣瓶;每個平衡氣瓶與閥門P5之間均連接有一個閥門;組分混合氣瓶、組分原料氣瓶和平衡氣瓶上也設有相應閥門。
2.如權利要求1所述的微量氣體轉移裝置,其特征在于,所述第二支路和第三支路之間連接有多個相互并聯的微量氣體轉移管。
3.如權利要求2所述的微量氣體轉移裝置,其特征在于,微量氣體轉移管的兩端分別安裝有快速接頭;靠近兩個快速接頭的位置的管體上均設有一個閥門。
4.如權利要求1~3任一項所述的微量氣體轉移裝置,其特征在于,多個平衡氣瓶之間相互并聯。
5.如權利要求1~3任一項所述的微量氣體轉移裝置,其特征在于,Y1、Y2、Y3、Y4閥門連接的四個壓力表分別為高壓壓力表、中壓壓力表、低壓壓力表和微壓壓力表。
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