[實用新型]激光檢測系統有效
| 申請號： | 201920181798.2 | 申請日： | 2019-01-29 |
| 公開（公告）號： | CN209673647U | 公開（公告）日： | 2019-11-22 |
| 發明（設計）人： | 潘從元;李朝陽;安寧;徐勇;查振春 | 申請（專利權）人： | 合肥金星機電科技發展有限公司;安徽創譜儀器科技有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/73 | 分類號： | G01N21/73;G01N21/01 |
| 代理公司： | 34109 合肥誠興知識產權代理有限公司 | 代理人： | 湯茂盛<國際申請>=<國際公布>=<進入 |
| 地址： | 230088 安*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 二向色鏡 聚焦鏡組 反射鏡 激光源 激光束 反射 等離子體信號 激光檢測系統 本實用新型 夾角式布置 鏡面 分析單元 樣品表面 入射光 偏移 透射 燒蝕 校正 聚焦 | ||
1.一種激光檢測系統，其特征在于：包括激光源(10)、二向色鏡(20)以及聚焦鏡組(30)，激光源(10)與二向色鏡(20)之間設置有反射鏡(40)，二向色鏡(20)的鏡面與其入射光呈夾角式布置，激光源(10)發出的激光束依次經過反射鏡(40)、二向色鏡(20)、聚焦鏡組(30)聚焦至樣品A表面，燒蝕產生的等離子體信號經由聚焦鏡組(30)、二向色鏡(20)反射至分析單元。
2.根據權利要求1所述的激光檢測系統，其特征在于：所述反射鏡(40)包括第一反射鏡(41)和第二反射鏡(42)，第一反射鏡(41)和第二反射鏡(42)的鏡面垂直布置，激光束依次經第一反射鏡(41)和第二反射鏡(42)反射至二向色鏡(20)上。
3.根據權利要求1或2所述的激光檢測系統，其特征在于：聚焦鏡組(30)包括沿激光束照射方向順序布置的凹面反射鏡(31)和凸面反射鏡(32)，凹面反射鏡(31)的中部開設有的中心孔(311)，凹面反射鏡(31)的反射凹面(312)與凸面反射鏡(32)的反射凸面(321)相對布置，激光束穿過中心孔(311)經凸面反射鏡(32)的反射凸面(321)、凹面反射鏡(31)的反射凹面(312)聚焦至樣品A表面。
4.根據權利要求3所述的激光檢測系統，其特征在于：所述中心孔(311)的直徑與激光束在該位置處的截面直徑吻合，凸面反射鏡(32)垂直于中心孔(311)孔芯方向上的投影面積與中心孔(311)在垂直于孔芯方向上的截面面積吻合，凹面反射鏡(31)的光束接收區域覆蓋凸面反射鏡(32)的光束反射區域。
5.根據權利要求3所述的激光檢測系統，其特征在于：聚焦鏡組(30)還包括位移臺(33)，凸面反射鏡(32)滑動設置在位移臺(33)上且兩者之間構成沿激光束軸芯方向上的滑移導向配合。
6.根據權利要求1所述的激光檢測系統，其特征在于：所述激光源(10)的激光發射端設置有擴束鏡(50)。
7.根據權利要求1所述的激光檢測系統，其特征在于：所述二向色鏡(20)與分析單元之間設置有凸透鏡(60)，燒蝕產生的等離子體信號經二向色鏡(20)反射后由凸透鏡(60)聚焦至分析單元。
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