[實用新型]一種單晶爐

有效

• 申請號: 201920179780.9
• 申請日: 2019-01-31
• 公開（公告）號: CN209702906U
• 公開（公告）日: 2019-11-29
• 發明（設計）人: 潘燕萍;朱海軍
• 申請（專利權）人: 常州市樂萌壓力容器有限公司
• 主分類號: C30B15/14
• 分類號: C30B15/14;C30B15/20;C30B29/06
• 代理公司: 32294 常州市華信天成專利代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 何學成<國際申請>=<國際公布>=<進入

1.一種單晶爐，包括單晶爐爐腔(1)、石英坩堝(9)、石墨加熱器(10)，其特征在于：所述的石英坩堝(9)上邊緣設置有石英坩堝上沿(901)，所述的石英坩堝上沿(901)遠離石英坩堝(9)本體一側設置有石英坩堝翻邊(902)，所述的石英坩堝(9)側壁與石英坩堝上沿(901)、石英坩堝翻邊(902)形成凹槽，所述的石英坩堝(9)本體橫截面為U形，所述石墨加熱器(10)橫截面為U形，所述的石墨加熱器(10)上邊沿與石英坩堝(9)外側凹槽相匹配，所述的石墨加熱器(10)底部與石英坩堝(9)底部相匹配；所述的石墨加熱器(10)底部設置有升降機構(11)；

所述的單晶爐爐腔(1)頂部設置有晶種旋轉機構(2)，所述晶種旋轉機構(2)與單晶爐爐腔(1)爐體連接處設置有凸臺(3)，所述晶種旋轉機構(2)豎直方向設置有穿過凸臺(3)的籽晶桿(6)，所述籽晶桿(6)中心軸與單晶爐爐腔(1)中心軸重疊，所述的籽晶桿(6)與凸臺(3)連接部設置有密封膠(4)，所述的籽晶桿(6)底端設置有籽晶(8)；

所述的單晶爐爐腔(1)中段設置有冷卻水管道(13)。

2.如權利要求1所述的一種單晶爐，其特征在于：所述的籽晶桿(6)中間部位設置有激光傳感器(7)，所述的單晶爐爐腔(1)側壁設置有至少2個激光塊(5)，所述激光塊(5)與激光傳感器(7)設置的位置相匹配。

3.如權利要求1或2所述的一種單晶爐，其特征在于：所述的單晶爐爐腔(1)側壁設置有保溫層(12)。

4.如權利要求1所述的一種單晶爐，其特征在于：所述的升降機構(11)至少有2個。