[實用新型]一種硅材處理設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920175688.5
• 申請日: 2019-01-31
• 公開（公告）號: CN209963022U
• 公開（公告）日: 2020-01-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 董升;杜超;周銳;李僑;張鎮(zhèn)磊;趙陽;譚文龍;王向東
• 申請（專利權(quán)）人: 楚雄隆基硅材料有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 11319 北京潤澤恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 莎日娜

本實用新型提供了一種硅材處理設(shè)備，所述硅材處理設(shè)備具體包括：機(jī)架；處理槽，所述處理槽固定于所述機(jī)架上；擺動裝置，所述擺動裝置設(shè)置于所述機(jī)架上，且相對于所述處理槽設(shè)置，所述擺動裝置上設(shè)有工裝連接部；硅材工裝，所述硅材工裝與所述擺動裝置上的工裝連接部連接，所述硅材工裝用于承載硅材；控制裝置，所述控制裝置與所述擺動裝置連接，所述控制裝置用于控制所述擺動裝置擺動，以帶動所述硅材工裝擺動。本實用新型實施例可以用于對硅材進(jìn)行腐蝕處理，提升所述硅材的腐蝕處理效果。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及光伏技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種硅材處理設(shè)備。

背景技術(shù)

隨著光伏技術(shù)的發(fā)展，硅片、硅棒等硅材的使用也越來越廣泛。例如，硅片作為電池片的主要組成結(jié)構(gòu)，隨著光伏裝機(jī)容量的增加，硅片的使用也越來越廣泛。

少子壽命是表征硅材質(zhì)量的一項重要參數(shù)，現(xiàn)有的技術(shù)中，往往通過測得硅材的少子壽命來表征硅材的質(zhì)量。由于硅材的表面質(zhì)量很容易影響到少子壽命的檢測精度，因此，在實際應(yīng)用中，在測量硅材的少子壽命之前，往往需要將硅材進(jìn)行腐蝕處理以去除硅材表面的損傷層，提高硅材的表面質(zhì)量。

現(xiàn)有的技術(shù)中，在將硅材進(jìn)行腐蝕處理的過程中，腐蝕處理產(chǎn)生的化合物很容易附著在硅材的表面上，導(dǎo)致硅材的腐蝕處理效果較差。而且，腐蝕處理的過程中會產(chǎn)生大量的氣泡附著在硅材上，使得硅材容易從腐蝕液中浮出，這樣，很容易導(dǎo)致硅材的腐蝕程度較差，進(jìn)而，導(dǎo)致硅材的腐蝕處理效果較差。

實用新型內(nèi)容

有鑒于此，為了解決現(xiàn)有的技術(shù)中，硅材的腐蝕處理效果較差的問題，本實用新型提出了一種硅材處理設(shè)備。

為了解決上述問題，本實用新型公開了一種硅材處理設(shè)備，包括：

機(jī)架；

處理槽，所述處理槽固定于所述機(jī)架上；

擺動裝置，所述擺動裝置設(shè)置于所述機(jī)架上，且相對于所述處理槽設(shè)置，所述擺動裝置上設(shè)有工裝連接部；

硅材工裝，所述硅材工裝與所述擺動裝置上的工裝連接部連接，所述硅材工裝用于承載硅材；

控制裝置，所述控制裝置與所述擺動裝置連接，所述控制裝置用于控制所述擺動裝置擺動，以帶動所述硅材工裝擺動。

可選地，所述擺動裝置包括：擺動單元和升降單元；其中，

所述工裝連接部與所述擺動單元連接；

所述升降單元與所述擺動單元連接，所述升降單元用于驅(qū)動所述擺動單元上升或者下降。

可選地，所述擺動單元包括：第一驅(qū)動件、擺動機(jī)構(gòu)以及第一固定板；其中，

所述工裝連接部與所述擺動機(jī)構(gòu)連接；

所述第一固定板與所述擺動機(jī)構(gòu)可轉(zhuǎn)動連接；

所述擺動機(jī)構(gòu)與所述第一驅(qū)動件連接，所述擺動機(jī)構(gòu)用于在所述第一驅(qū)動件的驅(qū)動下，帶動所述工裝連接部擺動。

可選地，所述擺動機(jī)構(gòu)包括：兩個曲柄桿、兩個第一軸承以及傳動件；其中，

每個所述曲柄桿通過一個所述第一軸承固定于所述第一固定板上；

每個所述曲柄桿的第一端與所述傳動件連接；

每個所述曲柄桿的第二端連接于所述工裝連接部上；

所述第一驅(qū)動件與其中一個所述曲柄桿的第一端連接，在所述第一驅(qū)動件的驅(qū)動下，所述兩個曲柄桿聯(lián)動，帶動所述工裝連接部擺動。

可選地，所述傳動件為：傳動帶或者傳動鏈條。

可選地，所述升降單元包括：第二驅(qū)動件、導(dǎo)向結(jié)構(gòu)以及第二固定板；其中，