[實用新型]一種靶材噴涂輔助保護裝置

有效

• 申請號: 201920173202.4
• 申請日: 2019-01-31
• 公開（公告）號: CN209810483U
• 公開（公告）日: 2019-12-20
• 發明（設計）人: 溫艷玲;惠知;張春
• 申請（專利權）人: 河北冠靶科技有限公司
• 主分類號: B05B12/18
• 分類號: B05B12/18;B05B13/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型涉及一種靶材噴涂輔助保護裝置，包括噴涂管和設在噴涂管外壁上且與其滑動連接的保護管，噴涂管內設有氣體腔A，保護管內設有氣體腔B。噴涂管的左端面上圓形陣列有內隔離氣孔，內隔離氣孔與氣體腔A連通。保護管的左端面上圓形陣列有外隔離氣孔，外隔離氣孔與氣體腔B連通。保護管的左端面上圓形陣列有二次隔離孔，二次隔離孔與保護管中心線之間的距離大與外隔離氣孔與保護管中心線之間的距離。二次隔離孔的中心線在從左到右的方向上向靠近保護管中心線的方向傾斜。本實用新型用于噴涂型靶材的生產，能夠降低靶材中氮化物和氧化物的含量，起到提高靶材純度的技術效果。

技術領域

本實用新型涉及噴涂法制備靶材的技術領域，尤其是涉及一種靶材噴涂輔助保護裝置。

背景技術

噴涂制備金屬靶是利用電弧將靶材材料加熱到熔融或半熔融狀態，借助高速氣體將其霧化，形成小的熔滴，并加速噴射到襯管或襯板表面，快速冷卻凝固成金屬涂層靶材的過程。非金屬和陶瓷靶通常是利用等離子加熱粉末材料的方法噴涂制成。

噴涂過程中，靶材表面會必可避免的和空氣中的氧氣和氮氣接觸，會導致合金靶材中摻雜氮化物和氧化物，導致靶材純度下降。因此，如何對靶材進行保護，盡可能的減低靶材中的雜質含量，提高靶材的純度，一直是生產廠家致力于解決的技術問題之一。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種能夠降低靶材雜質含量的靶材噴涂輔助保護裝置。

本實用新型的上述目的是通過以下技術方案得以實現的：

一種靶材噴涂輔助保護裝置，包括噴涂管和設在噴涂管外壁上且與其滑動連接的保護管；所述噴涂管的管壁內設有氣體腔A；所述保護管的管壁內設有氣體腔B；

所述噴涂管上設有與氣體腔A連通的氣管接頭A；所述保護管上設有與氣體腔B連通的氣管接頭B；

所述噴涂管的左端面上圓形陣列有與氣體腔A連通的內隔離氣孔；所述保護管的左端面上圓形陣列有與氣體腔B連通的外隔離氣孔。

通過采用上述技術方案，保護氣體同時從內隔離氣孔和外隔離氣孔噴出，形成兩道氣體隔層，將噴出的靶材粉末與空氣隔離。噴涂過程中的氣流會影響內側的氣體隔層，降低其保護性，但外側的氣體隔層仍舊能夠起到良好的保護作用，避免外界空氣進入到噴涂區域內。

本實用新型進一步設置為：所述保護管的左端面上圓形陣列有二次隔離孔；所述二次隔離孔與保護管中心線之間的距離大與外隔離氣孔與保護管中心線之間的距離。

通過采用上述技術方案，二次隔離孔能夠形成第三道防護，進一步阻止外界空氣進入到噴涂區域內。

本實用新型進一步設置為：所述二次隔離孔的中心線在從左到右的方向上向靠近保護管中心線的方向傾斜。

通過采用上述技術方案，保護氣體從二次隔離孔噴出后向斜上方噴出，能夠將外隔離氣孔形成的氣體保護層外側的氣體吹離，進一步提高保護效果。

本實用新型進一步設置為：所述保護管的內壁上均布有氣孔。

通過采用上述技術方案，準備過程中，保護氣體從氣孔中噴出，能夠將噴涂區域內的氣體驅除，進一步減少靶材中的雜質含量。

本實用新型進一步設置為：在從左到右的方向上，所述氣孔與保護管中心線的夾角逐漸增大。

通過采用上述技術方案，傾斜程度小的氣孔中噴出的氣體負責將保護管內填滿，傾斜程度大的氣孔中噴出的氣體具有引導作用，引導保護管內的空氣向外流動。這樣能夠使保護氣盡可能的充滿保護管，降低其對噴涂過程的影響。

本實用新型進一步設置為：所述噴涂管內設有支架。

通過采用上述技術方案，噴涂時可以將噴槍安裝在支架上，保證噴涂過程中的正常進行。