[實用新型]一種用于加熱和冷卻的載臺有效
| 申請號: | 201920171809.9 | 申請日: | 2019-01-31 |
| 公開(公告)號: | CN209532328U | 公開(公告)日: | 2019-10-25 |
| 發明(設計)人: | 趙永先;張延忠 | 申請(專利權)人: | 北京中科同志科技股份有限公司 |
| 主分類號: | B23K1/008 | 分類號: | B23K1/008;B23K3/08 |
| 代理公司: | 北京佐行專利代理事務所(特殊普通合伙) 11683 | 代理人: | 劉鵬;王占愈 |
| 地址: | 100016 北京市朝*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 冷卻管 壓條 水平臂 置物臺 加熱器 加熱和冷卻 平面平行 管槽 冷卻穩定性 冷卻效率 腔體內部 腔體 容置 貼緊 載臺 申請 垂直 保證 | ||
1.一種用于加熱和冷卻的載臺,其特征在于,包括腔體、置物臺、冷卻管、加熱器和壓條;所述置物臺、冷卻管、加熱器和壓條都設置在腔體內部;其中,所述置物臺設置在加熱器上方;
所述冷卻管包括水平臂,所述水平臂所在的平面與置物臺所在的平面平行;
所述置物臺的底部設置有管槽,所述管槽容置冷卻管的部分或全部水平臂;
在冷卻管底部設置有壓條,所述壓條與冷卻管的水平臂所在的平面平行,同時所述壓條垂直并貼緊水平臂。
2.如權利要求1所述的用于加熱和冷卻的載臺,其特征在于,所述管槽為半圓形。
3.如權利要求1所述的用于加熱和冷卻的載臺,其特征在于,腔體的內部包括腔體內膽,所述置物臺、冷卻管、加熱器和壓條設置在腔體內膽內部。
4.如權利要求1所述的用于加熱和冷卻的載臺,其特征在于,所述腔體包括腔壁,所述腔壁內側設置有用于放置物臺的置物臺支撐架。
5.如權利要求1所述的用于加熱和冷卻的載臺,其特征在于,
所述冷卻管和腔體的連接處設置有密封件。
6.如權利要求1所述的用于加熱和冷卻的載臺,其特征在于,冷卻管還包括兩個垂直臂,所述冷卻管的兩個垂直臂分別連接冷卻介質入口和冷卻介質出口。
7.如權利要求1所述的用于加熱和冷卻的載臺,其特征在于,所述加熱器兩端通過管路密封件引出到載臺外部,在管路密封件外側還設置有電極保護罩。
8.如權利要求4所述的用于加熱和冷卻的載臺,其特征在于,所述腔壁內部還設置有腔體冷卻管路,所述腔體冷卻管路內流動有冷卻介質。
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