[實用新型]一種單晶爐副室清潔器

有效

• 申請號: 201920171793.1
• 申請日: 2019-01-31
• 公開（公告）號: CN209779039U
• 公開（公告）日: 2019-12-13
• 發明（設計）人: 潘燕萍;朱海軍
• 申請（專利權）人: 常州市樂萌壓力容器有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 32294 常州市華信天成專利代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 何學成

本實用新型涉及硅單晶制備技術領域，尤其是涉及一種單晶爐副室清潔器。該種單晶爐副室清潔器，包括清潔刷和手持桿，所述手持桿的一端連接對稱分布的連接桿，所述手持桿裝有可移動的連接套，所述連接套上設置對稱的短桿，所述短桿連接在有推桿的一端上；支撐桿與所述推桿的另一端連接，所述支撐桿的兩端分別與連接桿和清潔刷固定。該種單晶爐副室清潔器在清理副室時，與副室內壁接觸面積增大且直徑可調整，清理效果好，可以適用不同型號的單晶爐副室。該清理器的結構緊湊、簡單、適用性強，有效地克服了原有清理工具工作效率低、適用性差等缺點。

技術領域

本實用新型涉及硅單晶制備技術領域，尤其是涉及一種單晶爐副室清潔器。

背景技術

基于直拉法的單晶爐是制備單晶硅材料的主要設備，單晶體在持續的高溫低壓保護氣體下生長，對單晶爐室內的環境要求非常嚴格，當單晶硅棒取出單晶爐后，需要對單晶爐的各部件進行全面清理，特別是副室。相對于主爐室，副室結構具有直徑較小、高度較大以及長徑比大的特點。因此，副室的清理存在清潔面積大、難度高、清理工序繁瑣等問題。

目前，清理單晶爐副室內壁的工具主要有2種：1)將清潔材料固定在木棍的頂端，手持蘸上無水乙醇的木棍對副室內壁進行清理，由于清潔材料與內壁接觸面較小，增大了操作工人的勞動強度，且容易出現清理死角；2)圓環形清理器，其直徑與副室內壁直徑一致，將清潔材料固定在清理器上，手持清理器對內壁進行清潔，該方法增大了接觸面積，提高了效率，但圓環形清理器的直徑只有與副室內壁直徑一致時效率才能最高，因此適用性較差。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題便是針對上述現有技術的不足，提供一種單晶爐副室清潔器，它結構緊湊簡單，清理效果好，適用性強。

為了解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案如下：一種單晶爐副室清潔器，包括清潔刷和手持桿，所述手持桿的一端連接對稱分布的連接桿，所述手持桿裝有可移動的連接套，所述連接套上設置對稱的短桿，所述短桿連接在有推桿的一端上；支撐桿與所述推桿的另一端連接，所述支撐桿的兩端分別與所述連接桿和所述清潔刷固定。該結構緊湊、簡單、適用性強，與副室內壁接觸面積增大且直徑可調整，清理效果好。

作為本實用新型進一步的方案：所述連接套上設有鎖緊螺栓。這樣保證整個清潔器的可調性和作業時的穩固性，保證清理器能適用不同型號的單晶爐副室。

綜上所述，本實用新型的有益效果是：本實用新型在清理副室時，與副室內壁接觸面積增大且直徑可調整，清理效果好，可以適用不同型號的單晶爐副室。該清理器的結構緊湊、簡單、適用性強，有效地克服了原有清理工具工作效率低、適用性差等缺點。

附圖說明

通過下面結合附圖的詳細描述，本實用新型前述的和其他的目的、特征和優點將變得顯而易見。

圖1為本實用新型的主視圖。

圖2為本實用新型的側視圖。

其中：1.連接桿、2.鉚釘、3.支撐桿、4.清潔刷、5.螺栓、6.推桿、7.連接套、8.鎖緊螺栓、9.手持桿、10.短桿。

具體實施方式

以下依據本實用新型的理想實施例為啟示，通過以下的說明內容，相關工作人員完全可以在不偏離本項實用新型技術思想的范圍內，進行多樣的變更以及修改。本項實用新型的技術性范圍并不局限于說明書上的內容，必須要根據權利要求范圍來確定其技術性范圍。

由圖1-2可知，本實用新型提供一種技術方案：一種單晶爐副室清潔器，包括清潔刷4和手持桿9，所述手持桿9的一端連接對稱分布的連接桿1，所述手持桿9裝有可移動的連接套7，所述連接套7上設置對稱的短桿10，所述短桿10連接在有推桿6的一端上；支撐桿3與所述推桿6的另一端連接，所述支撐桿3的兩端分別與連接桿1和清潔刷4固定。