[實用新型]一種水性蝕刻光阻劑用輸送裝置

有效

• 申請號: 201920155961.8
• 申請日: 2019-01-29
• 公開（公告）號: CN209604903U
• 公開（公告）日: 2019-11-08
• 發明（設計）人: 鐘水英;何偉富;何偉豪
• 申請（專利權）人: 廣州森川合成材料有限公司
• 主分類號: F17D1/18
• 分類號: F17D1/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型涉及光刻膠輸送技術領域，且公開了一種水性蝕刻光阻劑用輸送裝置,包括光刻膠貯存罐和與光刻膠貯存罐相連通的輸送管，輸送管的管壁固定設有減速電機，減速電機的輸出端通過聯軸器固定連接有往復絲桿，往復絲桿的左右兩端均固定套接有限位塊，且限位塊與輸送管的外部固定連接設置，往復絲桿的桿壁活動套設有滑管，兩個限位塊之間設有限位桿，限位桿的一端貫穿滑管的側壁并向外延伸設置，限位桿的兩端分別與兩個限位塊的側壁固定連接設置，輸送管的外壁對稱設有兩個弧形板。本實用新型能夠對輸送管進行均勻地加熱，從而防止光阻劑的凝結，保證光阻劑在涂敷時厚度的均勻性，便于人們的使用。

技術領域

本實用新型涉及光刻膠輸送技術領域，尤其涉及一種水性蝕刻光阻劑用輸送裝置。

背景技術

光刻膠，亦稱為光阻或光阻劑，是指通過紫外光、深紫外光、電子束、離子束、X射線等光照或輻射，其溶解度發生變化的耐蝕刻薄膜材料，是光刻工藝中的關鍵材料，主要應用于集成電路和半導體分立器件的細微圖形加。

目前，光刻膠都是通過管路輸送到硅片中央,然后硅片進行旋轉, 并且逐漸加速,直到穩定在一定的轉速上，使光刻膠涂敷在硅片表面，現有技術中，光刻膠在管路中進行輸送時，容易發生凝結現象，從而導致光刻膠涂敷的厚度發生改變，從而不便于人們的使用。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決現有技術中光刻膠在管路中進行輸送時，容易發生凝結現象，從而導致光刻膠涂敷的厚度發生改變，從而不便于人們使用的問題，而提出的一種水性蝕刻光阻劑用輸送裝置。

為了實現上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：

一種水性蝕刻光阻劑用輸送裝置，包括光刻膠貯存罐和與光刻膠貯存罐相連通的輸送管，所述輸送管的管壁固定設有減速電機，所述減速電機的輸出端通過聯軸器固定連接有往復絲桿，所述往復絲桿的左右兩端均固定套接有限位塊，且限位塊與輸送管的外部固定連接設置，所述往復絲桿的桿壁活動套設有滑管，兩個所述限位塊之間設有限位桿，所述限位桿的一端貫穿滑管的側壁并向外延伸設置，所述限位桿的兩端分別與兩個限位塊的側壁固定連接設置，所述輸送管的外壁對稱設有兩個弧形板，兩個所述弧形板內均固定安裝有加熱管，其中一個所述弧形板相向另一個所述弧形板的底部固定連接有轉塊，另一個所述弧形板的側壁開設有與轉塊相匹配的通槽，所述轉塊通過轉軸與通槽轉動連接，兩個所述弧形板均通過固定機構與滑管固定連接設置。

優選的，所述固定機構包括固定板，所述固定板與滑管的底部固定連接設置，所述固定板的頂部四角處均開設有通孔，所述通孔內均設有螺栓，兩個所述弧形板的頂部分別固定兩個與螺栓相匹配的螺紋筒。

優選的，所述轉軸還活動套設有扭力彈簧，所述扭力彈簧的兩端分別與通槽的側壁和轉塊的側壁固定連接設置。

優選的，所述減速電機的外壁設有防護罩，且防護罩與輸送管固定連接設置，所述防護罩的側壁開設有多個散熱孔。

優選的，其中一個所述弧形板的外壁固定連接有把手。

優選的，四個所述螺栓均活動套設有橡膠墊片，且橡膠墊片與固定板的頂部相抵設置。

與現有技術相比，本實用新型提供了一種水性蝕刻光阻劑用輸送裝置，具備以下有益效果：

1、該水性蝕刻光阻劑用輸送裝置，通過設有的減速電機，減速電機的輸出端旋轉帶動往復絲桿旋轉，再通過設有的限位桿，能夠防止滑管旋轉，從而通過往復絲桿旋轉能夠使滑管沿著往復絲桿做往復運動，再通過設有的兩個弧形板，滑管移動帶動弧形板移動，再通過設有的加熱管，能夠對輸送管進行均勻加熱，防止光阻劑的凝結，保證光阻劑在涂敷時的均勻性，便于人們的使用。

2、該水性蝕刻光阻劑用輸送裝置，通過設有的螺栓，擰動螺栓，從而使螺栓脫離螺紋筒，進而使兩個弧形板脫離滑管，進而便于對弧形板內的加熱管進行維修，便于人們的使用。