[實用新型]一種水性蝕刻光阻劑脫氣泡裝置

有效

• 申請號: 201920155115.6
• 申請日: 2019-01-29
• 公開（公告）號: CN209596616U
• 公開（公告）日: 2019-11-08
• 發明（設計）人: 鐘水英;何偉富;何偉豪
• 申請（專利權）人: 廣州森川合成材料有限公司
• 主分類號: B01D19/02
• 分類號: B01D19/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型涉及半導體器件制造技術領域，且公開了一種水性蝕刻光阻劑脫氣泡裝置，包括頂端開口的除泡罐和真空泵，除泡罐的側壁頂端固定連通有氣管，氣管遠離除泡罐的一端與真空泵的進氣端固定連通，除泡罐的外側壁頂端螺紋連接有罐蓋，除泡罐的頂部開設有環形的安裝槽，安裝槽的內部嵌設有與安裝槽相匹配的橡膠圈，罐蓋的內頂部開設有環形的容納槽，橡膠圈的頂端延伸至容納槽的內部，橡膠圈的頂部與容納槽的內頂部相抵，且橡膠圈的內側壁和外側壁分別與容納槽的兩個內側壁相抵，罐蓋的頂部固定連通有進料管，除泡罐的底部固定連通有出料管。本實用新型能夠有效地對光阻劑進行脫氣泡，且有效地避免了光阻劑在倒出時會灑落的問題。

技術領域

本實用新型涉及半導體器件制造技術領域，尤其涉及一種水性蝕刻光阻劑脫氣泡裝置。

背景技術

光阻劑又稱光刻膠，在半導體器件制造過程中，光刻工藝的應用非常頻繁，光刻膠的用量也非常大，當光刻膠內存有殘留氣泡的時，會使得光刻膠無法充分與被加工產品充分接觸，從而影響產品質量。

現有技術中，一般通過將光阻劑放置在一個容器，并使容器振動以使得光阻劑內部的氣泡向容器的上方運動，并最終由容器頂部的縫隙排出，這種方式中的光阻劑始終與空氣接觸，無法有效地對光阻劑進行脫氣泡。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決現有技術中通過振動的方式對光阻劑脫氣泡，其無法有效地對光阻劑進行脫氣泡的問題，而提出的一種水性蝕刻光阻劑脫氣泡裝置。

為了實現上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：

一種水性蝕刻光阻劑脫氣泡裝置，包括頂端開口的除泡罐和真空泵，所述除泡罐的側壁頂端固定連通有氣管，所述氣管遠離除泡罐的一端與真空泵的進氣端固定連通，所述除泡罐的外側壁頂端螺紋連接有罐蓋，所述除泡罐的頂部開設有環形的安裝槽，所述安裝槽的內部嵌設有與安裝槽相匹配的橡膠圈，所述罐蓋的內頂部開設有環形的容納槽，所述橡膠圈的頂端延伸至容納槽的內部，所述橡膠圈的頂部與容納槽的內頂部相抵，且橡膠圈的內側壁和外側壁分別與容納槽的兩個內側壁相抵，所述罐蓋的頂部固定連通有進料管，所述除泡罐的底部固定連通有出料管，所述進料管和出料管上分別固定連通有第一閥門和第二閥門，所述進料管的上方設置有用于進料的導料機構，所述除泡罐的底部固定連接有四個均勻分布的支撐塊。

優選的，所述導料機構包括軟管，所述軟管的底端與進料管的頂端固定連通，所述軟管的頂端固定連通有倒圓臺狀的導料筒，所述導料筒的內壁頂端固定連接有密封圈，所述導料筒的一側設置有用于支撐所述導料筒的支撐機構。

優選的，所述支撐機構包括L型的連接塊，所述連接塊的水平端與導料筒的外側壁固定連接，所述罐蓋的頂部固定連接有固定塊，所述固定塊的頂部開設有連接槽，所述連接塊的豎直端插接在連接槽的內部。

優選的，所述連接塊的底端固定連接有半球狀的導向塊。

優選的，所述除泡罐的內底部設為第一斜面，所述橡膠圈的頂端設為兩個對稱設置的第二斜面。

優選的，所述罐蓋的頂部邊緣處固定連接有兩個對稱設置的把手。

與現有技術相比，本實用新型提供了一種水性蝕刻光阻劑脫氣泡裝置，具備以下有益效果：

該水性蝕刻光阻劑脫氣泡裝置，通過設置第一閥門、第二閥門和導料機構，當需要對光阻劑進行排氣泡時，打開第一閥門并關閉第二閥門，將裝有光阻劑的試劑瓶打開后，試劑瓶的瓶口向上，將導料筒與試劑瓶的瓶口套接，使試劑瓶的開口插入導料筒，且密封圈的內壁與試劑瓶的外側壁相抵，將試劑瓶和導料筒旋轉180°，使試劑瓶的開口位于密封圈的下方，并將連接塊的豎直端插入連接槽，有效地避免了光阻劑在倒出時會灑落的問題，光阻劑經過軟管和進料管進入除泡罐，關閉第一閥門，啟動真空泵，真空泵逐漸抽取除泡罐內部的空氣，光阻劑內部的氣泡向上運動并由真空泵排出，從而達到有效地對光阻劑進行脫氣泡的效果。