[實用新型]基板類金絲鍵合檢驗夾具

有效

• 申請號: 201920154463.1
• 申請日: 2019-01-29
• 公開（公告）號: CN209541778U
• 公開（公告）日: 2019-10-25
• 發明（設計）人: 夏雷;李宗亞;王洋;周屹舜;丁雪龍
• 申請（專利權）人: 無錫中微高科電子有限公司
• 主分類號: G01D11/16
• 分類號: G01D11/16
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所(普通合伙) 32104
• 代理人: 殷紅梅

1.基板類金絲鍵合檢驗夾具，其特征在于，所述基板類金絲鍵合檢驗夾具包括基板夾具（1）及位于所述基板夾具（1）下方的基座（2）；所述基板夾具（1）與基座（2）能轉動連接；

所述基板夾具（1）為中空鐵板，在中間位置設有用于嵌入MIS基板（3）的凹槽（13），在四個角設有用于定位磁性軟鋼圈（11）的定位槽（12），所述磁性軟鋼圈（11）吸附在基板夾具（1）表面。

2.根據權利要求1所述的基板類金絲鍵合檢驗夾具，其特征在于：所述基座（2）包括底座（21）、安裝在所述底座（21）上的支撐桿（22）及安裝在所述支撐桿（22）上的夾爪（23），所述夾爪（23）兩端設有卡槽（231），所述基板夾具（1）能插入卡槽（231）內與夾爪（23）固定。

3.根據權利要求2所述的基板類金絲鍵合檢驗夾具，其特征在于：所述支撐桿（22）的一端與底座（21）固定，另一端與夾爪（23）轉動連接。

4.根據權利要求3所述的基板類金絲鍵合檢驗夾具，其特征在于：所述支撐桿（22）的另一端及所述夾爪（23）下方中心位置均設有銷軸孔，所述支撐桿（22）的另一端通過銷軸（24）穿過銷軸孔與夾爪（23）固定。

5.根據權利要求1所述的基板類金絲鍵合檢驗夾具，其特征在于：所述磁性軟鋼圈（11）的內圈周長小于MIS基板（3）邊緣周長，且所述磁性軟鋼圈（11）的內圈邊沿壓住MIS基板（3）的外邊沿。