[實用新型]一種靶材外觀缺陷檢測裝置

有效

• 申請號: 201920153817.0
• 申請日: 2019-01-29
• 公開（公告）號: CN209727792U
• 公開（公告）日: 2019-12-03
• 發明（設計）人: 許銳;馬燃;李銳
• 申請（專利權）人: 武漢精立電子技術有限公司;武漢精測電子集團股份有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 42104 武漢開元知識產權代理有限公司
• 代理人: 黃行軍;高炳龍<國際申請>=<國際公布>

1.一種靶材外觀缺陷檢測裝置，包括基座，所述基座上設置有用于承載定位靶材的定位裝置、用于檢測靶材平整度的檢測裝置和用于移動靶材檢測裝置的位移裝置，其特征在于：所述檢測裝置包括用于檢測靶材背面的背檢相機、用于檢測靶材正面的正檢相機和用于檢測靶材側面的側檢相機，所述背檢相機設置于所述定位裝置下方，所述正檢相機和所述側檢相機設置于所述定位裝置上方，所述正檢相機和所述側檢相機均與所述位移裝置連接。

2.根據權利要求1所述的靶材外觀缺陷檢測裝置，其特征在于：所述定位裝置包括放置底板，所述放置底板的上端面設置有用于與靶材的背板配合定位靶材的定位結構，所述放置底板的上端面設置有背檢相機避讓孔。

3.根據權利要求2所述的靶材外觀缺陷檢測裝置，其特征在于：所述定位結構包括多個定位輪，多個定位輪圍成的形狀與靶材的背板形狀相對應。

4.根據權利要求1所述的靶材外觀缺陷檢測裝置，其特征在于：所述位移裝置包括沿靶材長度方向布置的X向直線模組，所述X向直線模組的活動端連接有沿靶材寬度方向布置的Y向直線模組，所述Y向直線模組的活動端連接有沿豎直方向的Z向直線模組，所述Z向直線模組的活動端連接有所述正檢相機和所述側檢相機。

5.根據權利要求4所述的靶材外觀缺陷檢測裝置，其特征在于：所述Y向直線模組的活動端上連接有兩個Z向直線模組包括兩個，兩個Z向直線模組位于Y向直線模組的不同側。

6.根據權利要求5所述的靶材外觀缺陷檢測裝置，其特征在于：所述Z向直線模組的活動端連接有L形的相機安裝支架。

7.根據權利要求6所述的靶材外觀缺陷檢測裝置，其特征在于：所述相機安裝支架上固接有正檢相機，所述正檢相機豎直布置。

8.根據權利要求6所述的靶材外觀缺陷檢測裝置，其特征在于：所述相機安裝支架上固接有旋轉臺，所述旋轉臺的活動端連接有側檢相機，所述側檢相機傾斜布置。

9.根據權利要求8所述的靶材外觀缺陷檢測裝置，其特征在于：所述旋轉臺上安裝有環形光源。

10.根據權利要求7所述的靶材外觀缺陷檢測裝置，其特征在于：所述基座包括機架，所述機架的上端面上固接有一對平行布置的大理石，所述機架和所述大理石之間設置有減震墊。