[實用新型]一種掃描探針顯微鏡樣品平面方向熱漂移補償裝置

有效

• 申請號: 201920150204.1
• 申請日: 2019-01-29
• 公開（公告）號: CN209570747U
• 公開（公告）日: 2019-11-01
• 發明（設計）人: 張祥;梁楓;丁帥
• 申請（專利權）人: 常州國成新材料科技有限公司
• 主分類號: G02B21/34
• 分類號: G02B21/34
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種掃描探針顯微鏡樣品平面方向熱漂移補償裝置，包括樣品托底座和樣品托，其特征在于，樣品托上設有突出，樣品托底座上設有凹槽，突出與凹槽相匹配，形成滑動軌道，通過對稱性設計，SPM的針尖在中間的樣品附近，樣品托和樣品的熱膨脹或收縮會以對稱中心向外膨脹或向內收縮，從而使得樣品中間位置相對針尖的位置保持不變。

2.如權利要求1所述的一種掃描探針顯微鏡樣品平面方向熱漂移補償裝置，其特征在于所述掃描探針顯微鏡可以為掃描隧道顯微鏡STM，原子力顯微鏡AFM，激光力顯微鏡LFM，磁力顯微鏡MFM，近場光學顯微鏡（SNOM）中的一種。

3.如權利要求1所述的一種掃描探針顯微鏡樣品平面方向熱漂移補償裝置，其特征在于所述突出和凹槽成對出現，其分布在以針尖所在位置為圓心的圓圈區域內，為對稱中心分布。

4.如權利要求1所述的一種掃描探針顯微鏡樣品平面方向熱漂移補償裝置，其特征在于所述突出可以是棱形，半圓形，三角形中的一種或兩者以上的組合，只要滿足其導向方向為以對稱中心為圓心的半徑方向。

5.如權利要求1所述的一種掃描探針顯微鏡樣品平面方向熱漂移補償裝置，其特征在于所述突出和凹槽成對出現，數量為2-10對。

6.如權利要求1所述的一種掃描探針顯微鏡樣品平面方向熱漂移補償裝置，其特征在于所述突出可以在樣品托上或者在樣品托底座上，凹槽則對應的在樣品托底座或樣品托上。