[實(shí)用新型]一種具有自動(dòng)冷卻功能的小分子提純設(shè)備加熱爐有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201920150005.0 | 申請日: | 2019-01-29 |
| 公開(公告)號: | CN209672833U | 公開(公告)日: | 2019-11-22 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 董毅;劉志華;周慶楠 | 申請(專利權(quán))人: | 沈陽慧宇真空技術(shù)有限公司 |
| 主分類號: | F27B17/00 | 分類號: | F27B17/00;F27D9/00 |
| 代理公司: | 21232 沈陽世紀(jì)藍(lán)海專利事務(wù)所(普通合伙) | 代理人: | 王勝利<國際申請>=<國際公布>=<進(jìn)入 |
| 地址: | 110042 遼*** | 國省代碼: | 遼寧;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 活動(dòng)爐體 氣缸 管式爐體 提純設(shè)備 連接板 鉸接 加熱爐 折頁 管式加熱爐 固定爐體 降溫冷卻 降溫裝置 爐體冷卻 爐外空氣 氣缸支架 升華設(shè)備 銷軸鉸接 自動(dòng)打開 自動(dòng)冷卻 活塞桿 上面板 小分子 提純 對管 爐體 石英 臺(tái)架 移出 加熱 焊接 管制 暴露 節(jié)約 能源 | ||
一種具有自動(dòng)冷卻功能的小分子提純設(shè)備加熱爐,屬于提純設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,克服了現(xiàn)有管式加熱爐爐體冷卻速度慢,以及具有降溫裝置的提純升華設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜,操作繁瑣和成本高的問題,特征是活動(dòng)爐體和固定爐體由折頁鉸接,在臺(tái)架的上面板上面安裝有氣缸支架,并通過第一銷軸鉸接有氣缸,在活動(dòng)爐體的后面焊接有連接板,該連接板的另一端與氣缸的活塞桿鉸接,有益效果是,采用氣缸作為活動(dòng)爐體關(guān)閉與打開的執(zhí)行機(jī)構(gòu),可以實(shí)現(xiàn)活動(dòng)爐體關(guān)閉與打開的自動(dòng)控制,當(dāng)加熱工作完成后可自動(dòng)打開活動(dòng)爐體,采用石英管制作的管式爐體暴露在外與爐外空氣自然接觸,不需要移出管式爐體即可對管式爐體進(jìn)行降溫冷卻,結(jié)構(gòu)簡單,成本低且操作簡便,還節(jié)約了能源。
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型屬于提純設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種具有自動(dòng)冷卻功能的小分子提純設(shè)備加熱爐。
背景技術(shù)
現(xiàn)有技術(shù)中,用于小分子提純設(shè)備的加熱爐包括管式內(nèi)加熱爐和管式外加熱爐,這兩種管式加熱爐可以單獨(dú)使用,也可以組合使用,其中,管式外加熱爐包括管式爐膽,管式爐膽上安裝有加熱體,管式爐膽內(nèi)裝有管式爐體,在提純工作完成后,管式爐體的冷卻靠管式外加熱爐自然降溫冷卻,由于管式外加熱爐的管式爐膽及管式爐膽上安裝的加熱體和管式爐膽內(nèi)裝有的管式爐體處于全封閉狀態(tài),所以冷卻速度慢,一般需要8~12小時(shí)才能達(dá)到取出沉積材料的溫度,工作效率低,如果在過高溫度狀態(tài)下取出沉積材料,則取出的沉積材料會(huì)發(fā)生氧化,所以希望盡量加快降溫冷卻速度。申請?zhí)枮镃N201721536453(CN207649382U)的實(shí)用新型公開了“一種具有降溫裝置的提純升華設(shè)備”,該提純升華設(shè)備包括管式加熱爐,其包括位于所述管式加熱爐中的石英管和石英管移出裝置,用于對移出的石英管進(jìn)行冷卻的冷卻裝置,該實(shí)用新型通過將石英管移出側(cè)翻式加熱爐,并通過冷卻裝置對石英管進(jìn)行冷卻,可以使石英管脫離熱源,有效減少石英管降溫所消耗的時(shí)間,但是,該實(shí)用新型需要將加熱爐中的石英管的長度加長,同時(shí)需要石英管移出裝置,還需要爐外的冷卻裝置對移出部分的石英管進(jìn)行冷卻,所以結(jié)構(gòu)復(fù)雜,操作繁瑣,成本較高。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型所要解決的問題是,克服現(xiàn)有技術(shù)的不足之處,提供一種結(jié)構(gòu)簡單、成本低且操作簡便的一種具有自動(dòng)冷卻功能的小分子提純設(shè)備加熱爐。
本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案包括臺(tái)架、活動(dòng)爐體、固定爐體和管式爐體,在固定爐體上安裝有下爐膽,在下爐膽上安裝有下加熱體,在活動(dòng)爐體上安裝有上爐膽,在上爐膽上安裝有上加熱體,所述活動(dòng)爐體和固定爐體由折頁鉸接,在臺(tái)架的上面板上面安裝有氣缸支架,在氣缸支架上通過第一銷軸鉸接有氣缸,在活動(dòng)爐體的后面焊接一個(gè)連接板,該連接板的另一端通過第二銷軸與氣缸的活塞桿鉸接。
所述管式爐體采用石英管制作。
在臺(tái)架的上面板上還安裝有風(fēng)扇。
與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果是:由于本實(shí)用新型采用氣缸作為活動(dòng)爐體關(guān)閉與打開的執(zhí)行機(jī)構(gòu),可以實(shí)現(xiàn)活動(dòng)爐體關(guān)閉與打開的自動(dòng)控制,工作時(shí)當(dāng)加熱工作完成后,可自動(dòng)打開活動(dòng)爐體,爐內(nèi)的上加熱體和下加熱體停止工作,下爐膽及在下爐膽上安裝的下加熱體,上爐膽及在上爐膽上安裝的上加熱體和采用石英管制作的管式爐體暴露在外與爐外空氣自然接觸,由于爐外空氣的溫度遠(yuǎn)低于爐內(nèi)溫度,不需要移出管式爐體即可對管式爐體進(jìn)行降溫冷卻,并可通過風(fēng)扇進(jìn)一步加快降溫冷卻速度,2~3小時(shí)即可達(dá)到取出沉積材料的溫度,結(jié)構(gòu)簡單,不需要加長管式爐體的長度,成本低,且操作簡便,還節(jié)約了能源。
附圖說明
圖1是本實(shí)用新型的主視圖,
圖2是圖1的A-A剖視圖,
圖3是本實(shí)用新型活動(dòng)爐體打開狀態(tài)示意圖。
圖中:
1.臺(tái)架,1-1.上面板,
2.固定爐體,
2-1.下爐膽,2-2.下加熱體,
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