[實(shí)用新型]一種硅片生產(chǎn)用上料裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920145133.6
• 申請日: 2019-01-28
• 公開（公告）號: CN209757878U
• 公開（公告）日: 2019-12-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊晟遠(yuǎn)
• 申請（專利權(quán)）人: 上海合晶硅材料有限公司
• 主分類號: B65D25/10
• 分類號: B65D25/10;B65D25/38;B65D25/02
• 代理公司: 31289 上海灣谷知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 張恒

1.一種硅片生產(chǎn)用上料裝置，包括底座(1)和硅片卡座(3)，其特征在于，所述硅片卡座(3)設(shè)有若干個，所述硅片卡座(3)設(shè)置在底座(1)的內(nèi)部，且所述硅片卡座(3)均與底座(1)滑動連接，所述硅片卡座(3)包括料架(4)，所述料架(4)頂部的中央位置開設(shè)有放料槽(5)，所述料架(4)一側(cè)的側(cè)壁上固定連接有第一卡塊(6)，所述料架(4)對應(yīng)第一卡塊(6)的上方和下方均開設(shè)有第一卡槽(7)，所述料架(4)遠(yuǎn)離第一卡塊(6)一側(cè)的側(cè)壁上開設(shè)有第二卡槽(8)，所述第二卡槽(8)的上方和下方均設(shè)有第二卡塊(9)，所述第二卡塊(9)與料架(4)的側(cè)壁固定連接，所述底座(1)靠近第一卡塊(6)一側(cè)的內(nèi)側(cè)上開設(shè)有第三卡槽(10)，所述第三卡槽(10)的下方設(shè)有第三卡塊(11)，所述第三卡塊(11)與底座(1)的內(nèi)側(cè)壁固定連接，所述底座(1)靠近第二卡塊(9)一側(cè)的內(nèi)壁上對應(yīng)開設(shè)有第四卡槽(13)，所述第四卡槽(13)的上方設(shè)有第四卡塊(12)，所述第四卡塊(12)與底座(1)固定連接，每組所述料架(4)底部的一端固定連接有第一滑塊(15)，所述底座(1)內(nèi)底部的側(cè)壁上對應(yīng)第一滑塊(15)開設(shè)有第一滑槽(16)，所述第一滑塊(15)與第一滑槽(16)滑動連接，所述第一滑槽(16)的內(nèi)部設(shè)有第一彈性彈簧(17)，所述第一彈性彈簧(17)的一端與第一滑塊(15)固定連接，所述第一彈性彈簧(17)的另一端與第一滑槽(16)內(nèi)部遠(yuǎn)離第一滑塊(15)一端的側(cè)壁固定連接，所述第一滑塊(15)的底部固定連接有第二滑塊(18)，所述第一滑槽(16)的內(nèi)底部對應(yīng)第二滑塊(18)開設(shè)有第二滑槽(19)，所述第二滑塊(18)與第二滑槽(19)滑動連接，所述第二滑槽(19)遠(yuǎn)離第二滑塊(18)一端內(nèi)底部開設(shè)有第三滑槽(20)，所述第三滑槽(20)的內(nèi)部滑動連接有第三滑塊(21)，所述第三滑塊(21)的底部固定連接有第二彈性彈簧(22)，所述第二彈性彈簧(22)設(shè)置在第三滑槽(20)的內(nèi)部，且所述第二彈性彈簧(22)的另一端與第三滑槽(20)的內(nèi)底部固定連接，所述第三滑塊(21)靠近第二滑塊(18)的一側(cè)設(shè)有推塊(25)，所述推塊(25)遠(yuǎn)離第三滑塊(21)的一側(cè)固定連接有推桿(26)，所述推桿(26)和推塊(25)均與底座(1)滑動連接，所述推桿(26)的桿壁上固定連接有第二限位滑塊(28)，所述底座(1)對應(yīng)第二限位滑塊(28)開設(shè)有第二限位滑槽(27)，所述第二限位滑塊(28)滑動連接在第二限位滑槽(27)的內(nèi)部，所述第二限位滑槽(27)內(nèi)部推桿(26)的桿壁上套接有第三彈性彈簧(29)，所述第三彈性彈簧(29)設(shè)置在第二限位滑塊(28)靠近推塊(25)的一側(cè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片生產(chǎn)用上料裝置，其特征在于，所述第一卡槽(7)與第二卡塊(9)和第三卡塊(11)相適配設(shè)有，所述第二卡槽(8)與第一卡塊(6)和第四卡塊(12)相適配設(shè)有，所述第三卡槽(10)與第一卡塊(6)相適配設(shè)有，所述第四卡槽(13)與第二卡塊(9)相適配設(shè)有。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片生產(chǎn)用上料裝置，其特征在于，所述第三滑塊(21)兩側(cè)的側(cè)壁上均固定連接有第一限位滑塊(23)，所述第三滑槽(20)的內(nèi)壁上對應(yīng)第一限位滑塊(23)開設(shè)有第一限位滑槽(24)，所述第一限位滑塊(23)與第一限位滑槽(24)滑動連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片生產(chǎn)用上料裝置，其特征在于，所述底座(1)的底部粘接有橡膠防滑墊片(2)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片生產(chǎn)用上料裝置，其特征在于，所述推桿(26)遠(yuǎn)離推塊(25)的一端延伸出底座(1)且固定連接有按鈕(14)。