[實用新型]一種低溫泵結構

有效

• 申請號: 201920142084.0
• 申請日: 2019-01-25
• 公開（公告）號: CN209458079U
• 公開（公告）日: 2019-10-01
• 發明（設計）人: 劉純;呂桂強;孟大偉;侯衛紅
• 申請（專利權）人: 北京哲勤科技有限公司
• 主分類號: F04B37/08
• 分類號: F04B37/08;F04B39/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型涉及一種低溫泵結構，其包括腔體，所述腔體內由上向下依次設置有導流組件、冷卻組件和隔離桶，腔體的上部設置有法蘭，所述法蘭上連接有盲板，盲板與法蘭之間設置有固定裝置，固定裝置卡在法蘭與盲板相背的表面上，所述法蘭周向上均勻設置有多個固定裝置。本實用新型具有保護腔體內比較清潔的效果。

技術領域

本實用新型涉及一種低溫泵的技術領域，尤其是涉及一種低溫泵結構。

背景技術

低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率最大、極限壓力最低的清潔真空，廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產，以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。

在低溫泵內設有由液氦或制冷機冷卻到極低溫度的冷板。它使氣體凝結，并保持凝結物的蒸汽壓力低于泵的極限壓力，從而達到抽氣作用。低溫抽氣的主要作用是低溫冷凝、低溫吸附和低溫捕集。低溫冷凝：氣體分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的氣體層上，其平衡壓力基本上等于冷凝物的蒸氣壓。抽空氣時，冷板溫度必須低于25K；抽氫時，冷板溫度更低。低溫冷凝抽氣冷凝層厚度可達10毫米左右。低溫吸附：氣體分子以一個單分子層厚被吸附到涂在冷板上的吸附劑表面上。吸附的平衡壓力比相同溫度下的蒸氣壓力低得多。如在20K時氫的蒸氣壓力等于大氣壓力，用20K的活性炭吸氫時吸附平衡壓力則低于10-8帕。這樣就可能在較高溫度下通過低溫吸附來進行抽氣。低溫捕集：在抽氣溫度下不能冷凝的氣體分子，被不斷增長的可冷凝氣體層埋葬和吸附。

現技術中的低溫泵，包括設置在頂端的法蘭，與法蘭連接的腔體、與腔體下端連接的制冷機，設置在腔體內部的圓盤式氣體吸附組件。但是這樣的結構中由于法蘭處開口，在安裝前容易進入到腔體內污染物。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種低溫泵結構，其具有保護腔體內比較清潔的效果。

本實用新型的上述發明目的是通過以下技術方案得以實現的：

一種低溫泵結構，包括腔體，所述腔體內由上向下依次設置有導流組件、冷卻組件和隔離桶，腔體的上部設置有法蘭，所述法蘭上連接有盲板，盲板與法蘭之間設置有固定裝置，固定裝置卡在法蘭與盲板相背的表面上，所述法蘭周向上均勻設置有多個固定裝置。

通過采用上述技術方案，使用時，盲板蓋在腔體上的法蘭上，并通過固定裝置固定在腔體上，盲板能夠在使腔體在運輸過程中保持封閉，防止對腔體內造成污染，同時固定裝置能夠在后期與法蘭連接時使用，并且在安裝法蘭時，法蘭通過固定裝置安裝在法蘭的周向上，對法蘭的制造精度要求低，安裝的角度容易調節。

本實用新型進一步設置為：所述固定裝置包括連接件一和連接件二，連接件一上開設有通孔，連接件二上設置有螺柱，螺柱配合插入到通孔內并螺紋連接有螺母，連接件一上設置有鉤部一，連接件二上設置有鉤部二，鉤部一和鉤部二沿著螺柱的橫向截面相對設置，所述鉤部一和鉤部二分別鉤在法蘭和盲板相背的表面上。

通過采用上述技術方案，連接件二上設置螺柱，螺柱穿過通孔并通過螺母螺紋連接，在鉤部一鉤在盲板上，鉤部二鉤在法蘭上時，螺母使鉤部一和鉤部二相對靠近，從而使固定裝置將盲板固定在法蘭上。

本實用新型進一步設置為：所述連接件一上開設有滑槽，滑槽的長度方向與螺柱的長度方向相同，連接件二為桿狀且連接件二的橫截面為矩形，連接件二的一端插入滑槽內。

通過采用上述技術方案，連接件一上開設滑槽，滑槽上的長度方向與螺柱的長度方向相同，從而使連接件二在插入到滑槽內時，連接件一與連接件二的連接結構比較穩定，強度比較大。

本實用新型進一步設置為：所述盲板背向法蘭的一面沿著盲板的邊緣設置有凸臺一，法蘭背向盲板的一面邊緣設置有凸臺二。