[實(shí)用新型]一種連接位置可調(diào)的真空排氣臺(tái)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201920142082.1 | 申請(qǐng)日： | 2019-01-25 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN209586623U | 公開（公告）日： | 2019-11-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 劉純;付憲陽(yáng);司媛媛;孟大偉 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 北京哲勤科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | F04B37/14 | 分類號(hào)： | F04B37/14;F04B39/00;F04B39/12;F16M3/00 |
| 代理公司： | 暫無(wú)信息 | 代理人： | 暫無(wú)信息 |
| 地址： | 102600 北京市大興區(qū)北京*** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 金屬軟管 真空排氣 連接管 連接位置 可調(diào)的 背離 本實(shí)用新型 真空壓力計(jì) 導(dǎo)管連接 一端連接 一端設(shè)置 單向閥 根導(dǎo)管 離子泵 真空室 導(dǎo)管 法蘭 聯(lián)通 室外 | ||
1.一種連接位置可調(diào)的真空排氣臺(tái)，包括相連通的離子泵(1)以及真空室(4)，還包括若干個(gè)單向閥(9)以及真空壓力計(jì)(8)，其特征在于：所述真空室(4)外還設(shè)置有至少兩根導(dǎo)管(51)、所述導(dǎo)管(51)連接有金屬軟管(52)，所述金屬軟管(52)背離導(dǎo)管(51)的一端連接有連接管(53)，所述連接管(53)背離金屬軟管(52)的一端設(shè)置有用于連接的法蘭。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的連接位置可調(diào)的真空排氣臺(tái)，其特征在于：所述離子泵(1)下方設(shè)置有行走小車(2)，所述行走小車(2)包括固定在所述離子泵(1)底端的平板(21)以及安裝在所述平板(21)底端面上的滾輪(22)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的連接位置可調(diào)的真空排氣臺(tái)，其特征在于：所述平板(21)上設(shè)置有調(diào)節(jié)連接管(53)位置的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(7)，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(7)包括固定在所述平板(21)頂端的套管(71)，所述套管(71)內(nèi)滑動(dòng)連接有滑桿(72)，所述滑桿(72)與所述套管(71)亦旋轉(zhuǎn)連接，位于滑桿(72)的頂端固定有夾持所述連接管(53)的管夾一(73)，位于所述連接管(53)與所述套管(71)之間設(shè)置有能夠固定連接管(53)位置的固定件。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的連接位置可調(diào)的真空排氣臺(tái)，其特征在于：所述固定件為傾斜支撐在所述連接管(53)以及套管(71)之間的斜撐桿(74)，所述斜撐桿(74)朝向所述套管(71)的一端固定有管夾二(75)，所述管夾二(75)夾持在所述套管(71)的外壁上；所述斜撐桿(74)朝向所述連接管(53)的一端固定有管夾三(76)，所述管夾三(76)夾持在所述連接管(53)的外壁上。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的連接位置可調(diào)的真空排氣臺(tái)，其特征在于：所述套管(71)垂直于所述平板(21)設(shè)置。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的連接位置可調(diào)的真空排氣臺(tái)，其特征在于：所述套管(71)與所述離子泵(1)之間設(shè)置有支撐套管(71)的連桿(77)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的連接位置可調(diào)的真空排氣臺(tái)，其特征在于：所述單向閥(9)安裝在所述導(dǎo)管(51)上。
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