[實用新型]一種擴晶機

有效

• 申請號: 201920141966.5
• 申請日: 2019-01-24
• 公開（公告）號: CN209561342U
• 公開（公告）日: 2019-10-29
• 發明（設計）人: 王富東;藍漢潮
• 申請（專利權）人: 深圳市銘上光電有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L33/48
• 代理公司: 深圳市鼎泰正和知識產權代理事務所(普通合伙) 44555
• 代理人: 代春蘭

1.一種擴晶機，其特征在于：它包括基座(1)、擴晶機構(2)；所述的基座(1)矩形框架狀，擴晶機構(2)設置在基座(1)上；所述的擴晶機構(2)包括固定平臺(21)、橫向擴展機構(22)、縱向擴展機構(23)；所述的固定平臺(21)固定在基座(1)上；所述的縱向擴展機構(23)包括第一擴展臂(231)、第二擴展臂(232)、擴展驅動絲杠(233)、驅動電機(234)；所述的擴展驅動絲杠(233)水平設置在固定平臺(21)上的底部；所述的擴展驅動絲杠(233)的兩端設置有旋轉方向相反的螺紋；所述的第一擴展臂(231)、第二擴展臂(232)分別安裝在擴展驅動絲杠(233)的兩端；所述的第一擴展臂(231)、第二擴展臂(232)設置在固定平臺(21)的側面，且位于固定平臺(21)的相對的兩個側面所述的橫向擴展機構(22)包括設置在固定平臺(21)兩側的第一橫向擴展滾輪(221)、第二橫向擴展滾輪(222)；且第一橫向擴展滾輪(221)、第二橫向擴展滾輪(222)分別與第一擴展臂(231)、第二擴展臂(232)相鄰設置。

2.根據權利要求1所述的一種擴晶機，其特征在于：所述的固定平臺(21)整體呈矩形板狀，中部設有第一圓形凹槽(211)；所述的第一圓形凹槽(211)的截面呈圓形。

3.根據權利要求2所述的一種擴晶機，其特征在于：所述的固定平臺(21)上，第一圓形凹槽(211)周圍設置有若干個薄膜厚度檢測傳感器(212)。

4.根據權利要求3所述的一種擴晶機，其特征在于：所述的第一擴展臂(231)、第二擴展臂(232)的上部設有夾緊機構(235)；所述的驅動電機(234)經過同步帶與擴展驅動絲杠(233)相互連接；所述的夾緊機構(235)為薄膜壓緊結構，用于將晶膜固定在第一擴展臂(231)、第二擴展臂(232)上部。

5.根據權利要求4所述的一種擴晶機，其特征在于：所述的第一橫向擴展滾輪(221)、第二橫向擴展滾輪(222)包括分別輔助滾輪(2201)、主動滾輪(2202)；所述的主動滾輪(2202)直接與步進電機(2204)相互連接；所述的主動滾輪(2202)的軸線方向與固定平臺(21)的兩側邊緣相互平行設置。

6.根據權利要求5所述的一種擴晶機，其特征在于：所述的輔助滾輪(2201)安裝在輔助滾輪支架(2205)上；所述的輔助滾輪支架(2205)呈門形框架狀，中部設有與第一圓形凹槽(211)相互匹配的通孔，通孔周圍設有與薄膜厚度檢測傳感器(212)相互匹配的傳感器；所述的輔助滾輪支架(2205)一端鉸接安裝在固定平臺(21)的一端，且輔助滾輪(2201)與主動滾輪(2202)的軸線共面設置；所述的輔助滾輪(2201)、主動滾輪(2202)上面包覆有橡膠。

7.根據權利要求6所述的一種擴晶機，其特征在于：所述的擴晶機構(2)還包括第一固定圓環(24)、第二固定圓環(25)；所述的第一固定圓環(24)的內徑與第一圓形凹槽(211)的內側壁相互接觸設置；所述的第二固定圓環(25)的內徑與第一固定圓環(24)的外側壁相互匹配設置。

8.根據權利要求7所述的一種擴晶機，其特征在于：還包括切割機構(3)，所述的切割機構(3)包括下壓執行機構(31)、壓盤(32)；所述的下壓執行機構(31)為液壓缸、氣壓缸、直線電機等裝置；所述的下壓執行機構(31)經過支架固定安裝在固定平臺(21)的上部；所述的壓盤(32)呈圓盤狀，固定安裝在下壓執行機構(31)的輸出端上；所述的壓盤(32)的內部設有圓柱形凹槽(321)。

9.根據權利要求8所述的一種擴晶機，其特征在于：所述的圓柱形凹槽(321)的內徑與第二固定圓環(25)的外徑相互匹配設置；所述的圓柱形凹槽(321)的外側壁上設有圓環狀刀刃(322)；所述的圓環狀刀刃(322)高于第二固定圓環(25)設置。