[實用新型]真空室和真空室的一部分

有效

• 申請號: 201920140551.6
• 申請日: 2019-01-25
• 公開（公告）號: CN210423307U
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發明（設計）人: 安德烈亞斯·穆勒;邁克爾·韋斯特里希;埃里克·安索奇
• 申請（專利權）人: 梅耶博格（德國）有限責任公司
• 主分類號: F16B11/00
• 分類號: F16B11/00
• 代理公司: 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 11258
• 代理人: 柳春雷

1.真空室(1，1')，具有多個構成所述真空室(1，1')的部件，

其特征在于，

所述真空室(1，1')具有連接所述真空室(1，1')的至少兩個部件的粘合部(4)。

2.根據權利要求1所述的真空室(1，1')，其特征在于，所述部件是室壁(2)和/或連接法蘭(3)。

3.根據權利要求2所述的真空室(1，1')，其特征在于，所述粘合部(4)上的接觸面以這樣的方向或階梯形狀或方向和階梯形狀的組合來設計，并且以部件的這樣的厚度來設計，使得全部作用到粘合面的力，即壓力F_n、剪切力F_s和剝離力被限制在對粘合劑重要的界限值內。

4.根據權利要求3所述的真空室(1，1')，其特征在于，所述粘合部(4)上的接觸面以這樣的方向或階梯形狀或方向和階梯形狀的組合來設計，并且以所述室壁(2)的這樣的厚度來設計，使得全部作用到粘合面的力，即壓力F_n、剪切力F_s和剝離力被限制在對粘合劑重要的界限值內。

5.根據權利要求3或4所述的真空室(1，1')，其特征在于，在所述真空室的粘合部(4)上產生的剝離力被全部最小化。

6.根據權利要求1所述的真空室(1，1')，其特征在于，這樣構造在所述粘合部(4)上的接觸面，使得作用在所述粘合部(4)上的最大的作用力是法向的壓力F_n，或者使得沿法向作用在階梯形粘合部(4)的至少一個階梯部段上的壓力F_n最大化，從而使作用在粘合部(4)上的剝離力和剪切力F_s最小化。

7.根據權利要求3或6所述的真空室(1，1')，其特征在于，所述接觸面的粗糙度小于或等于Rz 40且大于或等于Rz 16。

8.根據權利要求1所述的真空室(1，1')，其特征在于，相互粘合的部件由相同或不同的材料組成。

9.根據權利要求8所述的真空室(1，1')，其特征在于，相互粘合的部件由鋼和/或鋁組成。

10.根據權利要求1所述的真空室(1，1')，其特征在于，使用雙組分環氧樹脂粘合劑作為粘合劑。

11.根據權利要求10所述的真空室(1，1')，其特征在于，所述粘合劑含有影響所述粘合劑的化學，機械或電學性質或真空適用性的添加劑。

12.根據權利要求1所述的真空室(1，1')，其特征在于，所述粘合部基本上從所述真空室(1，1')的提供大氣壓力的外部延伸至所述真空室(1，1')的各個部件的提供真空壓力的內部。

13.根據權利要求1所述的真空室(1，1')，其特征在于，所述粘合部(4)用于形成冷卻通道(5)，其中，所述粘合部(4)在凹槽邊緣處固定用于封閉凹槽的凹槽蓋(6)，或者將冷卻軟管(7)壓入和/或粘合到凹槽中，或者所述粘合部(4)在表面固定敞口的中空型材(8)。

14.根據權利要求1所述的真空室(1，1')，其特征在于，所述真空室(1，1')具有真空室系統的多個相同的、相互粘合的系統部件。

15.根據權利要求1所述的真空室(1，1')，其特征在于，所述粘合部(4)形成在間隙中，其中，所述間隙通過間隔保持件，定位銷，或螺釘設定0.1至0.3mm的間隙寬度。

16.根據權利要求1所述的真空室(1，1')，其特征在于，所述真空室具有框架和至少一個在所述框架上粘合的室壁，和/或角元件或角部件通過至少一個粘合部粘合到邊緣或角部。