[實用新型]一種雙加熱電極寬量程風速傳感器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920139945.X
• 申請日: 2019-01-28
• 公開（公告）號: CN209342746U
• 公開（公告）日: 2019-09-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙文杰;趙康佳;陸波;余博;劉桐
• 申請（專利權(quán)）人: 哈爾濱理工大學
• 主分類號: G01P5/00
• 分類號: G01P5/00;G01P13/02;G01K1/02;H05B3/00;H05B3/12
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標事務(wù)所 23109
• 代理人: 高倩

1.一種雙加熱電極寬量程風速傳感器，包括八邊形襯底(1)、四個溫度探測器電極(3)、加熱器電極(4)和四個熱隔離槽(5)，其特征在于，所述加熱器電極(4)位于八邊形襯底(1)的中心，加熱器電極(4)由雙加熱器圍成中心為方形盤繞式結(jié)構(gòu)和四個引用電極組成，所述四個引用電極分別從所述方形盤繞式結(jié)構(gòu)的四個角引出，延伸至八邊形襯底(1)的邊緣，且每個引用電極的寬度逐漸變寬，四個引出電極呈十字交叉；

每個溫度探測器電極(3)為對稱結(jié)構(gòu)，包括扇形本體及該本體邊緣引出并延伸至八邊形襯底(1)邊緣的兩個探測電極，四個溫度探測器電極(3)分布在加熱器電極(4)周圍的八邊形襯底(1)上，加熱器電極(4)的每相鄰兩個引出電極之間設(shè)置一個溫度探測器電極(3)；

在每個溫度探測器電極(3)與加熱器電極(4)之間的八邊形襯底(1)上設(shè)置一個熱隔離槽(5)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙加熱電極寬量程風速傳感器，其特征在于，所述傳感器還包括八邊形導熱介質(zhì)層(2)；

八邊形導熱介質(zhì)層(2)鍍在八邊形襯底(1)上，四個溫度探測器電極(3)、加熱器電極(4)和四個熱隔離槽(5)設(shè)置在八邊形導熱介質(zhì)層(2)上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種雙加熱電極寬量程風速傳感器，其特征在于，所述八邊形襯底(1)為純度99％的三氧化二鋁陶瓷襯底；

八邊形導熱介質(zhì)層(2)為氮化鋁導熱介質(zhì)薄膜；

四個溫度探測器電極(3)和加熱器電極(4)均為鉑膜。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種雙加熱電極寬量程風速傳感器，其特征在于，所述加熱器電極(4)的四個引出電極的末端和溫度探測器電極(3)的八個探測電極的末端均設(shè)置有引出焊盤；所述八邊形襯底(1)的邊緣設(shè)置了12個通孔焊盤(6)，通孔焊盤的位置與加熱器電極(4)和溫度探測器電極(3)的引出焊盤的位置對應，位置對應的通孔焊盤與引出焊盤連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種雙加熱電極寬量程風速傳感器，其特征在于，引線穿過引出焊盤和通孔焊盤，從八邊形襯底(1)的背面引出，且引出焊盤和通孔焊盤內(nèi)設(shè)置鉑漿焊接覆蓋。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種雙加熱電極寬量程風速傳感器，其特征在于，八邊形襯底(1)厚度為0.1-0.15mm，八邊形導熱介質(zhì)層(2)膜厚0.1-10μm，溫度探測器電極(3)和加熱器電極(4)薄膜厚度均為50-500nm，加熱器電極(4)的薄膜線寬a為40-100μm，溫度探測器電極(3)的薄膜線寬b為10-50μm，熱隔離槽(5)的槽深為0.1-0.15mm，槽寬為20-50μm，通孔焊盤(6)的通孔直徑50-100μm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6任一所述一種雙加熱電極寬量程風速傳感器，其特征在于，所述八邊形襯底(1)包括四個等長的長邊和四個等長的短邊，四個長邊和四個短邊交替連接，四個溫度探測器電極(3)的引出焊盤分布在四個短邊邊緣，加熱器電極(4)的四個引出焊盤分布在相對的四個長邊邊緣。