[實用新型]一種晶圓研磨裝置

有效

• 申請號: 201920138948.1
• 申請日: 2019-01-24
• 公開（公告）號: CN209565971U
• 公開（公告）日: 2019-11-01
• 發明（設計）人: 王祖傳;陳興紅;盧瑾;高媛;陳強
• 申請（專利權）人: 深圳市正和興電子有限公司
• 主分類號: B24B37/00
• 分類號: B24B37/00;B24B37/27;B24B47/12;B24B47/20
• 代理公司: 北京科家知識產權代理事務所(普通合伙) 11427
• 代理人: 陳娟

1.一種晶圓研磨裝置，包括支撐柜(1)，其特征在于：所述支撐柜(1)內壁底部固定連接有電動機(2)，所述電動機(2)的驅動軸固定連接有支撐軸(3)，所述支撐軸(3)遠離電動機(2)的一端貫穿支撐柜(1)并固定連接有研磨盤(4)，所述研磨盤(4)遠離支撐軸(3)的一側開設有研磨槽(5)，所述支撐柜(1)頂部一端固定連接有第一支撐桿(6)，所述第一支撐桿(6)頂部轉動連接有第二支撐桿(7)，所述第二支撐桿(7)遠離第一支撐桿(6)的一端固定連接有液壓伸縮桿(8)，所述液壓伸縮桿(8)底部固定連接有固定盤(9)，所述固定盤(9)底部開設有固定槽(10)，所述固定槽(10)內壁滑動連接有壓塊(11)，所述壓塊(11)頂部轉動連接有壓桿(12)，所述壓桿(12)遠離壓塊(11)的一端貫穿固定盤(9)并固定連接有轉柄(13)。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓研磨裝置，其特征在于：所述研磨槽(5)內壁放置有研磨墊(14)。

3.根據權利要求1所述的一種晶圓研磨裝置，其特征在于：所述壓桿(12)上開設有外螺紋并與固定盤(9)螺紋連接。

4.根據權利要求1所述的一種晶圓研磨裝置，其特征在于：所述壓塊(11)底部固定連接有防護墊(15)。

5.根據權利要求1所述的一種晶圓研磨裝置，其特征在于：所述固定盤(9)頂部開設有研磨劑槽孔(16)。

6.根據權利要求1所述的一種晶圓研磨裝置，其特征在于：所述固定盤(9)上開設有至少六個固定槽(10)。