[實用新型]一種適用于不同晶舟的檢測裝置

有效

• 申請號: 201920136658.3
• 申請日: 2019-01-25
• 公開（公告）號: CN209590211U
• 公開（公告）日: 2019-11-05
• 發明（設計）人: 胡輝
• 申請（專利權）人: 福建省福聯集成電路有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 福州市景弘專利代理事務所(普通合伙) 35219
• 代理人: 徐劍兵;林祥翔

本實用新型提供一種適用于不同晶舟的檢測裝置，包括升降夾板、調節頂針和傳感裝置，調節頂針包括調節旋鈕，調節頂針的中部設置有軸肩，升降夾板包括第一夾板、第二夾板和伸縮桿，傳感裝置設置在調節頂針的另一端的一側上。使用調節旋鈕在升降夾板上調節，使得調節旋鈕突出與第一夾板的長度不同，進而滿足不同晶舟的放置。具體的，將晶舟放置于調節旋鈕上，使得調節頂針被擠壓移動，同時位于調節頂針的彈簧也被擠壓收縮，而調節頂針的另一端會被壓入傳感裝置內，進而檢測到該晶舟被精確放置。而通過調整調節旋鈕來滿足不同晶舟的放置，提高檢測裝置的實用性。

技術領域

本實用新型涉及晶舟裝置領域，尤其涉及一種適用于不同晶舟的檢測裝置。

背景技術

隨著時代的發展，半導體技術發展越來越快，作為半導體黃光區關鍵設備的TRACK(涂布機和顯影機)顯的越來越重要，其工作效率直接影響整個工藝流程的進度。TRACK(涂布機和顯影機)機臺操作流程步驟中關鍵的一步就是晶舟的放置，而用來感應晶舟有無放置好的頂針則成為了一個重要的部分。然而現有放置不同晶舟時，是通過添加墊片的方式而調整頂針高度，而墊片容易受到擠壓變形或中間夾帶雜物，導致晶舟的加工精度有一定的影響，造成產品的不良率較高。

實用新型內容

為此，需要提供一種適用于不同晶舟的檢測裝置，解決不同尺寸的晶舟的放置的問題。

為實現上述目的，發明人提供了一種適用于不同晶舟的檢測裝置，包括升降夾板、調節頂針和傳感裝置；所述調節頂針包括調節旋鈕，所述調節旋鈕設置在調節頂針的一端，調節頂針的中部設置有軸肩；所述升降夾板包括第一夾板、第二夾板和伸縮桿，所述伸縮桿設置在第一夾板和第二夾板之間，所述調節旋鈕貫穿第一夾板設置，所述調節頂針的另一端貫穿第二夾板設置，所述軸肩位于第一夾板與第二夾板之間，且所述軸肩與第二夾板之間的調節頂針套設有彈簧，調節旋鈕用于調整調節旋鈕伸出第一夾板的長度，所述傳感裝置設置在調節頂針的另一端的一側上，所述傳感裝置用于檢測調節頂針是否受到晶舟的擠壓移動。

進一步地，所述調節旋鈕的一端面設置有空腔，所述空腔內設置有內螺紋。

進一步地，所述調節頂針的一端外側面設置有外螺紋，所述內螺紋與外螺紋相互旋合設置。

進一步地，還包括固定螺栓，所述固定螺栓貫穿調節旋鈕的空腔底面設置在調節頂針的一端面內。

進一步地，所述傳感裝置包括傳感器和底座，所述底座的一側面設置有檢測端口，傳感器設置在檢測端口內，所述底座的檢測端口位于調節頂針另一端朝向的正面上。

區別于現有技術，上述技術方案通過調節旋鈕在升降夾板上調節，使得調節旋鈕突出與第一夾板的長度不同，進而滿足不同晶舟的放置。具體的，將晶舟放置于調節旋鈕上，使得調節頂針被擠壓移動，同時位于調節頂針的彈簧也被擠壓收縮，而調節頂針的另一端會被壓入傳感裝置內，進而檢測到該晶舟被精確放置。而通過調整調節旋鈕來滿足不同晶舟的放置，提高檢測裝置的實用性。

附圖說明

圖1為具體實施方式所述的適用于不同晶舟的檢測裝置的結構圖；

圖2為具體實施方式所述的適用于不同晶舟的檢測裝置的局部剖視圖。

附圖標記說明：

10、升降夾板；101、第一夾板；102、第二夾板；103、伸縮桿；

20、調節頂針；201調節旋鈕；202、軸肩；203、外螺紋；

2011、空腔；2012、內螺紋；

30、傳感裝置；301、傳感器；302、底座；3021、檢測端口；

40、彈簧；

50、固定螺栓；

具體實施方式