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[實(shí)用新型]一種大曲率半徑球面光學(xué)元件自動(dòng)化位姿調(diào)整裝置有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201920131601.4 申請(qǐng)日: 2019-01-25
公開(公告)號(hào): CN209673675U 公開(公告)日: 2019-11-22
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 楊甬英;曹頻 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 杭州晶耐科光電技術(shù)有限公司
主分類號(hào): G01N21/95 分類號(hào): G01N21/95;G01N21/01;H04N5/232
代理公司: 33200 杭州求是專利事務(wù)所有限公司 代理人: 忻明年<國(guó)際申請(qǐng)>=<國(guó)際公布>=<進(jìn)入
地址: 310027 浙江省杭州*** 國(guó)省代碼: 浙江;33
權(quán)利要求書: 查看更多 說(shuō)明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 大曲率半徑球面 本實(shí)用新型 光學(xué)元件 算子 特征點(diǎn) 高倍顯微鏡 離焦 顯微鏡 光學(xué)元件表面 灰度圖像采集 空間坐標(biāo)轉(zhuǎn)換 球面光學(xué)元件 掃描檢測(cè)過(guò)程 位姿調(diào)整裝置 圖像 顯微鏡光軸 軸向移動(dòng)量 俯仰 邊緣特征 調(diào)整裝置 空間坐標(biāo) 數(shù)學(xué)模型 位姿調(diào)整 不平行 調(diào)整量 全口徑 暗場(chǎng) 對(duì)焦 光軸 景深 擬合 判據(jù) 矢高 豎直 正交 自旋 搜尋 自動(dòng)化
【權(quán)利要求書】:

1.一種大曲率半徑球面光學(xué)元件自動(dòng)化位姿調(diào)整裝置,其特征在于包括:

大曲率半徑球面光學(xué)元件(S1)、大曲率半徑球面光學(xué)元件固定架(S2)、調(diào)整上板(S3)、長(zhǎng)轉(zhuǎn)軸(S4)、俯仰調(diào)整電機(jī)(S5)、同步帶(S6)、俯仰驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)組件(S7)、調(diào)整中間板(S8)、圓弧導(dǎo)軌(S9)、調(diào)整頂塊(S10)、自旋調(diào)整電機(jī)(S11)、底板(S12)、高倍顯微鏡(S15)和CCD相機(jī)(S16);其中大曲率半徑球面光學(xué)元件(S1)安裝在大曲率半徑球面光學(xué)元件固定架(S2)上,大曲率半徑球面光學(xué)元件固定架(S2)固定在調(diào)整上板(S3)上,調(diào)整上板(S3)通過(guò)長(zhǎng)轉(zhuǎn)軸(S4)和俯仰驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)組件(S7)與調(diào)整中間板(S8)連接,俯仰調(diào)整電機(jī)(S5)固定在調(diào)整中間板(S8)上,通過(guò)同步帶(S6)與俯仰驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)組件(S7)連接;調(diào)整中間板(S8)底部安裝在圓弧導(dǎo)軌(S9)上,圓弧導(dǎo)軌(S9)安裝在底板(S12)上;調(diào)整中間板(S8)上安裝有調(diào)整頂塊(S10);底板(S12)上固定有自旋調(diào)整電機(jī)(S11);安裝高倍顯微鏡(S15)和CCD相機(jī)(S16)作為檢測(cè)成像系統(tǒng),使其光軸與大曲率半徑球面光學(xué)元件(S1)光軸平行。

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