[實用新型]一種半導體功率器件鍵合絲拉斷力測試裝置

有效

• 申請號: 201920128632.4
• 申請日: 2019-01-25
• 公開（公告）號: CN209745697U
• 公開（公告）日: 2019-12-06
• 發明（設計）人: 龔利汀;左勇強
• 申請（專利權）人: 無錫固電半導體股份有限公司
• 主分類號: G01N3/08
• 分類號: G01N3/08;G01N3/02
• 代理公司: 32104 無錫市大為專利商標事務所(普通合伙)
• 代理人: 曹祖良<國際申請>=<國際公布>=<進入

本實用新型屬于半導體分立器件功率器件的封裝技術領域，涉及一種半導體功率器件鍵合絲拉斷力測試裝置，包括控制盒，在所述控制盒的正面安裝有絲桿模組、所述絲桿模組的絲桿上套有的滑塊、所述滑塊上通過固定夾具固定的用于測試鍵合絲拉斷力的第一測力計和第二測力計，在所述絲桿模組的頂端安裝有步進電機，所述第一測力計和第二測力計末端均懸掛有用于鉤住鍵合絲的絲鉤；本實用新型的鍵合絲拉斷力測試裝置，通過步進電機配合絲桿模組的控制方式實現勻速拉斷鍵合絲，同時通過精確安裝固定機械測力計的水平垂直位置，保證了力方向的一致性，提高測試值準確性，從而提高功率器件的鍵合質量水平。

技術領域

本實用新型涉及一種測試裝置，具體地說是一種半導體功率器件鍵合絲拉斷力測試裝置，屬于半導體分立器件功率器件的封裝技術領域。

背景技術

半導體功率器件在封裝過程中，鍵合的工藝要求做到功率、壓力、時間調整適當，同時通過對鍵合引線進行拉斷力的測試，來判定鍵合產品的鍵合絲的牢固程度，是否合格。傳統測試方法為手持機械測力計，把測力計的絲鉤穿過鍵合絲，用手的力量拉斷鍵合絲，然后讀取測力計的數值。此方法測試經常產生測力偏差，原因主要有兩方面：一、為手持測力計時，不能保證每次測試時測力計的絲鉤與測力計和鍵合絲都是垂直，不可控，因此會導致測試時絲鉤上施加的力與鍵合絲所受的力方向不在一條直線上，從而導致測的力不準確；二、手持測力計拉斷鍵合絲時，不能保證測力計是勻速運動，因此可能產生慣性力的疊加，導致測試值的不準確，影響鍵合調試的判斷。

發明內容

本實用新型的目的在于克服現有技術中存在的不足，提供一種半導體功率器件鍵合絲拉斷力測試裝置，通過步進電機配合絲桿模組的控制方式實現勻速拉斷鍵合絲，同時通過精確安裝固定機械測力計的水平垂直位置，保證了力方向的一致性，提高測試值準確性，從而提高功率器件的鍵合質量水平。

為實現以上技術目的，本實用新型的技術方案是：在所述控制盒正面設有絲桿模組，在所述絲桿模組的絲桿上套有滑塊，在所述滑塊上通過固定夾具固定用于測試鍵合絲拉斷力的第一測力計和第二測力計，在所述絲桿模組頂端裝有步進電機，所述第一測力計和第二測力計末端均懸掛有用于鉤住鍵合絲的絲鉤。

進一步地，在所述絲桿模組的絲桿上端設有上限位開關、下端設有下限位開關，所述滑塊可與上限位開關、下限位開關接觸觸發。

進一步地，在所述控制盒的正面設有正反轉開關，在所述控制盒內部設有脈沖發生器、與所述脈沖發生器連接的步進驅動器、開關電源，所述開關電源分別與脈沖發生器、步進驅動器連接，所述步進驅動器與步進電機連接，所述上限位開關、下限位開關及正反轉開關均與脈沖發生器連接。

進一步地，所述開關電源為V電源，所述開關電源的L端、N端分別接市電V的火線、零線；+A、-A端口分別與脈沖發生器的V+、V-端口連接，同時+A、-A端口分別與步進驅動器的V+、GND端口連接。

進一步地，所述脈沖發生器的ENA-端口為使能信號輸出端口，DIR-端口為方向信號輸出端口，PUL-端口為脈沖信號輸出端口，所述脈沖發生器的ENA-、DIR-、PUL-端口分別連接到步進驅動器對應的ENA-、DIR-、PUL-端口；所述脈沖發生器的 V端口連接到步進驅動器的PUL+、DIR+、ENA+端口，為步進驅動器的PUL、DIR、ENA端提供共陽電源，所述脈沖發生器的公共COM端分別接到正反轉開關的中央公共端、上限位開關的一端、下限位開關的一端；所述脈沖發生器的SW端為正轉觸發端，且連接到正反轉開關上側ON端，SW端為反轉觸發端，且連接到正反轉開關下側ON端， SW端為正轉限位端，且連接到上限位開關的另一端，SW端為反轉限位端，且連接到下限位開關的另一端；脈沖發生器的AD為調速電位計，用于調節步進電機的轉速。

進一步地，所述步進驅動器的A+、A-、B+、B-端連接兩相四線步進電機。

進一步地，在所述滑塊內側設有內螺紋，在所述絲桿模組的絲桿上設有與所述內螺紋相配合的外螺紋，所述滑塊通過內螺紋與外螺紋配合在絲桿模組的絲桿上滑動。