[實用新型]一種全光譜薄膜厚度測量儀

有效

• 申請號: 201920125399.4
• 申請日: 2019-01-25
• 公開（公告）號: CN209246953U
• 公開（公告）日: 2019-08-13
• 發明（設計）人: 劉鴻飛;王春武;洪鵬林;柯衍航
• 申請（專利權）人: 奧譜天成（廈門）光電有限公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種全光譜薄膜厚度測量儀，其特征在于，包括檢測平臺、以及與檢測平臺相連接的檢測系統，其中：

檢測平臺包括支撐底座、二維平臺、膜厚探頭的支撐架和膜厚探頭；所述二維平臺通過支撐柱固定設置在支撐底座上，膜厚探頭的支撐架設置在支撐底座上，且位于二維平臺后側；膜厚探頭固定設置膜厚探頭的支撐架上；

檢測系統與檢測平臺之間通過光纖和數據線連接，該檢測系統包括全光譜光譜儀、二維平臺控制板、氘鹵組合燈電源模塊、風扇、步進電機驅動器和氘鹵組合燈；所述氘鹵組合燈電源模塊位于全光譜光譜儀右側；二維平臺控制板和氘鹵組合燈設置在氘鹵組合燈電源模塊和全光譜光譜儀之間，且氘鹵組合燈位于二維平臺控制板前側；所述步進電機驅動器位于氘鹵組合燈前側；風扇位于步進電機驅動器前側。

2.根據權利要求1所述的一種全光譜薄膜厚度測量儀，其特征在于，所述光纖采用Y型光纖。

3.根據權利要求1所述的一種全光譜薄膜厚度測量儀，其特征在于，所述氘鹵組合燈發射光的波段為190-2500nm從紫外到可見到紅外；所述氘鹵組合燈上設有一個SMA接口用于連接Y型光纖；所述氘鹵組合燈上貼有散熱片。

4.根據權利要求1所述的一種全光譜薄膜厚度測量儀，其特征在于，所述二維平臺包括第一驅動裝置、第二驅動裝置、X平臺、Y平臺和底板；所述X平臺通過滑軌和底板，X平臺和Y平臺通過第二滑軌連接；第一驅動裝置固定設置在底板，且和X平臺連接；所述第二驅動裝置固定設置在X平臺，且Y平臺。

5.根據權利要求4所述的一種全光譜薄膜厚度測量儀，其特征在于，所述第一驅動裝置和第二驅動裝置均采用高精度絲桿傳動裝置，并且采用步進電機作用動力的輸入源。

6.根據權利要求1所述的一種全光譜薄膜厚度測量儀，其特征在于，所述檢測系統還包括殼體，所述全光譜光譜儀、二維平臺控制板、氘鹵組合燈電源模塊、風扇、步進電機驅動器和氘鹵組合燈均設置在殼體內側。

7.根據權利要求1所述的一種全光譜薄膜厚度測量儀，其特征在于，所述數據線采用db9接頭。