[實(shí)用新型]微機(jī)電泵模塊

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920124529.2
• 申請(qǐng)日: 2019-01-24
• 公開（公告）號(hào): CN210135061U
• 公開（公告）日: 2020-03-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 莫皓然;余榮侯;張正明;戴賢忠;廖文雄;黃啟峰;韓永隆;郭俊毅
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 研能科技股份有限公司
• 主分類號(hào): F04B49/06
• 分類號(hào): F04B49/06;F04B19/00;F04B17/03
• 代理公司: 隆天知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 聶慧荃;鄭特強(qiáng)

1.一種微機(jī)電泵模塊，其特征在于，包含：

一微機(jī)電芯片，具有一芯片本體，該芯片本體為一長(zhǎng)方形，且具有一短邊；

至少一信號(hào)電極，設(shè)置于該芯片本體并鄰近該短邊，該至少一信號(hào)電極包含有一第一信號(hào)電極；

多個(gè)微機(jī)電泵，皆具有一第一電極與一第二電極，該第二電極電連接該至少一信號(hào)電極；

多個(gè)開關(guān)單元，電連接該多個(gè)微機(jī)電泵的該第一電極，該多個(gè)微機(jī)電泵與該多個(gè)開關(guān)單元分別一對(duì)一對(duì)應(yīng)連接；以及

多個(gè)控制電極，設(shè)置于該芯片本體并鄰近該短邊且分別電連接該多個(gè)開關(guān)單元；

其中，該至少一信號(hào)電極接收一調(diào)變電壓以傳輸至該多個(gè)微機(jī)電泵的該第二電極，該多個(gè)開關(guān)單元控制該多個(gè)微機(jī)電泵啟閉作動(dòng)。

2.如權(quán)利要求1所述的微機(jī)電泵模塊，其特征在于，該多個(gè)微機(jī)電泵的該第二電極電連接該第一信號(hào)電極。

3.如權(quán)利要求1所述的微機(jī)電泵模塊，其特征在于，該至少一信號(hào)電極更包含一第二信號(hào)電極。

4.如權(quán)利要求3所述的微機(jī)電泵模塊，其特征在于，該多個(gè)微機(jī)電泵可區(qū)分為一第一微機(jī)電泵群組及一第二微機(jī)電泵群組，該第一微機(jī)電泵群組的該多個(gè)第二電極電連接該第一信號(hào)電極，該第二微機(jī)電泵群組的該多個(gè)第二電極電連接該第二信號(hào)電極。

5.如權(quán)利要求3所述的微機(jī)電泵模塊，其特征在于，該多個(gè)微機(jī)電泵的該第二電極電連接該第一信號(hào)電極與該第二信號(hào)電極。

6.如權(quán)利要求3所述的微機(jī)電泵模塊，其特征在于，該至少一信號(hào)電極更包含一第三信號(hào)電極及一第四信號(hào)電極。

7.如權(quán)利要求6所述的微機(jī)電泵模塊，其特征在于，該多個(gè)微機(jī)電泵可區(qū)分為一第一微機(jī)電泵群組、一第二微機(jī)電泵群組、一第三微機(jī)電泵群組及一第四微機(jī)電泵群組，該第一微機(jī)電泵群組的該多個(gè)第二電極電連接該第一信號(hào)電極，該第二微機(jī)電泵群組的該多個(gè)第二電極電連接該第二信號(hào)電極，該第三微機(jī)電泵群組的該多個(gè)第二電極電連接該第三信號(hào)電極，該第四微機(jī)電泵群組的該多個(gè)第二電極電連接該第四信號(hào)電極。

8.如權(quán)利要求6所述的微機(jī)電泵模塊，其特征在于，該多個(gè)微機(jī)電泵可區(qū)分為一第一微機(jī)電泵群組及一第二微機(jī)電泵群組，該第一微機(jī)電泵群組的該多個(gè)第二電極電連接該第一信號(hào)電極與該第二信號(hào)電極，該第二微機(jī)電泵群組的該多個(gè)第二電極電連接該第三信號(hào)電極與該第四信號(hào)電極。

9.如權(quán)利要求6所述的微機(jī)電泵模塊，其特征在于，該多個(gè)微機(jī)電泵的該第二電極電連接該第一信號(hào)電極、該第二信號(hào)電極、該第三信號(hào)電極及該第四信號(hào)電極。

10.如權(quán)利要求1所述的微機(jī)電泵模塊，該多個(gè)開關(guān)單元包含有一第一開關(guān)單元及一第二開關(guān)單元，鄰近該第一開關(guān)單元的該多個(gè)微機(jī)電泵形成一第一微機(jī)電作動(dòng)區(qū)，且該第一微機(jī)電作動(dòng)區(qū)內(nèi)的該多個(gè)微機(jī)電泵皆電連接該第一開關(guān)單元，鄰近該第二開關(guān)單元的該多個(gè)微機(jī)電泵形成一第二微機(jī)電作動(dòng)區(qū)，且該第二微機(jī)電作動(dòng)區(qū)內(nèi)的該多個(gè)微機(jī)電泵皆電連接該第二開關(guān)單元。

11.如權(quán)利要求10所述的微機(jī)電泵模塊，其特征在于，該多個(gè)開關(guān)單元包含有一第三開關(guān)單元及一第四開關(guān)單元，鄰近該第三開關(guān)單元的該多個(gè)微機(jī)電泵形成一第三微機(jī)電作動(dòng)區(qū)，且該第三微機(jī)電作動(dòng)區(qū)內(nèi)的該多個(gè)微機(jī)電泵皆電連接至該第三開關(guān)單元，而鄰近該第四開關(guān)單元的該多個(gè)微機(jī)電泵形成一第四微機(jī)電作動(dòng)區(qū)，且該第四微機(jī)電作動(dòng)區(qū)內(nèi)的該多個(gè)微機(jī)電泵皆電連接至該第四開關(guān)單元。