[實用新型]用于X射線聚焦鏡垂直裝調系統的光源裝置

有效

• 申請號: 201920122059.6
• 申請日: 2019-01-24
• 公開（公告）號: CN209417440U
• 公開（公告）日: 2019-09-20
• 發明（設計）人: 強鵬飛;盛立志;閆永清;李林森;劉哲;周曉紅;劉永安;趙寶升
• 申請（專利權）人: 中國科學院西安光學精密機械研究所
• 主分類號: G02B27/62
• 分類號: G02B27/62;G02B7/18;G02B27/14
• 代理公司: 西安智邦專利商標代理有限公司 61211
• 代理人: 鄭麗紅

1.一種用于X射線聚焦鏡垂直裝調系統的光源裝置，其特征在于：包括激光器(1)、激光器調節架(2)、光學平臺(3)、轉臺(4)、第一位移調節架(5)、第二位移調節架(10)、中心五棱鏡組(6)、裝調五棱鏡組(7)和參考五棱鏡組(8)；

所述激光器(1)固定于激光器調節架(2)上，其出射光垂直向上；

所述光學平臺(3)置于激光器(1)上方，且光學平臺(3)上設有中間開孔；

所述轉臺(4)位于光學平臺(3)上方，且設置有通光孔；

所述第一位移調節架(5)、第二位移調節架(10)均固定設置在轉臺(4)上；

所述中心五棱鏡組(6)包括中心五棱鏡和第一五棱鏡調節架(65)，所述中心五棱鏡設置在第一五棱鏡調節架(65)上，所述第一五棱鏡調節架(65)固定設置在轉臺(4)上；

所述裝調五棱鏡組(7)包括裝調五棱鏡(71)和第二五棱鏡調節架(72)，所述裝調五棱鏡(71)設置在第二五棱鏡調節架(72)上，所述第二五棱鏡調節架(72)設置在第一位移調節架(5)上；

所述參考五棱鏡組(8)包括參考五棱鏡(81)和第三五棱鏡調節架(82)，所述參考五棱鏡(81)設置在第三五棱鏡調節架(82)上，所述第三五棱鏡調節架(82)設置在第二位移調節架(10)上；

所述激光器(1)的出射光穿過中間開孔和通光孔，入射至中心五棱鏡后分為兩束水平光，其中一束水平光入射至裝調五棱鏡(71)轉換為垂直光，另一束水平光入射至參考五棱鏡(81)轉換為垂直光。

2.根據權利要求1所述的用于X射線聚焦鏡垂直裝調系統的光源裝置，其特征在于：所述中心五棱鏡包括由上至下依次設置的第一補償鏡(63)、第一五棱鏡(64)、第二補償鏡(61)、第二五棱鏡(62)，所述第一五棱鏡(64)和第二五棱鏡(62)的入射面平行設置，所述第一補償鏡(63)、第一五棱鏡(64)的膠合面上鍍有第一分光膜(42)，所述第二補償鏡(61)、第二五棱鏡(62)膠合面上鍍有第二分光膜(41)。

3.根據權利要求2所述的用于X射線聚焦鏡垂直裝調系統的光源裝置，其特征在于：所述第一分光膜(42)和第二分光膜(41)的材料具體為銀。

4.根據權利要求1或2或3所述的用于X射線聚焦鏡垂直裝調系統的光源裝置，其特征在于：所述光學平臺(3)中間開孔和激光器(1)位置關系為同心，通光孔與激光器(1)位置關系也為同心。

5.根據權利要求4所述的用于X射線聚焦鏡垂直裝調系統的光源裝置，其特征在于：所述激光器調節架(2)固定于標準面包板(11)上。

6.根據權利要求5所述的用于X射線聚焦鏡垂直裝調系統的光源裝置，其特征在于：第一位移調節架(5)、第二位移調節架(10)關于中心五棱鏡組(6)對稱設置。