[實用新型]一種共面三極性靜電吸附裝置

有效

• 申請號: 201920122039.9
• 申請日: 2019-01-24
• 公開（公告）號: CN209665402U
• 公開（公告）日: 2019-11-22
• 發明（設計）人: 楊杰;丁威;廖林
• 申請（專利權）人: 成都駿創科技有限公司
• 主分類號: B25J15/00
• 分類號: B25J15/00;B25J15/06
• 代理公司: 35222 廈門智慧呈睿知識產權代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 郭福利<國際申請>=<國際公布>=<進入

本實用新型涉及一種共面三極性靜電吸附裝置，其與控制器電連接以產生吸附工件的靜電，包括柔性電路板和嵌設在柔性電路板中的電極片組；其特征在于：所述電極片組包括相互交錯設置的正極性電極、零電勢電極和負極性電極,所述零電勢電極具有多個供正極性電極的延伸部從一側伸入的正面缺口和供負極性電極的延伸部從另一側伸入的反面缺口，正面缺口和反面缺口間隔交錯布置,本實用新型結構簡單，使用方便，僅靜電裝置利用小電壓產生較強的靜電吸附力，節約了能源，更加安全可靠，而且可以在不影響靜電吸附力的情況下，通過增加靜電裝置表面厚度，使靜電裝置不易發生電擊穿損壞，增加了靜電吸附裝置使用壽命。

技術領域

本實用新型涉及靜電吸附設備，具體而言是一種共面三極性靜電吸附裝置。

背景技術

現有機靜電吸附裝置中，靜電吸附陣列結構采用的單極性、梳狀雙極性陣列結構。單極性陣列需要一定外界條件（被吸物體側有等離子體存在）才能達到吸附效果，對于一些容易發生電擊穿的物體則不適用；梳狀雙極性陣列兩電極共面產生電場將介質層極化，由于吸附作用距離小，因此靜電裝置表面介質層厚度一般比較薄，很容易發生損壞。而且無論是單極性還是梳狀雙極性陣列的靜電吸附裝置要實現很好的吸附效果，最好的實現辦法是提高加載電壓，由于介質層比較薄則很容易發生電擊穿使其使用壽命短。

因此，現在靜電吸附裝置急需一種通過較小的電壓產生較強的靜電吸附力，并且通過增加靜電吸附裝置的厚度使之不易損壞增加其壽命的裝置，三極性靜電吸附陣列排布結構就根據這一需求提出的。

實用新型內容

為克服上述現有技術中存在的不足，本實用新型提供了一種結構簡單，使用電壓小且使用壽命長的的三極性靜電吸附陣列排布結構。

本實用新型的一種共面三極性靜電吸附裝置，包括其與控制器電連接以產生吸附工件的靜電，包括柔性電路板和嵌設在柔性電路板中的電極片組；所述電極片組包括相互交錯設置的正極性電極、零電勢電極和負極性電極。

上述技術方案還可以通過以下技術措施進一步優化：

作為進一步優化，所述零電勢電極具有多個供正極性電極的延伸部從一側伸入的正面缺口和供負極性電極的延伸部從另一側伸入的反面缺口，正面缺口和反面缺口間隔交錯布置。

作為進一步優化，所述零電勢電極為連續的“n”字形金屬極片，所述正極性電極和負極性電極均為連續的“E”字形金屬極片。

作為進一步優化，所述零電勢電極和正極性電極之間的電氣間隙等于零電勢電極和負極性電極之間的電氣間隙，且各處的電氣間隙的寬度相同。

作為進一步優化，所述柔性電路板固定設置在剛性支撐體上。

作為進一步優化，所述柔性電路板中嵌設有陣列排布的多組電極片組。

由于采用了以上技術方案，本實用新型產生了以下技術效果：

本發明的有益效果是，不僅靜電裝置利用小電壓產生較強的靜電吸附力，節約了能源，更加安全可靠，而且可以不影響靜電吸附力的情況下，通過增加靜電裝置表面厚度，使靜電裝置不易發生電擊穿損壞，增加了靜電吸附裝置使用壽命。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型具體實施方式或現有技術中的技術方案，下面將對具體實施方式或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹：

圖1是實施例一中的三極性靜電吸附陣列排布結構的結構示意圖。

圖2是圖1中“A-A”方向的結構示意圖。

附圖標記說明：

1.電極片組；2.柔性電路板；3.剛性支撐體；101.正極性電極；102.零電勢電極；103.負極性電極。

具體實施方式