[實用新型]長條型靶材的自動綁定加工設備

有效

• 申請號: 201920121834.6
• 申請日: 2019-01-24
• 公開（公告）號: CN209584360U
• 公開（公告）日: 2019-11-05
• 發明（設計）人: 曹興民
• 申請（專利權）人: 蘇州羅納爾材料科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224
• 代理人: 孫剛

本實用新型公開了一種長條型靶材的自動綁定加工設備，其包括至少一個同步加熱A料和B料的加熱臺，加熱臺上設置一將A料兩端抬起的第一抬起機構，加熱臺上方可水平旋轉地設置一翻轉板，翻轉板上設置有若干個用于吸附A料的耐高溫吸盤，耐高溫吸盤連接負壓產生裝置，還包括一將所述翻轉板送入A料下方以吸附A料、并驅動B料移動至所述翻轉板下方以將翻轉后的所述A料疊放到所述B料上的驅動機構。本實用新型的長條型靶材的自動綁定加工設備，實現加工的自動化操作，克服人工操作的不足，并可提高生產效率。

技術領域

本實用新型涉及一種自動化加工設備，尤其是長條型靶材的自動綁定加工設備。

背景技術

液晶面板TFT-LCD用濺射靶材，比如平面的鋁靶、鉬靶、銅靶等，生產過程都有綁定這道工序，即把靶材焊接在銅背板上，焊料為銦，銅背板可以重復使用。綁定這道工序常規方法是，首先把靶材和銅背板加熱，然后用超聲波把靶材和銅背板的焊接表面涂銦（金屬化），把焊料銦熔化覆蓋在銅背板上，人工抬起靶材，翻面蓋在銅背板上。

隨著液晶面板行業的發展，對鍍膜靶材尺寸的要求越來越大，除了鋁靶比較輕，銅靶和鉬靶密度比較大，靠人工抬起翻面，操作比較困難，產品質量也不穩定。

發明內容

為了克服上述問題，本實用新型提供一種長條型靶材的自動綁定加工設備，實現綁定過程的自動化操作，克服人工操作的不足，并可提高生產效率。

本實用新型的技術方案是提供一種長條型靶材的自動綁定加工設備，其包括至少一個同步加熱A料和B料的加熱臺，其特征在于：所述加熱臺上設置一將所述A料兩端抬起的第一抬起機構，所述加熱臺上方可水平旋轉地設置一翻轉板，所述翻轉板上設置有若干個用于吸附所述A料的耐高溫吸盤，所述耐高溫吸盤連接負壓產生裝置，還包括一將所述翻轉板送入所述A料下方以吸附所述A料、并驅動所述B料移動至所述翻轉板下方以將翻轉后的所述A料疊放到所述B料上的驅動機構。

優選的，所述驅動機構包括軌道，所述加熱臺設置在所述軌道上，還包括驅動所述加熱臺沿所述軌道移動的平移電機。

優選的，所述軌道上方設置一門形的支架，所述翻轉板的兩端樞軸設置在所述支架的兩立柱上，所述支架上還設置一驅動所述翻轉板旋轉的旋轉電機。

優選的，至少一個所述支架的立柱上設置有帶動所述翻轉板上下移動的絲杠，所述絲杠與所述翻轉板螺紋連接并由升降電機驅動旋轉。

優選的，所述第一抬起機構包括設置在所述A料兩端的支撐腳以及驅動所述支撐腳上下移動的驅動裝置。

優選的，所述加熱臺上設置抬起所述B料的第二抬起機構，所述第二抬起機構包括設置在所述B料兩端的支撐腳以及驅動所述支撐腳上下移動的驅動裝置。

優選的，所述驅動裝置均為電機驅動的絲杠或氣缸。

優選的，所述軌道上設置多個所述加熱臺。

優選的，所述A料為靶材，所述B料為銅背板。

本實用新型提供一種長條型靶材的自動綁定加工設備，實現加工的自動化操作，克服人工操作的不足，并可提高生產效率。

附圖說明

圖1是本實用新型最佳實施例的長條型靶材的自動綁定加工設備的立體結構示意圖。

具體實施方式

下面對本實用新型的具體實施方式作進一步詳細的描述。