[實用新型]微機電泵模塊有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201920120801.X | 申請日： | 2019-01-24 |
| 公開（公告）號： | CN209724622U | 公開（公告）日： | 2019-12-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 莫皓然;余榮侯;張正明;戴賢忠;廖文雄;黃啟峰;韓永隆;蔡長諺 | 申請（專利權(quán)）人： | 研能科技股份有限公司 |
| 主分類號： | F04B49/06 | 分類號： | F04B49/06;F04B19/00;F04B17/03 |
| 代理公司： | 31100 上海專利商標事務(wù)所有限公司 | 代理人： | 喻學(xué)兵<國際申請>=<國際公布>=<進入 |
| 地址： | 中國臺灣新竹市*** | 國省代碼： | 中國臺灣;TW |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 微機電泵 信號電極 第二電極 開關(guān)單元 微機電芯片 第一電極 芯片本體 電連接 調(diào)變電壓 啟閉 | ||
1.一種微機電泵模塊，其特征在于，包含：
一微機電芯片，具有一芯片本體；
至少一信號電極，設(shè)置于該芯片本體；
多個微機電泵，皆具有一第一電極與一第二電極，該第二電極電連接該至少一信號電極；以及
多個開關(guān)單元，電連接該多個微機電泵的該第一電極；
其中，該至少一信號電極接收一調(diào)變電壓以傳輸至該多個微機電泵的該第二電極，該多個開關(guān)單元控制該多個微機電泵啟閉作動。
2.如權(quán)利要求1所述的微機電泵模塊，其特征在于，該至少一信號電極包含有一第一信號電極。
3.如權(quán)利要求2所述的微機電泵模塊，其特征在于，該多個微機電泵的該第二電極電連接該第一信號電極。
4.如權(quán)利要求2所述的微機電泵模塊，其特征在于，該至少一信號電極更包含一第二信號電極。
5.如權(quán)利要求4所述的微機電泵模塊，其特征在于，該多個微機電泵可區(qū)分為一第一微機電泵群組及一第二微機電泵群組，該第一微機電泵群組的該多個第二電極電連接該第一信號電極，該第二微機電泵群組的該多個第二電極電連接該第二信號電極。
6.如權(quán)利要求4所述的微機電泵模塊，其特征在于，該多個微機電泵的該第二電極電連接該第一信號電極與該第二信號電極。
7.如權(quán)利要求4所述的微機電泵模塊，其特征在于，該至少一信號電極更包含一第三信號電極及一第四信號電極。
8.如權(quán)利要求7所述的微機電泵模塊，其特征在于，該多個微機電泵可區(qū)分為一第一微機電泵群組、一第二微機電泵群組、一第三微機電泵群組及一第四微機電泵群組，該第一微機電泵群組的該多個第二電極電連接該第一信號電極，該第二微機電泵群組的該多個第二電極電連接該第二信號電極，該第三微機電泵群組的該多個第二電極電連接該第三信號電極，該第四微機電泵群組的該多個第二電極電連接該第四信號電極。
9.如權(quán)利要求7所述的微機電泵模塊，其特征在于，該多個微機電泵可區(qū)分為一第一微機電泵群組及一第二微機電泵群組，該第一微機電泵群組的該多個第二電極電連接該第一信號電極與該第二信號電極，該第二微機電泵群組的該多個第二電極電連接該第三信號電極與該第四信號電極。
10.如權(quán)利要求7所述的微機電泵模塊，其特征在于，該多個微機電泵的該第二電極電連接該第一信號電極、該第二信號電極、該第三信號電極及該第四信號電極。
11.如權(quán)利要求1所述的微機電泵模塊，其特征在于，該多個微機電泵與該多個開關(guān)單元分別一對一對應(yīng)連接。
12.如權(quán)利要求1所述的微機電泵模塊，其特征在于，該多個開關(guān)單元包含有一第一開關(guān)單元及一第二開關(guān)單元，鄰近該第一開關(guān)單元的該多個微機電泵形成一第一微機電作動區(qū)，且該第一微機電作動區(qū)內(nèi)的該多個微機電泵皆電連接該第一開關(guān)單元，鄰近該第二開關(guān)單元的該多個微機電泵形成一第二微機電作動區(qū)，且該第二微機電作動區(qū)內(nèi)的該多個微機電泵皆電連接該第二開關(guān)單元。
13.如權(quán)利要求12所述的微機電泵模塊，其特征在于，該多個開關(guān)單元包含有一第三開關(guān)單元及一第四開關(guān)單元，鄰近該第三開關(guān)單元的該多個微機電泵形成一第三微機電作動區(qū)，且該第三微機電作動區(qū)內(nèi)的該多個微機電泵皆電連接至該第三開關(guān)單元，而鄰近該第四開關(guān)單元的該多個微機電泵形成一第四微機電作動區(qū)，且該第四微機電作動區(qū)內(nèi)的該多個微機電泵皆電連接至該第四開關(guān)單元。
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