[實用新型]晶環裝置

有效

• 申請號: 201920111932.1
• 申請日: 2019-01-22
• 公開（公告）號: CN209150151U
• 公開（公告）日: 2019-07-23
• 發明（設計）人: 梁國城
• 申請（專利權）人: 先進光電器材(深圳)有限公司
• 主分類號: H01L33/48
• 分類號: H01L33/48;H01L21/67
• 代理公司: 深圳市博銳專利事務所 44275
• 代理人: 張明;任芹玉

1.一種晶環裝置，包括支架、驅動所述支架沿X軸方向運動的第一驅動機構和驅動所述支架沿Y軸方向運動的第二驅動機構，其特征在于，還包括三個的用于固定晶環的固定機構，三個的所述固定機構間隔設置于所述支架上，所述固定機構包括旋轉件、用于固定晶環的固定件和用于驅動所述旋轉件進行360°旋轉的第三驅動組件，所述固定件固定設置于所述旋轉件上。

2.根據權利要求1所述的晶環裝置，其特征在于，所述第三驅動組件包括同步帶和驅動所述同步帶旋轉的第三旋轉馬達，所述同步帶套設于所述旋轉件上。

3.根據權利要求2所述的晶環裝置，其特征在于，所述支架上還設有壓緊組件，所述壓緊組件包括第一壓輪和第二壓輪，所述第一壓輪與第二壓輪對應設置，所述同步帶位于所述第一壓輪和第二壓輪之間，且所述第一壓輪和第二壓輪分別抵持所述同步帶。

4.根據權利要求1所述的晶環裝置，其特征在于，所述固定機構還包括用于固定所述旋轉件的旋轉軸承。

5.根據權利要求1所述的晶環裝置，其特征在于，還包括底座，所述第一驅動機構和第二驅動機構均固定設置于所述底座上。

6.根據權利要求1所述的晶環裝置，其特征在于，三個的所述固定件的圓心位于同一直線上。