[實(shí)用新型]一種晶圓倒片機(jī)的盤和盤蓋分離裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920110240.5
• 申請(qǐng)日: 2019-01-22
• 公開（公告）號(hào): CN209282181U
• 公開（公告）日: 2019-08-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐韋明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海福賽特機(jī)器人有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677;H01L21/683;H01L21/68;H01L21/67
• 代理公司: 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 陶金龍;張磊

本實(shí)用新型公開了一種晶圓倒片機(jī)的盤和盤蓋分離裝置，包括：分離機(jī)構(gòu)，其設(shè)有壓桿和真空吸盤，當(dāng)所述分離機(jī)構(gòu)下降到預(yù)設(shè)開蓋位置時(shí)，所述壓桿用于壓住盤蓋，所述真空吸盤用于吸住定位于所述盤蓋上的盤，并上升將所述盤從所述盤蓋上分離吸起；升降機(jī)構(gòu)，用于帶動(dòng)所述分離機(jī)構(gòu)分別垂直下降到預(yù)設(shè)合蓋位置或預(yù)設(shè)開蓋位置，以及帶動(dòng)所述分離機(jī)構(gòu)垂直上升到初始位置。本實(shí)用新型具有開合蓋定位精度高，晶圓放片位置更準(zhǔn)確，提高產(chǎn)品潔凈度，提高生產(chǎn)效率，提高產(chǎn)品合格率，降低勞動(dòng)力成本等優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，更具體地，涉及一種晶圓倒片機(jī)的盤和盤蓋分離裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體行業(yè)的圖形化藍(lán)寶石襯底(Patterned Sapphire Substrate，PSS)工藝生產(chǎn)中，需要操作員手工將晶圓倒片機(jī)的盤和盤蓋分離后取放晶圓。這種人工操作方式的生產(chǎn)率較低，且合蓋時(shí)操作要求較高，對(duì)位如果有偏差可能會(huì)造成晶圓在盤中的位置產(chǎn)生偏移，對(duì)后道工藝的密封性造成影響。并且，晶圓在合蓋過程中的偏移還有可能使盤劃傷晶圓表面，造成產(chǎn)品的損耗。盤和盤蓋合蓋過程中的水平摩擦有可能產(chǎn)生更多的粉塵，從而污染晶圓表面。此外，長(zhǎng)時(shí)間人工作業(yè)易產(chǎn)生疲勞，降低生產(chǎn)效率，增加出錯(cuò)的幾率。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述缺陷，提供一種晶圓倒片機(jī)的盤和盤蓋分離裝置。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下：

一種晶圓倒片機(jī)的盤和盤蓋分離裝置，包括：

分離機(jī)構(gòu)，其設(shè)有壓桿和真空吸盤，當(dāng)所述分離機(jī)構(gòu)下降到預(yù)設(shè)開蓋位置時(shí)，所述壓桿用于壓住盤蓋，所述真空吸盤用于吸住定位于所述盤蓋上的盤，并上升將所述盤從所述盤蓋上分離吸起；

升降機(jī)構(gòu)，用于帶動(dòng)所述分離機(jī)構(gòu)分別垂直下降到預(yù)設(shè)合蓋位置或預(yù)設(shè)開蓋位置，以及帶動(dòng)所述分離機(jī)構(gòu)垂直上升到初始位置。

進(jìn)一步地，所述分離機(jī)構(gòu)設(shè)有舉升氣缸，所述舉升氣缸通過其設(shè)有的活塞桿的下端連接所述真空吸盤。

進(jìn)一步地，所述舉升氣缸設(shè)于第一支架上。

進(jìn)一步地，多個(gè)所述壓桿圍繞所述第一支架設(shè)置，并與所述盤蓋的邊部位置上下對(duì)應(yīng)。

進(jìn)一步地，所述活塞桿的下端同時(shí)連接多個(gè)所述真空吸盤，各所述真空吸盤圍繞所述盤的圓周設(shè)置。

進(jìn)一步地，還包括：設(shè)于所述第一支架上的多個(gè)氣爪，用于在所述盤從所述盤蓋上分離時(shí)夾緊所述盤。

進(jìn)一步地，所述氣爪通過其設(shè)有的夾塊夾緊所述盤。

進(jìn)一步地，所述升降機(jī)構(gòu)為一電缸。

進(jìn)一步地，所述電缸設(shè)有缸體，所述缸體中設(shè)有絲桿，所述絲桿連接設(shè)于缸體一端的電機(jī)，所述絲桿上耦合有螺母，所述螺母通過滑塊連接所述缸體上設(shè)有的滑軌，所述滑塊通過第二支架連接所述分離機(jī)構(gòu)。

進(jìn)一步地，所述電機(jī)為伺服電機(jī)。

從上述技術(shù)方案可以看出，本實(shí)用新型通過采用高精度直線模組驅(qū)動(dòng)，結(jié)合真空吸盤通斷氣，將盤與盤蓋上下分離，從而達(dá)到高精度的要求，使晶圓的取放片不再受到開合蓋的影響，晶圓在盤和盤蓋中的位置不會(huì)因?yàn)殚_合蓋產(chǎn)生偏移，放片位置更準(zhǔn)確，后道工藝檢測(cè)密封性會(huì)更好，從而降低產(chǎn)品在生產(chǎn)過程中造成的損耗。盤和盤蓋在開合蓋過程中沒有水平方向的位移，減少了盤和盤蓋間摩擦產(chǎn)生的粉塵，提高了晶圓表面在生產(chǎn)過程中的潔凈度。采用本實(shí)用新型可大大節(jié)省勞動(dòng)力升本，避免操作人員長(zhǎng)時(shí)間作業(yè)疲勞后造成晶圓的損壞，提高產(chǎn)品的整體質(zhì)量。本實(shí)用新型具有開合蓋定位精度高，晶圓放片位置更準(zhǔn)確，提高產(chǎn)品潔凈度，提高生產(chǎn)效率，提高產(chǎn)品合格率，降低勞動(dòng)力成本等優(yōu)點(diǎn)。

附圖說明