[實用新型]小電阻元件電阻溫度系數的測試裝置

有效

• 申請號: 201920105902.X
• 申請日: 2019-01-22
• 公開（公告）號: CN209559976U
• 公開（公告）日: 2019-10-29
• 發明（設計）人: 湯建國;李志強;鄭緒東;尚善齋;韓敬美;雷萍;李正風;樊瑛;王程婭;王汝;袁大林;冒德壽;龔為民;廖曉祥;向能軍;楊國榮
• 申請（專利權）人: 云南中煙工業有限責任公司
• 主分類號: G01R27/02
• 分類號: G01R27/02;G01N25/00
• 代理公司: 北京市領專知識產權代理有限公司 11590
• 代理人: 陳有業

本實用新型公開了一種小電阻元件電阻溫度系數的測試裝置，包括如下部件：導熱塊(3)；加熱片(4)；制冷裝置(2)；電阻采集裝置(5)；電阻測試板(10)；溫度控制裝置(6)；顯示屏(8)。

技術領域

本實用新型屬于測試技術領域，特別涉及一種小電阻元件電阻溫度系數的測試裝置。

背景技術

隨著設備的更新和工藝技術的進步，混合集成電路的小電阻元件越來越多，為了保證混合集成電路正常工作，不僅要求小電阻元件的電阻精度高，而且要求小電阻元件電阻的溫度系數恒定在某一適合值。通過電阻溫度系數的測量和計算，用于其對發熱性能進行研究和優化電阻漿料。電阻溫度系數的測量和計算方法如下：TCR(平均)＝(R₂-R₁)/(R₁*(T₂-T₁))＝(R₂-R₁)/(R₁*ΔT)，其中，TCR為電阻溫度系數，T₁為初始溫度值，T₂為預設高溫的溫度值，R₁為初始溫度下的電阻值，R₂為升溫至預設高溫下的電阻值。即可得到對應小電阻元件的平均TCR值。在科研生產領域的工作中，每天都有大量的小電阻元件需測定電阻的溫度系數，較多電路要求標出電阻的溫度系數的精確值，因此需要開發出準確測定電阻溫度系數的裝置。

中芯國際集成電路制造(上海)有限公司公布號為CN101329295B的專利公開了電阻溫度系數測量方法，該專利采用熱盤加熱到設定點溫度測量電阻，并建立電阻與電流的對應關系，然后確定電流與溫度的關系，最終在數據庫中根據相關公式計算出TCR值，但是該專利忽略了測量電阻時應在設定溫度恒溫一段時間測量靜態電阻值，邊通電加熱邊實時采集電阻值將會影響測量電阻阻值的準確性，尤其對于小阻值電阻將帶來無法忽略的影響。上海華虹宏力半導體制造有限公司公布號為CN102636695B的專利也公開了一種電阻溫度系數測量的方法，該專利詳細說明了應測量探針自身電阻、探針和探墊的接觸電阻的影響，及在實際測試中無法避免因測量端與電阻接觸的松緊度影響測量電阻的阻值準確度，但是未公開關于如何測量相應TCR值的方法。

現有技術的電阻溫度系數測量存在以下缺點：1、測量過程為人工操作，工序較為復雜，測試時間長，測量精度易受人工操作影響，不能自動采集不同溫度對應電阻值，誤差較大。2、電阻小于1Ω的電阻溫度系數測量較為繁雜，且難以實現實時測量。3、現有技術的電阻溫度系數的測量為邊通電加熱邊實時采集電阻值和溫度值，電阻和溫度的精度有待提高。4、現有技術的電阻溫度系數的設備測量端與電阻接觸端的松緊度也影響電阻值測量結果的準確性。

為解決上述問題，提出本實用新型。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種小電阻元件電阻溫度系數的測試裝置，有效解決了測量小電阻元件的電阻溫度系數存在的測量工序繁雜、不能自動采集不同溫度對應的電阻、帶電測量電阻的準確性，以及設備測量端與電阻接觸端的松緊度影響電阻溫度系數測量結果的準確性等問題。

本實用新型的目的通過以下技術方案予以實現：

本實用新型第一方面公開了一種小電阻元件電阻溫度系數的測試裝置，所述小電阻元件為用于集成電路中的元件；所述測試裝置包括如下部件：

--導熱塊3，大致為立方體狀，其內布置有溫度檢測裝置7，其一側面開有若干測試槽9；

--加熱片4，貼合布置在所述導熱塊3下端面；

--制冷裝置2，布置在所述導熱塊3上面；

--電阻采集裝置5；

--電阻測試板10，其上有測試通孔1002，通過連接線1001與所述電阻采集裝置5電連接；