[實用新型]一種電池外延結(jié)構(gòu)和太陽能電池有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201920103951.X | 申請日: | 2019-01-22 |
| 公開(公告)號: | CN209199954U | 公開(公告)日: | 2019-08-02 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 羅軼;張新勇;宋士佳 | 申請(專利權(quán))人: | 東泰高科裝備科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L31/0352 | 分類號: | H01L31/0352;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;羅瑞芝 |
| 地址: | 102200 北京市昌平*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 外延結(jié)構(gòu) 襯底 翹曲 曲調(diào) 電池 電池層 太陽能電池 含鋁材料 銦材料 光電轉(zhuǎn)化效率 本實用新型 尺寸確定 晶格缺陷 平整狀態(tài) 良率 | ||
本實用新型提供一種電池外延結(jié)構(gòu)和太陽能電池。該電池外延結(jié)構(gòu)包括襯底和電池層,襯底包括一個翹曲的面,還包括翹曲調(diào)節(jié)層,翹曲調(diào)節(jié)層設(shè)置于襯底與電池層之間,翹曲調(diào)節(jié)層為含鋁材料和/或含銦材料,翹曲調(diào)節(jié)層中鋁的含量和/或銦的含量根據(jù)襯底的翹曲面的翹曲尺寸確定,以使翹曲調(diào)節(jié)層的遠離襯底的一面的翹曲值在目標范圍內(nèi)。該電池外延結(jié)構(gòu)通過設(shè)置含鋁材料和/或含銦材料的翹曲調(diào)節(jié)層,并調(diào)節(jié)其中的鋁的含量和/或銦的含量,能夠?qū)⒂梢r底的翹曲所導(dǎo)致的電池層的翹曲調(diào)整至目標范圍內(nèi),從而使電池層基本處于平整狀態(tài),其內(nèi)部基本不會出現(xiàn)晶格缺陷,進而不僅確保了該電池外延結(jié)構(gòu)的良率,而且確保了該電池外延結(jié)構(gòu)的光電轉(zhuǎn)化效率。
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域,具體地,涉及一種電池外延結(jié)構(gòu)和太陽能電池。
背景技術(shù)
砷化鎵(GaAs)是吸收太陽光最優(yōu)選材料之一,由砷化鎵制備的太陽能電池,具有轉(zhuǎn)化效率高、溫度特性好,抗輻射能力強等特點,砷化鎵太陽能電池應(yīng)用越來越廣泛。
大多數(shù)砷化鎵薄膜都是在價格昂貴的單晶襯底上制備的,成本高昂。襯底剝離技術(shù)為太陽能電池向薄膜化發(fā)展提供了必要技術(shù)支持。襯底的重復(fù)性利用也降低了薄膜太陽能電池的制作成本,且減少制作過程對環(huán)境的污染和資源的浪費。
外延剝離后的襯底經(jīng)過高溫退火,再次拋光研磨,去除缺陷,會發(fā)生較大的翹曲,如翹曲范圍通常為-200~+200。襯底翹曲太大會導(dǎo)致電池層生長時,沒有處于平整的狀態(tài),導(dǎo)致晶格缺陷,晶體質(zhì)量下降,良率降低,光電轉(zhuǎn)化效率降低。
實用新型內(nèi)容
本實用新型針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述技術(shù)問題,提供一種電池外延結(jié)構(gòu)和太陽能電池。該電池外延結(jié)構(gòu)通過設(shè)置翹曲調(diào)節(jié)層,能夠?qū)⒂梢r底的翹曲所導(dǎo)致的電池層的翹曲調(diào)整至目標范圍內(nèi),從而使電池層基本處于平整狀態(tài),其內(nèi)部基本不會出現(xiàn)晶格缺陷,進而不僅確保了該電池外延結(jié)構(gòu)的良率,而且確保了該電池外延結(jié)構(gòu)的光電轉(zhuǎn)化效率。
本實用新型提供一種電池外延結(jié)構(gòu),包括襯底和電池層,所述襯底包括一個翹曲的面,所述襯底和所述電池層重疊設(shè)置且所述襯底的翹曲面與所述電池層相鄰,所述電池外延結(jié)構(gòu)還包括翹曲調(diào)節(jié)層,所述翹曲調(diào)節(jié)層設(shè)置于所述襯底與所述電池層之間,所述翹曲調(diào)節(jié)層為含鋁材料和/或含銦材料,所述翹曲調(diào)節(jié)層中鋁的含量和/或銦的含量根據(jù)所述襯底的翹曲面的翹曲尺寸確定,以使在所述襯底的翹曲面上生長的所述翹曲調(diào)節(jié)層的遠離襯底的一面的翹曲值在目標范圍內(nèi)。
優(yōu)選地,所述翹曲調(diào)節(jié)層包括第一調(diào)節(jié)層和第二調(diào)節(jié)層,所述第一調(diào)節(jié)層和所述第二調(diào)節(jié)層相互疊置。
所述第一調(diào)節(jié)層采用AlGaAs或AlInP材料;所述第二調(diào)節(jié)層采用InGaAs材料。
優(yōu)選地,所述襯底的翹曲值范圍為-50~-200時,所述第一調(diào)節(jié)層和所述第二調(diào)節(jié)層依次遠離所述襯底設(shè)置;
所述襯底的翹曲值范圍為+50~+200時,所述第二調(diào)節(jié)層和所述第一調(diào)節(jié)層依次遠離所述襯底設(shè)置。
優(yōu)選地,所述襯底的翹曲值范圍為-50~-200時,所述第一調(diào)節(jié)層中的Al組分具有第一含量;
所述襯底的翹曲值范圍為+50~+200時,所述第一調(diào)節(jié)層中的Al組分具有第二含量;
所述第一含量大于所述第二含量。
優(yōu)選地,所述襯底的翹曲值范圍為+50~+200時,所述第二調(diào)節(jié)層中的In組分具有第三含量;
所述襯底的翹曲值范圍為-50~-200時;所述第二調(diào)節(jié)層中的In組分具有第四含量;
所述第三含量大于所述第四含量。
優(yōu)選地,所述襯底的翹曲值范圍為-50~-200時,所述第一調(diào)節(jié)層具有第一厚度;
所述襯底的翹曲值范圍為+50~+200時,所述第一調(diào)節(jié)層具有第二厚度;
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導(dǎo)體器件;專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的,并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的





