[實用新型]蒸鍍單元及蒸鍍裝置

有效

• 申請號: 201920091609.2
• 申請日: 2019-01-21
• 公開（公告）號: CN209722278U
• 公開（公告）日: 2019-12-03
• 發明（設計）人: 李灝;羅志忠
• 申請（專利權）人: 云谷(固安)科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 44224 廣州華進聯合專利商標代理有限公司
• 代理人: 唐清凱<國際申請>=<國際公布>=<進入

本實用新型涉及一種蒸鍍單元及蒸鍍裝置。蒸鍍單元包括：線性蒸鍍源，用于向待蒸鍍基板射出蒸鍍顆粒；以及角度限制件，用于限制蒸鍍顆粒的通過角度；角度限制件位于線性蒸鍍源沿蒸鍍方向的一側，且角度限制件可沿線性蒸鍍源的線性方向為軸心旋轉。應用本實用新型技術方案的蒸鍍單元，由于角度限制件可沿線性蒸鍍源的線性方向為軸心旋轉，因此能夠增加蒸鍍材料在角度限制件上的附著面積，延長了對線性蒸鍍源進行清理的時間，從而提高蒸鍍效率。

技術領域

本實用新型涉及蒸鍍技術領域，特別是涉及一種蒸鍍單元及蒸鍍裝置。

背景技術

有機電致發光顯示器是一種基于有機電致發光材料的電流型半導體發光器件，其主要依靠金屬電極向發光層施加一定的電壓，使發光層中的有機電致發光材料發光，從而實現圖像響應。它具有自主發光、高對比度、廣視角、快速響應等特性，而被譽為下一代“夢幻顯示器”。

制作有機電致發光顯示器時，一般利用線性蒸鍍源蒸鍍工藝將有機電致發光材料或者金屬材料蒸鍍到目標基板上，以制作其中的發光層或者電極。然而，采用傳統的線性蒸鍍源進行蒸鍍時，角度限制板上會積累大量蒸鍍材料，影響成膜的均一性，因此需要定時對線性蒸鍍源進行清理，從而影響了蒸鍍效率。

實用新型內容

基于此，有必要針對如何提高蒸鍍效率的問題，提供一種能夠提高蒸鍍效率的蒸鍍單元及蒸鍍裝置。

一種蒸鍍單元，所述蒸鍍單元包括：

線性蒸鍍源，用于向待蒸鍍基板射出蒸鍍顆粒；以及

角度限制件，用于限制蒸鍍顆粒的通過角度；所述角度限制件位于所述線性蒸鍍源沿蒸鍍方向的一側，且所述角度限制件可沿所述線性蒸鍍源的線性方向為軸心旋轉。

在其中一個實施例中，所述角度限制件的個數為兩個，分別為第一角度限制件和第二角度限制件，所述第一角度限制件和所述第二角度限制件分別位于所述線性蒸鍍源的兩側。

在其中一個實施例中，所述第一角度限制件與所述第二角度限制件可向外異向旋轉。

在其中一個實施例中，所述角度限制件上設有若干個用于收集蒸鍍材料的蒸鍍材料附著槽。

在其中一個實施例中，若干個所述蒸鍍材料附著槽的開口面積與所述角度限制件的表面積的比值為1:1.2～1:1.5。

在其中一個實施例中，所述角度限制件呈筒狀。

在其中一個實施例中，所述蒸鍍單元還包括位于所述線性蒸鍍源與所述角度限制件之間的擋板。

此外，還提供一種蒸鍍裝置，包括上述的蒸鍍單元。

在其中一個實施例中，所述蒸鍍裝置包括蒸鍍單元組，所述蒸鍍單元組包括至少兩個所述蒸鍍單元。

在其中一個實施例中，至少兩個所述蒸鍍單元沿線性排列，且相鄰兩個所述蒸鍍單元的高度不同。

應用本實用新型技術方案的蒸鍍單元，由于角度限制件可沿線性蒸鍍源的線性方向為軸心旋轉，因此能夠增加蒸鍍材料在角度限制件上的附著面積，延長了對線性蒸鍍源進行清理的時間，從而提高蒸鍍效率。

附圖說明

圖1為本實用新型一實施方式的蒸鍍單元的平面示意圖；

圖2為本實用新型一實施方式的蒸鍍單元的立體示意圖；

圖3為本實用新型一實施方式的蒸鍍裝置的平面示意圖。

具體實施方式