[實用新型]一種用于真空鍍膜機的多抽氣口布局

有效

• 申請號: 201920071108.8
• 申請日: 2019-01-16
• 公開（公告）號: CN209873090U
• 公開（公告）日: 2019-12-31
• 發明（設計）人: 武文全
• 申請（專利權）人: 佛山市佛欣真空技術有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/54
• 代理公司: 34138 蕪湖思誠知識產權代理有限公司
• 代理人: 楊濤

1.一種用于真空鍍膜機的多抽氣口布局，包括真空室(1)和抽氣口(2)，所述真空室(1)的上端設置有用于延長真空室(1)的連接座(3)，其特征在于，所述真空室(1)的外表面設置有用于加氣/抽氣的抽氣口(2)，所述抽氣口(2)的一端焊接有抽氣口連接法蘭(16)，所述抽氣口連接法蘭(16)的外側固定連接有密封蓋(4)，所述真空室(1)通過抽氣口(2)貫通連接有氣體閘閥(5)，所述氣體閘閥(5)的一端設置有連接裝置(6)，所述連接裝置(6)包括三通連接閥(601)、主連接閥(602)和第二連接管(603)，所述主連接閥(602)的一端與氣體閘閥(5)貫通連接，且主連接閥(602)的上端貫通連接有三通連接閥(601)，且主連接閥(602)的下端貫通連接有第二連接管(603)，所述主連接閥(602)的另一端通過第二連接管(603)貫通連接有主閥(8)，所述主閥(8)的上端安裝有主閥閥門(7)，且主閥(8)的一端貫通連接有第一真空管(9)，所述主閥(8)通過第一真空管(9)貫通連接有粗抽閥門(10)，且主閥(8)的下端貫通連接有第三真空管(15)，所述第三真空管(15)的一側連接有擴散泵(14)，且第三真空管(15)通過擴散泵(14)貫通連接有第二真空管(13)，所述粗抽閥門(10)的下端貫通連接有精抽閥門(11)，所述精抽閥門(11)的下端連接有前級泵(12)。

2.根據權利要求1所述的一種用于真空鍍膜機的多抽氣口布局，其特征在于，所述抽氣口(2)至少設置有九個，每個所述抽氣口(2)呈環形等距離環繞在真空室(1)的外表面，且與真空室(1)貫通連接。

3.根據權利要求1所述的一種用于真空鍍膜機的多抽氣口布局，其特征在于，所述抽氣口(2)通過氣體閘閥(5)、三通連接閥(601)和第二連接管(603)與主連接閥(602)貫通連接，且抽氣口(2)通過抽氣口連接法蘭(16)與氣體閘閥(5)固定連接，所述抽氣口連接法蘭(16)的一側面設置有密封圈。

4.根據權利要求1所述的一種用于真空鍍膜機的多抽氣口布局，其特征在于，所述氣體閘閥(5)的上端安裝有氣流感應器(502)，且氣體閘閥(5)的上端靠近氣流感應器(502)的一側位置處安裝有用于檢測氣壓的氣壓表(501)，所述氣壓表(501)的下端連接有第一連接管(503)。

5.根據權利要求4所述的一種用于真空鍍膜機的多抽氣口布局，其特征在于，所述氣壓表(501)與氣體閘閥(5)通過第一連接管(503)固定連接，所述氣流感應器(502)的一端延伸至氣體閘閥(5)的內部，所述氣體閘閥(5)至少設置有四個。

6.根據權利要求1所述的一種用于真空鍍膜機的多抽氣口布局，其特征在于，所述主閥(8)與抽氣口(2)通過主連接閥(602)和第二連接管(603)貫通連接，所述主連接閥(602)為一種四通閥門，且主連接閥(602)的每個端口均設置有連接法蘭。

7.根據權利要求1所述的一種用于真空鍍膜機的多抽氣口布局，其特征在于，所述精抽閥門(11)的上端與粗抽閥門(10)的下端通過管道貫通連接，且精抽閥門(11)的另一端通過第二真空管(13)與第三真空管(15)貫通連接，所述精抽閥門(11)與前級泵(12)通過管道貫通連接。

8.根據權利要求1所述的一種用于真空鍍膜機的多抽氣口布局，其特征在于，所述真空室(1)為一種圓柱形構件，且真空室(1)的長度范圍在1-6米，所述真空室(1)與連接座(3)通過焊接連接。