[實用新型]一種板材的真空鍍膜裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920067033.6
• 申請日: 2019-01-16
• 公開（公告）號: CN209957890U
• 公開（公告）日: 2020-01-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 蔣建華;向毅
• 申請（專利權(quán)）人: 昆山金百辰金屬科技有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/24
• 代理公司: 32329 蘇州衡創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 仲昌民

本實用新型公開了一種板材的真空鍍膜裝置，其技術(shù)方案要點是：包括真空箱體，所述真空箱體內(nèi)設(shè)置有真空腔室，所述真空腔室的底部設(shè)置有用于高頻感應(yīng)電流加熱的蒸發(fā)坩堝，所述真空箱體的頂部固定有伺服電機，所述伺服電機驅(qū)動第一固定桿在所述真空腔室內(nèi)轉(zhuǎn)動，所述第一固定桿的外部螺紋連接有螺紋環(huán)套，所述螺紋環(huán)套上鉸接有若干個支撐桿，所述支撐桿的端部固定有L形板，所述L形板上滑移連接有用于將待鍍基材夾緊的夾板，所述第一固定桿上還鉸接有第一氣缸的缸體，所述第一氣缸的活塞桿端部鉸接在所述支撐桿上，利用裝置可以方便的調(diào)節(jié)真空腔室內(nèi)基材的角度和位置，且裝置固定基材方便可靠。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及真空鍍膜領(lǐng)域，特別涉及一種板材的真空鍍膜裝置。

背景技術(shù)

真空鍍膜是一種產(chǎn)生薄膜材料的技術(shù)。在真空沉積腔室內(nèi)材料的原子從加熱源離析出來打到被鍍物體的表面上。真空鍍膜是真空應(yīng)用領(lǐng)域的一個重要方面，它是以真空技術(shù)為基礎(chǔ)，利用物理或化學(xué)方法，并吸收電子束、分子束、離子束、等離子束、射頻和磁控等一系列新技術(shù)，為科學(xué)研究和實際生產(chǎn)提供薄膜制備的一種新工藝。簡單地說，在真空中把金屬、合金或化合物(稱靶材)進行蒸發(fā)或濺射，使其在被涂覆的物體(稱基材)上凝固并沉積的方法，稱為真空鍍膜。

在真空鍍膜的過程中，比較常見和利用的是蒸發(fā)鍍膜，蒸發(fā)鍍膜是對放置靶材的坩堝進行加熱，使得靶材蒸發(fā)涂鍍到基材表面，根據(jù)真空鍍膜工藝的需求，有時候需要對基材的位置和角度進行調(diào)整。現(xiàn)有的板材真空鍍膜裝置在使用時，固定基材的方式較為復(fù)雜，且基材被固定之后無法進行位置的調(diào)整，因此需要對其進行改進。

實用新型內(nèi)容

針對背景技術(shù)中提到的問題，本實用新型的目的是提供一種板材的真空鍍膜裝置，以解決背景技術(shù)中提到的問題。

本實用新型的上述技術(shù)目的是通過以下技術(shù)方案得以實現(xiàn)的：

一種板材的真空鍍膜裝置，包括真空箱體，所述真空箱體內(nèi)設(shè)置有真空腔室，所述真空腔室的底部設(shè)置有用于高頻感應(yīng)電流加熱的蒸發(fā)坩堝，所述真空箱體的頂部固定有伺服電機，所述伺服電機驅(qū)動第一固定桿在所述真空腔室內(nèi)轉(zhuǎn)動，所述第一固定桿的外部螺紋連接有螺紋環(huán)套，所述螺紋環(huán)套上鉸接有若干個支撐桿，所述支撐桿的端部固定有L形板，所述L形板上滑移連接有用于將待鍍基材夾緊的夾板，所述L形板上固定有固定板，所述固定板與所述夾板之間連接有彈簧，所述彈簧的一端固定在所述固定板上，所述彈簧的另一端固定在所述夾板上，所述第一固定桿上還鉸接有第一氣缸的缸體，所述第一氣缸的活塞桿端部鉸接在所述支撐桿上。

通過采用上述技術(shù)方案，利用板材的真空鍍膜裝置可以方便的調(diào)節(jié)真空腔室內(nèi)基材的角度和位置，且板材的真空鍍膜裝置固定基材方便可靠；當真空鍍膜時，在彈簧的彈力作用下，基材可以被牢靠的夾持固定在夾板和L形板之間，蒸發(fā)坩堝可以將靶材蒸發(fā)到板材的表面，利用伺服電機能夠帶動第一固定桿轉(zhuǎn)動，能夠帶動螺紋環(huán)套旋轉(zhuǎn)，從而能夠帶動基材水平轉(zhuǎn)動，利用第一氣缸能夠帶動支撐桿和L形板轉(zhuǎn)動，從而能夠?qū)牡慕嵌冗M行調(diào)節(jié)。

較佳的，所述真空箱體內(nèi)轉(zhuǎn)動連接有第二固定桿，所述伺服電機驅(qū)動所述第二固定桿轉(zhuǎn)動，所述第一固定桿的端部固定有第一軸環(huán)，所述第二固定桿在靠近所述第一固定桿的一端固定有第二軸環(huán)，所述第一軸環(huán)和所述第二軸環(huán)的外部共同螺紋連接有緊固套。

通過采用上述技術(shù)方案，通過第一固定桿和第二固定桿的連接能夠方便第一固定桿的拆卸和安裝，當將第一固定桿安裝到第二固定桿端部時，先將第一軸環(huán)和第二軸環(huán)的端面對接，再擰緊緊固套即可實現(xiàn)鎖定。

較佳的，所述伺服電機和所述第二固定桿之間設(shè)置有減速器，所述減速器的輸入端與所述伺服電機的電機軸連接，所述減速器的輸出端與所述第二固定桿的端部連接。

通過采用上述技術(shù)方案，伺服電機和第二固定桿之間的減速器能夠降低第二固定桿的轉(zhuǎn)動速度，使得基材水平轉(zhuǎn)動時更加平緩。