[實用新型]一種烘干結構

有效

• 申請號: 201920066908.0
• 申請日: 2019-01-14
• 公開（公告）號: CN210425801U
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發明（設計）人: 戴洪燁
• 申請（專利權）人: 上海釜川自動化設備有限公司
• 主分類號: F26B9/06
• 分類號: F26B9/06;F26B21/04;F26B21/14;F26B25/00
• 代理公司: 北京盛凡智榮知識產權代理有限公司 11616
• 代理人: 梁永昌

1.一種烘干結構，包括烘干槽體(3)，所述烘干槽體(3)呈上開口的結構，所述烘干槽體(3)內放置有帶硅片的載具，其特征在于，所述烘干槽體(3)外設有上開口的加熱系統，所述烘干槽體(3)的底部設有連同加熱系統的通風孔，形成上開口的循環烘干結構，所述循環烘干結構的開口上設有活動蓋板(2)；所述烘干槽體(3)與加熱系統之間的通風孔處設有位于加熱系統內的風輪(5-2)，所述風輪(5-2)與加熱槽體(1)底部外側的馬達(5)連接；所述加熱系統包括設置在上開口的烘干槽體(3)外的上開口的加熱槽體(1)，所述加熱槽體(1)與烘干槽體(3)之間設有分別位于烘干槽體(3)兩側的加熱器(1-1)、溫度傳感器(1-2)；所述循環烘干結構外設有一套帶過濾的高壓鼓風機(6)，所述高壓鼓風機(6)進風口為循環烘干結構的加熱區，所述高壓鼓風機(6)的出風口與設置在烘干區底部吹風管(3-1)相連。

2.根據權利要求1所述的一種烘干結構，其特征在于，所述高壓鼓風機(6)還設有一條外界環境的進風口(6-4)；外界環境支路上設有控制外界環境的進風口(6-4)打開直至關閉的手閥(6-3)，所述手閥(6-3)的上方連接外界環境的進風口(6-4)。

3.根據權利要求2所述的一種烘干結構，其特征在于，所述高壓鼓風機(6)的輸出出風口的管路上設有惰性氣體注入口(4)，通過注入惰性氣體，防止在高溫下硅片被氧化。

4.根據權利要求3所述的一種烘干結構，其特征在于，所述載具兩側的烘干槽體(3)側壁上開有小孔，使經過載具及硅片表面的熱風流量更加均勻。

5.根據權利要求4所述的一種烘干結構，其特征在于，所述加熱器(1-1)的下方設有排風口(8)，通過排風口(8)將烘干系統內的濕氣排出。

6.根據權利要求5所述的一種烘干結構，其特征在于，所述循環烘干結構最底部設有排水口(7)，用于將滴落到循環烘干結構底部的載具及硅片上的液態水及時排出。