[實用新型]一種高溫型氣體質量流量控制器用傳感器

有效

• 申請號: 201920065943.0
• 申請日: 2019-01-15
• 公開（公告）號: CN209230700U
• 公開（公告）日: 2019-08-09
• 發明（設計）人: 劉志新
• 申請（專利權）人: 山西仁荷微電子科技有限公司
• 主分類號: G01F1/699
• 分類號: G01F1/699;G01F15/14
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種高溫型氣體質量流量控制器用傳感器，包括閥體，閥體的上表面設置有傳感器固定板和流量調節閥固定板，傳感器固定板上設置有傳感器，傳感器包括上殼體、下殼體、第一氣體接頭、第二氣體接頭、第一連接管體、第二連接管體、毛細管、熱敏電阻絲和精密電阻，下殼體位于傳感器固定板的上表面的中端。本實用新型高溫型氣體質量流量控制器用傳感器，上殼體和下殼體通過螺栓連接，全部采用耐高溫的不銹鋼螺栓進行機械固定，安裝可靠，不易損壞，不銹鋼材質制成的上殼體、下殼體和毛細管，具有耐腐蝕、耐熱和焊接性的特點，環境溫度可達100攝氏度，最大設計溫度120攝氏度，采用毛細管焊接工藝，整體耐高壓抗腐蝕，穩定性強。

技術領域

本實用新型涉及氣體質量流量控制器技術領域，具體為一種高溫型氣體質量流量控制器用傳感器。

背景技術

氣體質量流量控制器，即Mass Flow Controller(縮寫為MFC)，是一個可以手動設定或與電腦連接自動控制的氣體穩流裝置，能在較寬的量程范圍內快速而精確的控制氣體流量，即使系統壓力有波動或環境溫度有輕微變化，也不會影響其正常的工作，原則上不需要溫度和壓力補償，氣體質量流量控制器(MFC)在石化工業、生化、半導體和集成電路工業、特種材料學科、醫藥、蔬果保鮮、加氣飲料、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。

現有的氣體質量流量控制器所采用的傳感器，其耐高溫性能差，不能很好的抗腐蝕，導致使用壽命短，穩定性差。

實用新型內容

(一)解決的技術問題

針對現有技術的不足，本實用新型提供了一種高溫型氣體質量流量控制器用傳感器，解決了現有的氣體質量流量控制器所采用的傳感器，其耐高溫性能差，不能很好的抗腐蝕，導致使用壽命短，穩定性差的問題。

(二)技術方案

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種高溫型氣體質量流量控制器用傳感器，包括閥體，所述閥體的一側端面設置有第一氣路接口，所述閥體的另一側端面設置有第二氣路接口，所述閥體的上表面設置有傳感器固定板和流量調節閥固定板，所述流量調節閥固定板位于傳感器固定板的一側，所述傳感器固定板和流量調節閥固定板均通過螺栓安裝在閥體的上表面上，所述傳感器固定板上設置有傳感器，所述傳感器通過線纜與控制電路板電連接，所述控制電路板位于傳感器的一側且固定安裝在閥體上，所述控制電路板的上端設置有用戶連接接頭，所述流量調節閥固定板上設置有流量調節閥，所述流量調節閥位于傳感器的一側；

所述傳感器包括上殼體、下殼體、第一氣體接頭、第二氣體接頭、第一連接管體、第二連接管體、毛細管、熱敏電阻絲和精密電阻，所述下殼體位于傳感器固定板的上表面的中端，所述下殼體的上表面設置有上殼體，所述下殼體的一側設置有第一氣體接頭，所述下殼體的另一側設置有第二氣體接頭，所述第一氣體接頭和第二氣體接頭均穿過傳感器固定板與閥體連接，所述第一氣體接頭通過第一連接管體與毛細管的一端連接，所述第二氣體接頭通過第二連接管體與毛細管的另一端連接，所述毛細管位于上殼體和下殼體的內側，所述毛細管上纏繞有熱敏電阻絲和精密電阻，所述精密電阻位于熱敏電阻絲的一側。

優選的，所述上殼體和下殼體通過螺栓連接。

優選的，所述毛細管為一種不銹鋼材質制成的構件。

優選的，所述上殼體和下殼體均為一種不銹鋼材質制成的構件。

優選的，所述上殼體的下端開設有供線纜貫穿的條形通孔。

優選的，所述下殼體的兩側端面均開設有分別供第一連接管體和第二連接管體貫穿的圓弧形通孔。

(三)有益效果

本實用新型提供了一種高溫型氣體質量流量控制器用傳感器。具備以下有益效果：