[實用新型]一種制作晶圓檢測探針卡的飛針取像設備

有效

• 申請號: 201920065629.2
• 申請日: 2019-01-16
• 公開（公告）號: CN209784395U
• 公開（公告）日: 2019-12-13
• 發明（設計）人: 王印璽;秦超;陶源
• 申請（專利權）人: 江蘇澳芯微電子有限公司
• 主分類號: G01R1/02
• 分類號: G01R1/02;G01R1/04
• 代理公司: 32286 南京常青藤知識產權代理有限公司
• 代理人: 黃胡生

1.一種制作晶圓檢測探針卡的飛針取像設備，其特征在于，包括設備箱，所述設備箱的內部包括取像區和設于所述取像區下方的電氣區，所述取像區和所述電氣區之間設有操作板并通過所述操作板分隔；

所述操作板頂面設有印制電路板區和兩個互相平行的Y軸取像座，所述印制電路板區設于所述操作板的中部，兩個所述Y軸取像座分別設于所述印制電路板區的兩側，兩個所述Y軸取像座的頂部之間搭設有X軸取像座，所述X軸取像座底部的兩端分別設有X軸驅動座，所述X軸驅動座的底部與所述Y軸取像座的頂部滑動連接，所述X軸取像座的一側設有Z軸取像座，所述Z軸取像座的側面與所述X軸取像座的頂部之間設有Z軸驅動座，所述Z軸驅動座的底部與所述X軸取像座的頂部滑動連接，所述Z軸驅動座的側面與所述Z軸取像座的側面滑動連接；

所述X軸取像座、所述Y軸取像座以及所述Z軸取像座均配置有相機，所述相機內配置有電荷耦合器件圖像傳感器。

2.根據權利要求1所述的一種制作晶圓檢測探針卡的飛針取像設備，其特征在于，所述X軸取像座、所述Y軸取像座以及所述Z軸取像座朝向所述印制電路板的一側均設有靜電風扇和若干光燈，所述靜電風扇的風向指向所述印制電路板區。

3.根據權利要求1所述的一種制作晶圓檢測探針卡的飛針取像設備，其特征在于，所述X軸驅動座的底部、所述Z軸驅動座的底部以及所述Z軸驅動座的與所述Z軸取像座連接的底面均設有驅動滑塊，所述驅動滑塊分別配置有驅動電機，所述Y軸取像座的頂面、所述X軸取像座的頂面和所述Z軸取像座的側面均設有與所述驅動滑塊匹配的滑軌。

4.根據權利要求2所述的一種制作晶圓檢測探針卡的飛針取像設備，其特征在于，所述光燈設有亮度調節器。

5.根據權利要求1所述的一種制作晶圓檢測探針卡的飛針取像設備，其特征在于，所述設備箱包括箱體本體，所述設備箱位于所述操作板上方的箱體本體部分為透明鋼化玻璃箱體。

6.根據權利要求1所述的一種制作晶圓檢測探針卡的飛針取像設備，其特征在于，所述相機配設有圖像存儲卡，所述相機為500萬像素的黑白相機。