[實用新型]一種三氯化硼的高效純化設備

有效

• 申請號: 201920063380.1
• 申請日: 2019-01-15
• 公開（公告）號: CN210084966U
• 公開（公告）日: 2020-02-18
• 發明（設計）人: 徐學強;周瑩瑩;張玲;劉春輝;陳亮勛
• 申請（專利權）人: 艾佩科（上海）氣體有限公司
• 主分類號: C01B35/06
• 分類號: C01B35/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種三氯化硼的高效純化設備，包括電爐(5)、惰性氣體進管(7)、底板(21)和第二冷凝罐(26)，其特征在于：所述底板(21)頂部的一端均勻通過第二支撐柱(13)焊接有電爐(5)，且電爐(5)的頂部均勻通過第一支撐柱(3)焊接有原料罐(1)，所述底板(21)頂部的另一端安裝有水箱(20)，且底板(21)的頂部靠近電爐(5)的內側均勻通過第一支架(14)焊接有第一冷凝罐(30)，所述底板(21)的頂部靠近水箱(20)的內側均勻通過第二支架(19)焊接有第二冷凝罐(26)，且第二支架(19)與第一支架(14)之間的一側安裝有控制器(17)，所述底板(21)的頂部靠近第一支架(14)的內側安裝有回收箱(15)，且底板(21)的頂部靠近第二支架(19)的內側安裝有儲存罐(18)，所述電爐(5)內部的中心位置處安裝有石英反應腔(36)，且石英反應腔(36)的內部均勻設有石墨環(35)，所述電爐(5)的內部靠近石英反應腔(36)的兩側皆均勻安裝有碳硅加熱棒(34)，且碳硅加熱棒(34)通過導線與控制器(17)電連接，所述石英反應腔(36)的底部分別安裝有惰性氣體進管(7)和氯氣進管(9)，且氯氣進管(9)的中心位置處設有干燥箱(11)，所述惰性氣體進管(7)和氯氣進管(9)遠離石英反應腔(36)的一端皆貫穿電爐(5)延伸至電爐(5)的外側皆安裝有流量傳感器(8)，且流量傳感器(8)的輸出端通過導線與控制器(17)的輸入端電性連接，所述惰性氣體進管(7)和氯氣進管(9)靠近電爐(5)的一端皆安裝有第一電磁閥(12)，且第一電磁閥(12)通過導線與控制器(17)電連接，所述石英反應腔(36)頂部的一端安裝有排氣管(43)，且排氣管(43)遠離石英反應腔(36)的一端貫穿電爐(5)延伸至電爐(5)的外側并通過三通連接件安裝有過氣管(31)，過氣管(31)遠離三通連接件的一端并與第一冷凝罐(30)固定連接，所述過氣管(31)和排氣管(43)上皆設有第四電磁閥(32)，且第四電磁閥(32)通過導線與控制器(17)電連接，所述第一冷凝罐(30)內部的兩側靠近過氣管(31)的頂部均勻安裝有導流隔板(45)，且第一冷凝罐(30)的內部靠近導流隔板(45)的頂部均勻設有塑料板波紋填料(46)，相鄰的塑料板波紋填料(46)之間皆設有活性炭吸附層(47)，所述第一冷凝罐(30)的底部安裝有收料斗(39)，且收料斗(39)遠離第一冷凝罐(30)的一端安裝有收集管(38)，收集管(38)遠離收料斗(39)的一端并與回收箱(15)固定連接，所述收集管(38)上設有第二電磁閥(16)且第二電磁閥(16)通過導線與控制器(17)電連接，所述第一冷凝罐(30)頂部的一端安裝有提純管道(29)，且提純管道(29)遠離第一冷凝罐(30)的一端貫穿第二冷凝罐(26)延伸至第二冷凝罐(26)的內部并連接有螺旋彎管(42)，所述螺旋彎管(42)遠離第二冷凝罐(26)的一端貫穿第二冷凝罐(26)延伸至第二冷凝罐(26)的外側并與儲存罐(18)固定連接，所述螺旋彎管(42)和提純管道(29)遠離第二冷凝罐(26)的一端皆安裝有第三電磁閥(28)，且第三電磁閥(28)通過導線與控制器(17)電連接，所述第二冷凝罐(26)的內部靠近螺旋彎管(42)的外側和水箱(20)的夾層中皆均勻設有干冰(41)，且第二冷凝罐(26)和第一冷凝罐(30)之間設有連接管(27)，所述連接管(27)的一端與第二冷凝罐(26)的夾層處固定連接，且連接管(27)的另一端與第一冷凝罐(30)的夾層處固定連接，所述第二冷凝罐(26)和第一冷凝罐(30)以及電爐(5)的一側皆安裝有溫度傳感器(25)，且溫度傳感器(25)的輸出端通過導線與控制器(17)的輸入端電性連接，所述水箱(20)頂部的一端安裝有抽水泵(23)，且抽水泵(23)通過導線與控制器(17)電連接，所述抽水泵(23)的輸入端連接有第一管道(22)，且第一管道(22)遠離抽水泵(23)的一端貫穿水箱(20)延伸至水箱(20)的內部，所述抽水泵(23)的輸出端連接有第二管道(24)，且第二管道(24)遠離抽水泵(23)的一端延伸至與第一冷凝罐(30)的夾層處固定連接。