[實用新型]硅片的分片送料結構

有效

• 申請號: 201920054801.4
• 申請日: 2019-01-14
• 公開（公告）號: CN209521915U
• 公開（公告）日: 2019-10-22
• 發明（設計）人: 陳宏
• 申請（專利權）人: 張家港市超聲電氣有限公司
• 主分類號: B65B35/18
• 分類號: B65B35/18;H01L21/677
• 代理公司: 蘇州市港澄專利代理事務所(普通合伙) 32304
• 代理人: 馬麗麗

本申請公開了一種硅片的分片送料結構，包括設置于供料水槽的分片機構和送料機構，所述供料水槽至少包括供料槽體和接渣槽體，所述供料槽體和接渣槽體之間設有隔板，所述分片機構包括分片上料裝置和吸片上料裝置，所述分片上料裝置設置于所述供料槽體內，并固定于所述隔板，所述吸片上料裝置設置于所述分片上料裝置背離所述隔板的一側的上方，所述送料機構通過底板設置于接渣槽體之上，所述送料結構包括碎片檢測裝置、碎片剔除裝置、翻轉檢測裝置和出料裝置，所述碎片剔除裝置傳動連接于所述分片上料裝置。該硅片的分片送料結構可實現硅片自動分片送料，在分片送料過程可以自動檢測并剔除碎片，提高工作效率。

技術領域

本申請涉及硅片分片領域，特別涉及一種硅片的分片送料結構。

背景技術

現有的硅片分片傳送裝置，主要是用水刀將層疊的硅片組100逐片分離，分離后的單片硅片通過吸盤固定，吸盤再將單片的硅片移送到水平的傳送帶上，進行烘干和包裝。這種結構的傳送裝置結構復雜，尤其是吸盤的運動裝置，相當于一個機械手，需要精確的轉向運動控制。故此需要提出改進。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種硅片的分片送料結構，以克服現有技術中的不足。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

本申請實施例公開了一種硅片的分片送料結構，包括設置于供料水槽的分片機構和送料機構；

所述供料水槽水平設置于機架，所述供料水槽至少包括供料槽體和接渣槽體，所述供料槽體和接渣槽體之間設有隔板；

所述分片機構包括分片上料裝置和吸片上料裝置，所述分片上料裝置設置于所述供料槽體內，并固定于所述隔板，所述吸片上料裝置設置于所述分片上料裝置背離所述隔板的一側的上方，所述吸片上料裝置固定于外部機架；

所述送料機構通過底板設置于接渣槽體之上，所述送料機構包括碎片檢測裝置、碎片剔除裝置、翻轉檢測裝置和出料裝置，所述碎片剔除裝置傳動連接于所述分片上料裝置，所述碎片剔除裝置可翻轉設置于所述底板，所述碎片剔除裝置和出料裝置相鄰設置于所述底板，所述碎片檢測裝置設置于所述碎片剔除裝置靠近所述隔板的一端的正上方，所述翻轉檢測裝置設置于所述碎片剔除裝置靠近所述出料裝置的一端的正上方。

優選的，在上述的硅片的分片送料結構中，所述分片上料裝置包括第一安裝座、第一滾輪軸和主分片裝置，所述第一滾輪軸和主分片裝置通過所述第一安裝座固定于所述隔板，所述第一滾輪軸傳動連接于所述碎片剔除裝置，所述主分片裝置底部設有第一注水口，所述主分片裝置背離所述第一安裝座的一側端面內凹設有若干第一出水口，所述第一注水口連通于所述第一出水口。

優選的，在上述的硅片的分片送料結構中，所述第一滾輪軸和所述碎片剔除裝置之間設有第二滾輪軸，所述第二滾輪軸轉動設置于所述隔板，所述第二滾輪軸高于所述第一滾輪軸設置。

優選的，在上述的硅片的分片送料結構中，所述吸片上料裝置包括輔助滾輪組、吸片裝置、第一電機、兩上料滾輪組和兩側分片裝置，所述輔助滾輪組固定于吸片裝置的一側，所述吸片裝置固定于所述分片上料裝置的正上方，所述第一電機通過第一固定座固定于機架，所述吸片裝置通過第一連接桿固定于所述第一固定座，所述兩上料滾輪組轉動設置于所述吸片裝置的兩側，并傳動連接于所述第一電機，兩所述側分片裝置分別通過第二固定座固定于所述吸片裝置的兩側，所述吸片裝置上端設有負壓接口，所述吸片裝置的底部設有吸水口，所述負壓接口連通于所述吸水口，所述側分片裝置靠近隔板的一側端面設有第二注水口，所述側分片裝置靠近所述輔助滾輪組的一側設有第二出水口，所述第二注水口連通于所述第二出水口。

優選的，在上述的硅片的分片送料結構中，所述上料滾輪組包括一主動滾輪和兩從動滾輪，所述主動滾輪和兩從動滾輪之間傳動連接，兩所述第一從動滾輪和所述輔助滾輪組設置于同一斜面內。