[實用新型]一種加料裝置有效
| 申請號: | 201920053704.3 | 申請日: | 2019-01-12 |
| 公開(公告)號: | CN209481188U | 公開(公告)日: | 2019-10-11 |
| 發明(設計)人: | 易本友 | 申請(專利權)人: | 撫州市天和硅業有限責任公司 |
| 主分類號: | C01B33/035 | 分類號: | C01B33/035 |
| 代理公司: | 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246 | 代理人: | 胡群 |
| 地址: | 344000 江*** | 國省代碼: | 江西;36 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 還原爐 分配器 連管 硅棒 混合氣進氣口 本實用新型 還原爐底盤 還原爐爐體 加料裝置 三氯氫硅 噴嘴 氫氣 進料管 噴口 接通 還原爐尾氣 不均勻度 充分混合 還原爐爐 進料裝置 末端接通 轉化效率 密度差 湍流 內圈 體內 生長 出口 | ||
本實用新型公開了一種加料裝置,包括內圈硅棒、還原爐爐體、外圈硅棒、還原爐噴嘴、還原爐底盤、進料管、還原爐混合氣進氣口和還原爐尾氣出口,所述還原爐爐體安裝在還原爐底盤上,其特征在于:所述進料管末端安裝有進料裝置,所述還原爐噴嘴包括分配器、連管、噴口,所述分配器與還原爐混合氣進氣口位于還原爐爐體內的末端接通,分配器上具有若干根與分配器接通的連管,連管的末端具有與連管接通的噴口。本實用新型具有結構簡單,能使氫氣與三氯氫硅充分混合以湍流的方式進入還原爐,將氫氣與三氯氫硅因密度差造成的不均勻度降低到最低限度,使硅棒生長均勻,轉化效率得以大大提高等優點。
技術領域
本實用新型涉及多晶硅生產設備技術領域,特別涉及一種加料裝置。
背景技術
現有的多晶硅還原爐(即將四氯化硅轉為三氯氫硅轉化爐)在多晶硅生產中,進料是由TCS汽化器出來的三氯氫硅與氫氣混合直接進入還原爐。由于氫氣的密度與三氯氫硅密度相差很大,容易造成混合不均勻,從而使還原爐內硅棒粗細不均勻,甚至直徑相差一倍之多,造成很多浪費。
實用新型內容
本實用新型的目的是為了解決現有技術中存在的缺點,而提出的一種加料裝置。
為了實現上述目的,本實用新型采用了如下技術方案:
一種加料裝置,包括內圈硅棒、還原爐爐體、外圈硅棒、還原爐噴嘴、還原爐底盤、進料管、還原爐混合氣進氣口和還原爐尾氣出口,所述還原爐爐體安裝在還原爐底盤上,其特征在于:所述進料管末端安裝有進料裝置,所述還原爐噴嘴包括分配器、連管、噴口,所述分配器與還原爐混合氣進氣口位于還原爐爐體內的末端接通,分配器上具有若干根與分配器接通的連管,連管的末端具有與連管接通的噴口。
優選的,所述進料裝置由數段導向圓筒構成,且導向圓筒分為正向導向圓筒和反向導向圓筒,所述正向導向圓筒內周面設置有正螺旋導向板,所述反向導向圓筒內周面設置有反螺旋導向板,正向導向圓筒與反向導向圓筒間通過法蘭連接,且正向導向圓筒與反向導向圓筒呈交替連接方式連接。
優選的,所述連管與分配器為螺紋可拆卸連接。
優選的,所述噴口與連管為螺紋可拆卸連接。
優選的,所述噴口均布在內圈硅棒和外圈硅棒之間,且各噴口的截面積相同。
優選的,所述噴口處設有調節噴口混合氣噴出方向的調節結構。
本實用新型的有益效果:
實用新型結構簡單,能使氫氣與三氯氫硅充分混合以湍流的方式進入還原爐,將氫氣與三氯氫硅因密度差造成的不均勻度降低到最低限度,使硅棒生長均勻,轉化效率得以大大提高。
附圖說明
圖1為本實用新型提出的一種加料裝置結構示意圖;
圖2為本實用新型所述進料裝置的結構示意圖;
圖3為本實用新型在還原爐底盤上的分布示意圖;
圖4為本實用新型所述還原爐噴嘴的結構示意圖;
圖中:1、內圈硅棒;2、還原爐爐體;3、外圈硅棒;4、還原爐噴嘴;5、還原爐底盤;6、還原爐混合氣進氣口;7、還原爐尾氣出口;8、噴口;9、連管;10、分配器;11、混合氣;12、進料管;13、進料裝置;14、正向導向圓筒;15、正螺旋導向板16、反向導向圓筒;17、反螺旋導向板;18、法蘭。
具體實施方式
下面將結合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于撫州市天和硅業有限責任公司,未經撫州市天和硅業有限責任公司許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201920053704.3/2.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇:石墨碳化爐
- 下一篇:一種生產硼10粉和硼11粉同位素的制備裝置





