[實(shí)用新型]集保壓和氦氣檢漏于一體的簡(jiǎn)易檢測(cè)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920051547.2
• 申請(qǐng)日: 2019-01-10
• 公開（公告）號(hào): CN209342318U
• 公開（公告）日: 2019-09-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊欣
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海盛韜半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): G01M3/28
• 分類號(hào): G01M3/28;G01M3/22
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實(shí)用新型提供了集保壓和氦氣檢漏于一體的簡(jiǎn)易檢測(cè)裝置，包括1臺(tái)或多臺(tái)簡(jiǎn)易檢測(cè)單元，所述簡(jiǎn)易檢測(cè)單元包括底盤，以及安裝在底盤上用于固定stick組件的固定座、滑動(dòng)座、快速夾具和夾緊氣缸，底盤的表層設(shè)有多個(gè)安裝槽和2條導(dǎo)軌，所述安裝槽中安裝待檢測(cè)的stick組件，底盤的底面安裝有控制氦檢抽氣的氦檢口閥門、控制氮?dú)膺M(jìn)入的氮?dú)膺M(jìn)口閥，以及用于保壓之后排出氮?dú)獾牡獨(dú)獬隹陂y。本實(shí)用新型集保壓和氦氣檢漏于一體，且可根據(jù)需要檢測(cè)的stick數(shù)量和效率情況，選擇多個(gè)檢測(cè)口，或選擇多臺(tái)簡(jiǎn)易檢測(cè)單元串聯(lián)，同時(shí)對(duì)多個(gè)stick進(jìn)行檢測(cè)，具有節(jié)省測(cè)試時(shí)間，提高工作效率，降低人工成本等優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及檢測(cè)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體地，涉及集保壓和氦氣檢漏于一體的簡(jiǎn)易檢測(cè)裝置。

背景技術(shù)

由于全球電子、光伏產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，及我國(guó)政府大力提倡科技興國(guó)，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體、光伏制造業(yè)發(fā)展迅猛。光伏產(chǎn)業(yè)在近兩年快速發(fā)展，是未來新能源產(chǎn)業(yè)的主力軍。在半導(dǎo)體、光伏相關(guān)產(chǎn)業(yè)常用的制程中，在一些非高精度要求的前提下，需要大量使用stick，stick稱為調(diào)壓閥組，或特氣使用終端，主要用于半導(dǎo)體、光伏產(chǎn)業(yè)中為工藝機(jī)臺(tái)連續(xù)配送工藝氣體的設(shè)備上，滿足工藝機(jī)臺(tái)對(duì)流體的使用要求。傳統(tǒng)的stick檢測(cè)方式只能一個(gè)一個(gè)單獨(dú)檢測(cè)，而在需要檢測(cè)的stick數(shù)量非常多的情況下，必然所需的測(cè)試的時(shí)間非常長(zhǎng)，用工成本太高，這急需研發(fā)一種可對(duì)多個(gè)stick同時(shí)檢測(cè)的設(shè)備來提高工作效率。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，本實(shí)用新型的目的是提供集保壓和氦氣檢漏于一體的簡(jiǎn)易檢測(cè)裝置，本實(shí)用新型集保壓和氦氣檢漏于一體，且可根據(jù)需要檢測(cè)的stick數(shù)量和效率情況，選擇多個(gè)檢測(cè)口，或選擇多臺(tái)簡(jiǎn)易檢測(cè)單元串聯(lián)，同時(shí)對(duì)多個(gè)stick進(jìn)行檢測(cè)，具有節(jié)省測(cè)試時(shí)間，提高工作效率，降低人工成本等優(yōu)點(diǎn)。

根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)方面，提供集保壓和氦氣檢漏于一體的簡(jiǎn)易檢測(cè)裝置，包括1臺(tái)或多臺(tái)簡(jiǎn)易檢測(cè)單元，所述簡(jiǎn)易檢測(cè)單元包括作為整臺(tái)裝置的基準(zhǔn)臺(tái)面的底盤(1)，所述底盤(1)的表層設(shè)有多個(gè)安裝槽和2條導(dǎo)軌，所述安裝槽中安裝待檢測(cè)的stick組件(2)，所述安裝槽的后端設(shè)有控制stick組件(2)安裝到位的固定座(3)，其前端設(shè)有夾緊stick組件(2)的前后口的滑動(dòng)座(4)，所述滑動(dòng)座(4)的前側(cè)壁設(shè)有推動(dòng)其移動(dòng)的快速夾具(5)，所述底盤(1)的底層還設(shè)有多個(gè)用于夾緊stick組件(2)的表口的夾緊氣缸(6)，所述夾緊氣缸(6)與stick組件(2)一一對(duì)應(yīng)；所述夾緊氣缸(6)采用雙動(dòng)型壓縮空氣式夾緊氣缸；

所述stick組件(2)的進(jìn)出口連接的輸氣支管分別連接到進(jìn)氣主管和輸氣主管(13)上，所述輸氣主管(13)上安裝有用于查看測(cè)試后整個(gè)管路壓力的壓力表(10)；

所述底盤(1)的底面安裝有氦檢口閥門(7)、氮?dú)膺M(jìn)口閥(8)和氮?dú)獬隹陂y(9)，分別朝向不同的三個(gè)方向，所述氦檢口閥門(7)與輸氣主管(13)連接，控制氦檢抽氣，所述氮?dú)膺M(jìn)口閥(8)與進(jìn)氣主管的一端連接，控制氮?dú)獾倪M(jìn)入，所述氮?dú)獬隹陂y(9)與進(jìn)氣主管的另一端連接，用于保壓之后排出氮?dú)饣蛘哌B接另一個(gè)簡(jiǎn)易檢測(cè)單元。

優(yōu)選的，所述簡(jiǎn)易檢測(cè)單元通過兩個(gè)相鄰簡(jiǎn)易檢測(cè)單元的氮?dú)獬隹陂y(9)和氮?dú)膺M(jìn)口閥(8)進(jìn)行串聯(lián)連接組合。可根據(jù)需要檢測(cè)的stick數(shù)量和效率情況，選擇多個(gè)檢測(cè)口，或選擇多臺(tái)檢測(cè)裝置串聯(lián)使用。

優(yōu)選的，所述stick組件(2)和夾緊氣缸(6)均設(shè)有5組。

優(yōu)選的，所述滑動(dòng)座(4)呈矩形結(jié)構(gòu)，其底部的兩端分別設(shè)置有1個(gè)與導(dǎo)軌配合滑動(dòng)的滑動(dòng)塊。

優(yōu)選的，所述快速夾具(5)設(shè)有2組，分別設(shè)置在推動(dòng)滑動(dòng)座(4)的兩端，通過扳動(dòng)把手推動(dòng)滑動(dòng)座(4)夾緊stick組件(2)的前后口。

優(yōu)選的，所述stick組件(2)的前后口與固定座(3)和滑動(dòng)座(4)之間的間隙處設(shè)置有第一密封圈密封。