[實(shí)用新型]超聲輔助激光水下清洗裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920050160.5
• 申請(qǐng)日: 2019-01-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209406997U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-09-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 龍芋宏;周嘉;趙要武;黃宇星;鮑家定;劉清原;焦輝;楊林帆;李海建
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 桂林電子科技大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): B08B7/00
• 分類(lèi)號(hào): B08B7/00;B08B3/12
• 代理公司: 桂林市持衡專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 45107
• 代理人: 黃瑋

1.超聲輔助激光水下清洗裝置，包括激光掃描模塊、清洗加工模塊、超聲能量模塊以及工作臺(tái)模塊，其中：

所述清洗加工模塊包括工件(6)、水箱(5)和平場(chǎng)聚焦透鏡(4)，所述工件(6)放置于水箱(5)內(nèi)的水(12)下，所述平場(chǎng)聚焦透鏡(4)設(shè)于水面上方與工件(6)相對(duì)；

所述工作臺(tái)模塊包括可在X/Y向移動(dòng)的平臺(tái)(7)，所述水箱(5)放置于平臺(tái)(7)上；

所述超聲能量模塊包括超聲換能器(8)，所述超聲換能器(8)附著于水箱(5)上并通過(guò)線路連接超聲波發(fā)生器(9)；

所述激光掃描模塊包括振鏡(2)和多邊形掃描反射鏡(3)，所述多邊形掃描反射鏡(3)可轉(zhuǎn)動(dòng)的設(shè)于平場(chǎng)聚焦透鏡(4)上方，多邊形掃描反射鏡(3)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線為Y向，所述振鏡(2)對(duì)應(yīng)于多邊形掃描反射鏡(3)設(shè)置；

所述振鏡(2)將入射激光束(1)向多邊形掃描反射鏡(3)反射，多邊形掃描反射鏡(3)將入射激光束(1)向平場(chǎng)聚焦透鏡(4)反射，所述平場(chǎng)聚焦透鏡(4)將兩次反射的入射激光束(1)轉(zhuǎn)變?yōu)楣ぷ骷す馐?11)打在工件(6)上而產(chǎn)生空化氣泡(10)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲輔助激光水下清洗裝置，其特征在于：所述振鏡(2)于正多邊形掃描反射鏡(3)側(cè)旁下方設(shè)置，垂直的入射激光束(1)向下射在振鏡(2)上。