[實用新型]一種用于射頻二氧化碳激光器的N型激光諧振腔

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920045861.X
• 申請日: 2019-01-11
• 公開（公告）號: CN209183944U
• 公開（公告）日: 2019-07-30
• 發(fā)明（設計）人: 唐友清
• 申請（專利權）人: 南京晨銳騰晶激光科技有限公司
• 主分類號: H01S3/08
• 分類號: H01S3/08;H01S3/223;H01S3/041
• 代理公司: 南京天華專利代理有限責任公司 32218
• 代理人: 李德濺

本實用新型公開了一種用于射頻二氧化碳激光器的N型激光諧振腔，包括諧振腔本體（1）、前端板（2）、后端板（3）、電感機構（4）、正電極板（5）和負電極板（7），所述諧振腔的內腔底部設置與諧振腔本體（1）一體成型的負電極板（7），負電極板（7）的上方依次平行設置正電極板（5）和電感機構（4），電感機構（4）分別與正電極板（5）和負電極板（7）相連接構成LC振蕩電路，在正電極板（5）和負電極板（7）之間設有N型光路引導機構（6），N型光路引導機構（6）上的截面為圓形的彎折呈N形的光路引導槽的端部分別與前端板（2）和后端板（3）上的相應鏡片相對應。本實用新型的結構簡單、密封性好、輸出的激光束質量好。

技術領域

本實用新型涉及激光技術領域，具體地說是一種結構簡單、裝配容易、性能穩(wěn)定的用于射頻二氧化碳激光器的N型激光諧振腔。

背景技術

在射頻二氧化碳激光器的諧振腔內一般由正電極板、負電極板和連接正負電極板的若干電感線圈構成LC振蕩電路，正電極板和負電極板為兩塊平板電極，開啟激光器后，在正負電極板之間的激光工作氣體被激勵發(fā)生輝光放電生產激光，激光在振蕩電路中不斷振蕩放大最后沖出激光輸出鏡片輸出到激光諧振腔外，通過激光整形光路將諧振腔輸出的截面為矩形的光束整形為圓形光束，然后用于激光加工，由于平板電極激勵的激光束為矩形，所以采用平板電極的激光諧振腔一般都要和復雜的光路整形裝置配套使用，增加設備成本，而且通過若干電感線圈連接正電極板和負電極板的制造工藝也較復雜，增加了激光諧振腔的裝配難度。

發(fā)明內容

本實用新型的目的是針對現(xiàn)有技術存在的問題，提供一種結構簡單、裝配容易、性能穩(wěn)定的用于射頻二氧化碳激光器的N型激光諧振腔；該激光諧振腔通過加設N型光路引導機構，使激光諧振腔直接輸出截面為圓形的光束，不需要復雜的光路整形裝置對矩形光束進行整形，同時用一體成型的電感機構代替若干電感線圈，降低裝配難度，解決現(xiàn)有技術存在的問題。

本實用新型的目的是通過以下技術方案解決的：

一種用于射頻二氧化碳激光器的N型激光諧振腔，包括諧振腔本體、前端板、后端板、電感機構、正電極板和負電極板，諧振腔本體、前端板、后端板組合構成一封閉的諧振腔，其特征在于：所述諧振腔的內腔底部設置與諧振腔本體一體成型的負電極板，負電極板的上方依次平行設置正電極板和電感機構，電感機構分別與正電極板和負電極板相連接構成LC振蕩電路，所述的正電極板和負電極板之間設有與兩者平行設置的N型光路引導機構，N型光路引導機構上的截面為圓形的光路引導槽的端部分別與前端板和后端板上的相應鏡片相對應。

所述電感機構中的連接柱垂直與正電極板相連接，且電感機構中的電感支架的端部分別通過卡簧與前端板和后端板相連，使得電感機構能夠通過諧振腔本體與負電極板相連接。

所述的電感機構包括電感支架、盤狀電感線圈和連接柱，電感支架上設有與電感支架厚度相同的盤狀電感線圈，兩帶盤狀電感線圈的電感支架并列設置即構成電感機構且電感機構中的任意相鄰兩個盤狀電感線圈分屬不同的電感支架；所述連接柱的上端與對應的盤狀電感線圈的中心相連接，即每一個盤狀電感線圈的中心有一個向下延伸的連接柱與正電極板相連。

所述的電感支架和盤狀電感線圈一體成型；所述盤狀電感線圈為導電材料由內向外按順時針方向在同一平面內漸開繞制構成；構成同一盤狀電感線圈的導電材料之間的間隙相同且間隙寬度與該導電材料的厚度相同。

所述前端板的厚度方向上分別設有用于安裝激光輸出鏡鏡座和用于安裝激光反射鏡鏡座的貫穿孔，激光輸出鏡鏡座和激光反射鏡鏡座的周側分別通過相應的金屬薄片與對應貫穿孔的內壁連接，激光輸出鏡鏡座和激光反射鏡鏡座的鏡片安裝端處皆設有對應的壓帽且激光輸出鏡鏡座和激光反射鏡鏡座的鏡片安裝端嵌置在對應壓帽的內腔中，使得激光輸出鏡鏡片被固定在激光輸出鏡鏡座上且激光反射鏡鏡片被固定在激光反射鏡鏡座上。

所述的金屬薄片分別鄰近相應激光輸出鏡鏡座和激光反射鏡鏡座的鏡片安裝端設置，且金屬薄片的厚度為0.6mm～0.9mm。