[實(shí)用新型]廢硅泥再利用的處理設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920042227.0
• 申請日: 2019-01-10
• 公開（公告）號: CN209740728U
• 公開（公告）日: 2019-12-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 謝雅敏;周信輝;張弼程
• 申請（專利權(quán)）人: 成亞資源科技股份有限公司
• 主分類號: C01B33/12
• 分類號: C01B33/12
• 代理公司: 11139 北京科龍寰宇知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 孫皓晨;李林<國際申請>=<國際公布>=

本實(shí)用新型提供一種廢硅泥再利用的處理設(shè)備，主要設(shè)有供盛裝廢硅泥的載料盤，該載料盤置入于清洗裝置內(nèi)，將廢硅泥進(jìn)行清洗，該清洗裝置依序設(shè)有一超音波清洗槽、一磁選反應(yīng)槽、一第一清洗槽、一酸洗槽及一第二清洗槽，該磁選反應(yīng)槽上設(shè)有一分散劑注入器，該酸洗槽上設(shè)有一酸劑注入器，一混合裝置接續(xù)于該清洗裝置，該混合裝置上設(shè)有另一分散劑注入器，該混合裝置設(shè)有一氣氛泵，該混合裝置由一噴料管連接至一高溫反應(yīng)室，該高溫反應(yīng)室由一輸送管連接至一旋風(fēng)集塵器，該旋風(fēng)集塵器下方設(shè)有集料盤，該集料盤由一輸送裝置連接至一粒徑分級裝置，如此，經(jīng)由該處理設(shè)備將廢硅泥制成高純度二氧化硅粉體，可廣泛運(yùn)用于工業(yè)填充材，可使廢硅泥資源化再利用。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種廢硅泥再利用的處理設(shè)備，特別是指一種利用該處理設(shè)備可將廢硅泥制成高純度二氧化硅粉體，可廣泛運(yùn)用于工業(yè)填充材。

背景技術(shù)

廢硅泥來源為半導(dǎo)體或太陽能晶圓廠經(jīng)切割或研磨制程產(chǎn)生，此類廢硅泥一般不含切削油及碳化硅，其含液量大于80％，業(yè)界有許多回收處理廢硅泥的方法，例如將硅泥干燥形成低純度的硅粉、添加粘結(jié)劑，均勻混合后再壓制成硅碇或是高溫熔融后形成硅塊；本實(shí)用新型的設(shè)備提供一種新的回收技術(shù)，所提純的二氧化硅粉體可應(yīng)用于工業(yè)填充材。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的，是在提供一種廢硅泥再利用的處理設(shè)備，可將廢硅泥再生為高純度二氧化硅粉體，可廣泛運(yùn)用于工業(yè)填充材使用。

本實(shí)用新型提供一種廢硅泥再利用的處理設(shè)備，主要設(shè)有供盛裝廢硅泥的載料盤，該載料盤置入于清洗裝置內(nèi)，該清洗裝置依序設(shè)有一超音波清洗槽、一磁選反應(yīng)槽、一第一清洗槽、一酸洗槽及一第二清洗槽，該磁選反應(yīng)槽上設(shè)有一分散劑注入器，該酸洗槽上設(shè)有一酸劑注入器，一混合裝置接續(xù)于該清洗裝置，該混合裝置上設(shè)有另一分散劑注入器，該混合裝置設(shè)有一氣氛泵，該混合裝置由一噴料管連接至一高溫反應(yīng)室，該高溫反應(yīng)室由一輸送管連接至一旋風(fēng)集塵器，該旋風(fēng)集塵器下方設(shè)有集料盤，該集料盤由一輸送裝置連接至一粒徑分級裝置。

本實(shí)用新型廢硅泥再利用的處理設(shè)備，其中，該高溫反應(yīng)室內(nèi)的氣體為氧氣或空氣。

本實(shí)用新型廢硅泥再利用的處理設(shè)備，其優(yōu)點(diǎn)在于：可簡單且快速的將廢硅泥再生為高純度二氧化硅粉體，可廣泛運(yùn)用于工業(yè)填充材使用，使廢硅泥達(dá)到最佳的資源化再利用。

附圖說明

圖1所示是本實(shí)用新型實(shí)施例清洗設(shè)備的示意圖。

圖2所示是本實(shí)用新型實(shí)施例混合裝置、高溫反應(yīng)室、旋風(fēng)集塵器及粒徑分級裝置的示意圖。

圖3所示是本實(shí)用新型實(shí)施例的制作流程圖。

附圖標(biāo)記說明：A廢硅泥；A1泥漿；A2二氧化硅顆粒；A3二氧化硅粉粒；A4高純度二氧化硅粉體；10載料盤；2清洗裝置；20超音波清洗槽；21磁選反應(yīng)槽；210分散劑注入器；22第一清洗槽；23酸洗槽；230酸劑注入器；24第二清洗槽；3混合裝置；30分散劑注入器；31氣氛泵；32噴料管；4高溫反應(yīng)室；40輸送管；5旋風(fēng)集塵器；6集料盤；7輸送裝置；8粒徑分級裝置。

具體實(shí)施方式

有關(guān)本實(shí)用新型為達(dá)上述的使用目的與功效，所采用的技術(shù)手段，茲舉出較佳可行的實(shí)施例，并配合圖式所示，詳述如下：