[實用新型]一種防污染片式組合擋板

有效

• 申請號: 201920031710.9
• 申請日: 2019-01-09
• 公開（公告）號: CN209741260U
• 公開（公告）日: 2019-12-06
• 發明（設計）人: 馮斌;王德苗;金浩;顧為民;顧駿
• 申請（專利權）人: 蘇州求是真空電子有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 32224 南京縱橫知識產權代理有限公司
• 代理人: 董建林;俞翠華<國際申請>=<國際公布>

本實用新型公開了一種防污染片式組合擋板，包括N個片式拼接件，片式拼接件包括平板，平板上位于第一方向上的兩個側部設有第一搭接結構，平板上位于第二方向上的兩個側部分別設有第二搭接結構和第三搭接結構，M個片式拼接件沿水平方向設置，前一片式拼接件的第二搭接結構與后一片式拼接件的第三搭接結構相連；各沿水平方向設置的片式拼接件上位于第一方向的兩側分別設有拼接組件，拼接組件包括L個沿豎直方向上設置的片式拼接件，上一片式拼接件端部的第一搭接結構與下一片式拼接件端部的第一搭接結構相連。本實用新型能實現不同尺寸的鍍膜腔體采用統一的擋板，降低制備成本，防止整片式擋板在鍍膜時的過量形變導致設備無法正常工作。

技術領域

本實用新型具體涉及一種防污染片式組合擋板，其能夠適用于磁控濺射設備的腔體內實現防污染。

背景技術

立式磁控濺射鍍膜設備無論是使用平面靶還是柱形靶，由于均存在一定的發散角，會有一定比例的濺射靶材料沉積到設備的腔體上，如若不對腔體的內表面進行污染防護，沉積的材料會影響磁控濺射鍍膜設備的性能。現有技術中常見的防污染擋板根據設備腔體的形狀做成幾大片擋板并固定在設備的腔體上以實現設備防護，但是由于濺射的粒子轟擊會導致擋板變形，可能會碰到靶材或產品，很容易引起設備故障，另外大片擋板除去沉積的材料也不是很方便。

實用新型內容

針對上述問題，本實用新型提出一種防污染片式組合擋板，不僅能夠實現不同尺寸的鍍膜腔體采用統一的擋板組件，從而降低制備成本，同時由于其拼接屬性，可以防止整片式擋板在鍍膜時的過量形變導致設備無法正常工作。

實現上述技術目的，達到上述技術效果，本實用新型通過以下技術方案實現：

一種防污染片式組合擋板，包括N個片式拼接件，各片式拼接件均包括平板，所述平板上位于第一方向上的兩個側部均設有第一搭接結構；所述平板上位于第二方向上的兩個側部分別設有第二搭接結構和第三搭接結構，所述第二方向與第一方向為垂直關系

其中，M個片式拼接件沿水平方向順次設置，前一個片式拼接件的第二搭接結構與后一個片式拼接件的第三搭接結構相配合，實現連接；

各沿水平方向設置的片式拼接件上位于第一方向的兩側分別設有拼接組件，所述拼接組件包括L個沿豎直方向上順次設置的片式拼接件，上一個片式拼接件端部的第一搭接結構與下一個片式拼接件端部的第一搭接結構相配合，實現連接；

所述L、M和N滿足下列公式：

(2L+1)*M＝N。

作為本實用新型的進一步改進，所述平板兩端處的第一搭接結構朝向相對，且所述第一搭接結構為L型，包括第一段和第二段；

所述第一段垂直于所述平板設置，其一端與所述平板相連，另一端與所述第二段的一端相連；

所述第二段平行于平板設置，第二段上遠離第一段的一端處于自由狀態。

作為本實用新型的進一步改進，所述第二搭接結構位于所述平板之外，其包括順次相連的第三段、第四段和第五段；

所述第三段垂直于所述平板設置，其一端與所述平板相連；

所述第四段平行于所述平板設置，其一端與所述第三段的另一端相連；

所述第五段垂直于所述平板設置，其一端與所述第四段的另一端相連，另一端處于自由狀態；

所述第三搭接結構包括第六段，所述第六段垂直于所述平板設置，一端與所述平板相連，另一端處于自由狀態。

作為本實用新型的進一步改進，各第一搭接結構上均設有兩個通孔，所述平板上與各第一搭接結構上通孔對應位置處也設有通孔。

作為本實用新型的進一步改進，所述平板上各通孔的中心順次相連構成的圖形為梯形。